డ్రై ఎచింగ్ మరియు వెట్ ఎచింగ్ యొక్క లాభాలు మరియు నష్టాలు ఏమిటి?

1. డ్రై అండ్ వెట్ ఎచింగ్ అంటే ఏమిటి?

డ్రై ఎచింగ్ అనేది పొర ఉపరితలంపై ఘన పదార్థాన్ని చెక్కడానికి ప్లాస్మా లేదా రియాక్టివ్ వాయువులను ఉపయోగించి ద్రవంతో సంబంధం లేని సాంకేతికత. DRAM మరియు ఫ్లాష్ మెమరీ వంటి చాలా చిప్ ఉత్పత్తుల ఉత్పత్తిలో ఈ పద్ధతి చాలా అవసరం, ఇక్కడ తడి చెక్కడం ఉపయోగించబడదు. వెట్ ఎచింగ్, మరోవైపు, పొర ఉపరితలంపై ఘన పదార్థాన్ని చెక్కడానికి ద్రవ రసాయన పరిష్కారాలను ఉపయోగించడం. అన్ని చిప్ ఉత్పత్తులకు విశ్వవ్యాప్తంగా వర్తించనప్పటికీ, వెట్ ఎచింగ్ అనేది పొర-స్థాయి ప్యాకేజింగ్, MEMS, ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్స్‌లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

2. పొడి మరియు తడి ఎచింగ్ యొక్క లక్షణాలు ఏమిటి?

మొదట, ఐసోట్రోపిక్ మరియు అనిసోట్రోపిక్ ఎచింగ్ యొక్క భావనలను స్పష్టం చేద్దాం. ఐసోట్రోపిక్ ఎచింగ్ అనేది ఒకే విమానంలో అన్ని దిశలలో ఏకరీతిగా ఉండే ఎచింగ్ రేటును సూచిస్తుంది, ప్రశాంతమైన నీటిలో రాయిని విసిరినప్పుడు అలలు ఒకే విధంగా వ్యాపిస్తాయి. అనిసోట్రోపిక్ ఎచింగ్ అంటే ఎచింగ్ రేటు ఒకే విమానంలో వేర్వేరు దిశల్లో మారుతూ ఉంటుంది.

వెట్ ఎచింగ్ అనేది ఐసోట్రోపిక్. పొర చెక్కడం ద్రావణంతో సంబంధంలోకి వచ్చినప్పుడు, అది క్రిందికి చెక్కబడి పార్శ్వ చెక్కడానికి కూడా కారణమవుతుంది. ఈ పార్శ్వ ఎచింగ్ నిర్వచించిన పంక్తి వెడల్పును ప్రభావితం చేస్తుంది, ఇది ముఖ్యమైన ఎచింగ్ విచలనాలకు దారి తీస్తుంది. అందువలన, వెట్ ఎచింగ్ అనేది ఆకృతులను చెక్కడం కోసం ఖచ్చితంగా నియంత్రించడం సవాలుగా ఉంది, ఇది 2 మైక్రోమీటర్ల కంటే చిన్న ఫీచర్లకు తక్కువ అనుకూలంగా ఉంటుంది.

దీనికి విరుద్ధంగా, పొడి ఎచింగ్ ఎచింగ్ ఆకారాన్ని మరింత ఖచ్చితమైన నియంత్రణకు అనుమతిస్తుంది మరియు మరింత సౌకర్యవంతమైన ఎచింగ్ పద్ధతులను అందిస్తుంది. డ్రై ఎచింగ్ ఐసోట్రోపిక్ మరియు అనిసోట్రోపిక్ ఎచింగ్ రెండింటినీ సాధించగలదు. అనిసోట్రోపిక్ ఎచింగ్ టాపర్డ్ (యాంగిల్ <90 డిగ్రీలు) మరియు నిలువు ప్రొఫైల్‌లను (యాంగిల్ ≈90 డిగ్రీలు) ఉత్పత్తి చేస్తుంది.

సంగ్రహించేందుకు:

1.1 డ్రై ఎచింగ్ యొక్క ప్రయోజనాలు (ఉదా., RIE)

దిశాత్మకత: అధిక దిశను సాధించగలదు, ఫలితంగా నిలువు సైడ్‌వాల్‌లు మరియు అధిక కారక నిష్పత్తులు ఉంటాయి.

సెలెక్టివిటీ: నిర్దిష్ట ఎచింగ్ వాయువులు మరియు పారామితులను ఎంచుకోవడం ద్వారా ఎచింగ్ సెలెక్టివిటీని ఆప్టిమైజ్ చేయవచ్చు.

అధిక రిజల్యూషన్: చక్కటి ఫీచర్లు మరియు డీప్ ట్రెంచ్ ఎచింగ్ కోసం అనుకూలం.

1.2 వెట్ ఎచింగ్ యొక్క ప్రయోజనాలు

సరళత మరియు ఖర్చు-ప్రభావం: ఎచింగ్ ద్రవాలు మరియు పరికరాలు సాధారణంగా పొడి చెక్కడం కోసం ఉపయోగించే వాటి కంటే చాలా పొదుపుగా ఉంటాయి.

ఏకరూపత: మొత్తం పొర అంతటా ఏకరీతి చెక్కడాన్ని అందిస్తుంది.

సంక్లిష్ట సామగ్రి అవసరం లేదు: సాధారణంగా డిప్పింగ్ బాత్ లేదా స్పిన్-కోటింగ్ పరికరాలు మాత్రమే అవసరం.

3. డ్రై మరియు వెట్ ఎచింగ్ మధ్య ఎంచుకోవడం

మొదట, చిప్ ఉత్పత్తి యొక్క ప్రాసెస్ అవసరాల ఆధారంగా, పొడి ఎచింగ్ మాత్రమే ఎచింగ్ పనిని పూర్తి చేయగలిగితే, డ్రై ఎచింగ్‌ని ఎంచుకోండి. పొడి మరియు తడి చెక్కడం రెండూ అవసరాలను తీర్చగలిగితే, వెట్ ఎచింగ్ సాధారణంగా దాని ఖర్చు-ప్రభావం కారణంగా ప్రాధాన్యతనిస్తుంది. పంక్తి వెడల్పు లేదా నిలువు/కోత కోణాలపై ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరమైతే, పొడి ఎచింగ్‌ను ఎంచుకోండి.

అయినప్పటికీ, కొన్ని ప్రత్యేక నిర్మాణాలను తడి ఎచింగ్ ఉపయోగించి చెక్కాలి. ఉదాహరణకు, MEMSలో, ఎచెడ్ సిలికాన్ యొక్క విలోమ పిరమిడ్ నిర్మాణాన్ని తడి చెక్కడం ద్వారా మాత్రమే సాధించవచ్చు.**