ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC) అంటే ఏమిటి?

సెమీకండక్టర్ తయారీలో, ఎచింగ్ ప్రక్రియ యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వం చాలా ముఖ్యమైనవి. అధిక-నాణ్యత ఎచింగ్‌ను సాధించడంలో ఒక కీలకమైన అంశం ఏమిటంటే, ప్రక్రియ సమయంలో పొరలు ట్రేలో ఖచ్చితంగా ఫ్లాట్‌గా ఉన్నాయని నిర్ధారిస్తుంది. ఏదైనా విచలనం అసమాన అయాన్ బాంబర్‌మెంట్‌కు దారి తీస్తుంది, దీని వలన అవాంఛనీయ కోణాలు మరియు ఎచింగ్ రేట్లలో వైవిధ్యాలు ఏర్పడతాయి. ఈ సవాళ్లను పరిష్కరించడానికి, ఇంజనీర్లు అభివృద్ధి చేశారుఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ (ESCలు), ఇది ఎచింగ్ నాణ్యత మరియు స్థిరత్వాన్ని గణనీయంగా మెరుగుపరిచింది. ఈ కథనం ESCల రూపకల్పన మరియు కార్యాచరణను పరిశీలిస్తుంది, ఒక ముఖ్య అంశంపై దృష్టి సారిస్తుంది: పొర సంశ్లేషణ వెనుక ఉన్న ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ సూత్రాలు.

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ పొర సంశ్లేషణ

వెనుక సూత్రంESCపొరను సురక్షితంగా పట్టుకోగల సామర్థ్యం దాని ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ డిజైన్‌లో ఉంది. రెండు ప్రాథమిక ఎలక్ట్రోడ్ కాన్ఫిగరేషన్‌లు ఉపయోగించబడ్డాయిESCs: సింగిల్-ఎలక్ట్రోడ్ మరియు డ్యూయల్-ఎలక్ట్రోడ్ డిజైన్‌లు.

సింగిల్-ఎలక్ట్రోడ్ డిజైన్: ఈ డిజైన్‌లో, మొత్తం ఎలక్ట్రోడ్ ఏకరీతిలో విస్తరించి ఉంటుందిESC ఉపరితలం. ప్రభావవంతంగా ఉన్నప్పుడు, ఇది సంశ్లేషణ శక్తి మరియు క్షేత్ర ఏకరూపత యొక్క మితమైన స్థాయిని అందిస్తుంది.

ద్వంద్వ-ఎలక్ట్రోడ్ డిజైన్: ద్వంద్వ-ఎలక్ట్రోడ్ డిజైన్, అయితే, బలమైన మరియు మరింత ఏకరీతి ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫీల్డ్‌ను సృష్టించడానికి సానుకూల మరియు ప్రతికూల వోల్టేజ్‌లను ఉపయోగిస్తుంది. ఈ డిజైన్ అధిక సంశ్లేషణ శక్తిని అందిస్తుంది మరియు పొర ESC ఉపరితలం అంతటా గట్టిగా మరియు సమానంగా ఉండేలా చేస్తుంది.

ఎలక్ట్రోడ్‌లకు DC వోల్టేజ్ వర్తించినప్పుడు, ఎలక్ట్రోడ్‌లు మరియు పొరల మధ్య ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫీల్డ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది. ఈ ఫీల్డ్ ఇన్సులేటింగ్ లేయర్ ద్వారా విస్తరించి, పొర వెనుక వైపుతో సంకర్షణ చెందుతుంది. విద్యుత్ క్షేత్రం పొర ఉపరితలంపై ఛార్జీలను పునఃపంపిణీ చేయడానికి లేదా ధ్రువీకరించడానికి కారణమవుతుంది. డోప్డ్ సిలికాన్ పొరల కోసం, ఉచిత ఛార్జీలు విద్యుత్ క్షేత్రం యొక్క ప్రభావంతో కదులుతాయి-పాజిటివ్ ఛార్జీలు ప్రతికూల ఎలక్ట్రోడ్ వైపు కదులుతాయి మరియు ప్రతికూల చార్జీలు సానుకూల ఎలక్ట్రోడ్ వైపు కదులుతాయి. అన్‌డోప్ చేయబడిన లేదా ఇన్సులేటింగ్ పొరల విషయంలో, ఎలెక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ అంతర్గత ఛార్జీల స్వల్ప స్థానభ్రంశానికి కారణమవుతుంది, ద్విధ్రువాలను సృష్టిస్తుంది. ఫలితంగా ఏర్పడే ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫోర్స్ పొరను చక్‌కి గట్టిగా అంటుకుంటుంది. ఈ శక్తి యొక్క బలాన్ని కూలంబ్ చట్టం మరియు విద్యుత్ క్షేత్ర బలాన్ని ఉపయోగించి అంచనా వేయవచ్చు.