సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్లు ఎంత ముఖ్యమైనవి?

సెమీకండక్టర్ తయారీలో, ఫోటోలిథోగ్రఫీ మరియు ఎచింగ్ వంటి ప్రధాన ప్రక్రియ పరికరాలతో పాటు, మరొక రకమైన ప్రాథమిక భాగం ప్రక్రియ స్థిరత్వంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది:పొర పడవ.

ముఖ్యంగా ఇటీవలి సంవత్సరాలలో, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలు మరియు మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ల అభివృద్ధితో, సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేయబడిన సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర పడవలు నిశ్శబ్దంగా పరిశ్రమ ప్రమాణంగా మారుతున్నాయి.

కాబట్టి, సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఈ అకారణంగా ముఖ్యమైన భాగం ఏ పాత్ర పోషిస్తుంది?

01 వేఫర్ బోట్ యొక్క ప్రాథమిక విధులు

పొర పడవ అనేది పొరలను పట్టుకోవడానికి ఉపయోగించే ప్రాసెస్ క్యారియర్, ప్రధానంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ పరికరాలలో ఉపయోగించబడుతుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, పొరలు వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ, ఎనియలింగ్ మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) వంటి బహుళ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ దశలకు లోనవుతాయి. ఈ ప్రక్రియల సమయంలో, పొరలు సాధారణంగా ఫర్నేస్ ట్యూబ్ పరికరాలలో బ్యాచ్-ప్రాసెస్ చేయబడతాయి మరియు పొర పడవ క్రింది విధులను నిర్వహిస్తుంది:

- బహుళ పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడం మరియు స్థిరమైన అంతరాన్ని నిర్వహించడం

- అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో పొరల స్థాన స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడం

- పరికరాలతో కలిపి ఏకరీతి వాయువు ప్రవాహాన్ని నిర్ధారించడం

పొర పడవ యొక్క నిర్మాణం మరియు పదార్థ లక్షణాలు నేరుగా థర్మల్ ఫీల్డ్ పంపిణీ మరియు ప్రక్రియ అనుగుణ్యతను ప్రభావితం చేస్తాయి.

02 సిలికాన్ కార్బైడ్ బోట్‌ల నిర్మాణ లక్షణాలు

సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలుసాధారణంగా ఫ్రేమ్ డిజైన్‌ను ఉపయోగిస్తుంది, ఇది అధిక నిర్మాణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. విలక్షణమైన లక్షణాలు ఉన్నాయి:

- ఖచ్చితమైన పొర పొజిషనింగ్ కోసం బహుళ-పొర స్లాట్ నిర్మాణం

- పొరల మధ్య సులభమైన గ్యాస్ ప్రవాహం కోసం ఓపెన్ డిజైన్

- అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద వైకల్య ప్రమాదాన్ని తగ్గించడానికి అధిక దృఢత్వం ఫ్రేమ్

పరికరాల రకాన్ని బట్టి, పడవలను నిలువు లేదా సమాంతర నిర్మాణాలుగా రూపొందించవచ్చు మరియు వివిధ పొర పరిమాణాలకు మద్దతు ఇవ్వవచ్చు (ఉదా., 6-అంగుళాల, 8-అంగుళాల, 12-అంగుళాలు).

03 మెటీరియల్ ఎంపిక: ఎందుకుసిలికాన్ కార్బైడ్?

సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు అధిక శుభ్రత వైపు పరిణామం చెందుతున్నందున, క్వార్ట్జ్ మరియు అల్యూమినా వంటి సాంప్రదాయ పదార్థాలు ఎక్కువగా సరిపోవు. దీనికి విరుద్ధంగా, సిలికాన్ కార్బైడ్ అనేక పనితీరు కొలతలలో ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది.

1. అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: సిలికాన్ కార్బైడ్ సుమారు 1200℃ నుండి 1400℃ వరకు ఉష్ణోగ్రత పరిధిలో మంచి నిర్మాణ స్థిరత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది. నిర్దిష్ట అధిక-స్వచ్ఛత లేదా ప్రత్యేక ప్రక్రియ పరిస్థితులలో, ఇది మరింత అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో ఉపయోగించవచ్చు. ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద లోహ పదార్థాల మాదిరిగానే ద్రవీభవన లేదా ముఖ్యమైన మృదుత్వాన్ని ప్రదర్శించదు.

2. అధిక ఉష్ణ వాహకత: సిలికాన్ కార్బైడ్ అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది పొరల మధ్య ఉష్ణోగ్రత వ్యత్యాసాలను తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది, తద్వారా ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

3. థర్మల్ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం: సిలికాన్ కార్బైడ్ థర్మల్ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం కలిగి ఉంటుంది, ఇది తాపన మరియు శీతలీకరణ ప్రక్రియల సమయంలో పొరలపై ఉష్ణ ఒత్తిడి ప్రభావాన్ని తగ్గిస్తుంది.

4. రసాయన స్థిరత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ వివిధ వాతావరణాలలో మంచి రసాయన స్థిరత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది, వీటిలో ఆక్సీకరణం మరియు వాతావరణాన్ని తగ్గించడం వంటివి ఉంటాయి. అయినప్పటికీ, ఇది ఇప్పటికీ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సిజన్ పరిసరాలలో నెమ్మదిగా ఆక్సీకరణ చర్యకు లోనవుతుంది, సిలికాన్ డయాక్సైడ్ రక్షణ పొరను ఏర్పరుస్తుంది.

5. మెటీరియల్ స్వచ్ఛత మరియు కాలుష్య నియంత్రణ: సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సాధారణంగా పొర ఉపరితలంపై కాలుష్యం యొక్క ప్రమాదాన్ని తగ్గించడానికి ఖచ్చితంగా నియంత్రిత అశుద్ధ కంటెంట్‌ను కలిగి ఉంటుంది. వివిధ ప్రాసెస్ గ్రేడ్‌లలో ఉపయోగించే పదార్థాల మధ్య ముఖ్యమైన తేడాలు ఉన్నాయి.

04 అప్లికేషన్ ప్రాంతాలు

సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలు ప్రస్తుతం అనేక రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వీటిలో:

- ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీలో థర్మల్ ప్రాసెసింగ్

- పవర్ సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీ (ఉదా., SiC పరికరాలు)

- ఫోటోవోల్టాయిక్ సిలికాన్ పొరల యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్

- సెమీకండక్టర్ పదార్థం మరియు ప్రక్రియ పరిశోధన మరియు అభివృద్ధి

అధిక ఉష్ణోగ్రత, బలమైన తుప్పు లేదా అధిక శుభ్రత అవసరమయ్యే దృశ్యాలలో దీని ప్రయోజనాలు మరింత స్పష్టంగా కనిపిస్తాయి.

సెమికోరెక్స్ ఆఫర్లుSiC పొర పడవలు, కొలిమి గొట్టాలు, కాంటిలివర్ తెడ్డులు, మొదలైనవి అధిక-ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలలో. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com