సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్

సెమీకండక్టర్ తయారీలో, ఆక్సీకరణ అనేది పొరను అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో ఉంచడం, ఇక్కడ ఆక్సిజన్ పొర ఉపరితలంపై ప్రవహించి ఆక్సైడ్ పొరను ఏర్పరుస్తుంది. ఇది పొరను రసాయన మలినాలనుండి రక్షిస్తుంది, లీకేజ్ కరెంట్‌ను సర్క్యూట్‌లోకి ప్రవేశించకుండా నిరోధిస్తుంది, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ సమయంలో వ్యాప్తిని నిరోధిస్తుంది మరియు ఎచింగ్ సమయంలో పొర జారకుండా చేస్తుంది, పొర ఉపరితలంపై రక్షిత ఫిల్మ్‌ను ఏర్పరుస్తుంది. ఈ దశలో ఉపయోగించే పరికరాలు ఆక్సీకరణ కొలిమి. రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోని ప్రధాన భాగాలలో పొర పడవ, బేస్, ఫర్నేస్ లైనర్ ట్యూబ్‌లు, అంతర్గత ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు మరియు హీట్ ఇన్సులేషన్ బేఫిల్స్ ఉన్నాయి. అధిక ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత కారణంగా, రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోని భాగాల పనితీరు అవసరాలు కూడా ఎక్కువగా ఉంటాయి.

దిపొర పడవపొర రవాణా మరియు ప్రాసెసింగ్ కోసం క్యారియర్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది. ఇది అధిక ఏకీకరణ, అధిక విశ్వసనీయత, యాంటీ-స్టాటిక్ లక్షణాలు, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, దుస్తులు నిరోధకత, వైకల్యానికి నిరోధకత, మంచి స్థిరత్వం మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితం వంటి ప్రయోజనాలను కలిగి ఉండాలి. పొర ఆక్సీకరణ ఉష్ణోగ్రత సుమారుగా 800℃ మరియు 1300℃ మధ్య ఉంటుంది, మరియు వాతావరణంలో లోహ మలినాలను కలిగి ఉండే అవసరాలు చాలా కఠినంగా ఉంటాయి కాబట్టి, పొర పడవ వంటి కీలక భాగాలు అద్భుతమైన ఉష్ణ, యాంత్రిక మరియు రసాయన లక్షణాలను కలిగి ఉండటమే కాకుండా, చాలా తక్కువ లోహపు మలినం కలిగి ఉండాలి. సబ్‌స్ట్రేట్ ఆధారంగా, వాటిని క్వార్ట్జ్ పొర పడవలు, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పొర పడవలు మొదలైనవిగా విభజించవచ్చు. అయితే, 7nm కంటే తక్కువ ప్రాసెస్ నోడ్‌ల పురోగతి మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ విండోల విస్తరణతో, సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పడవలు క్రమంగా ఉష్ణ నియంత్రణ స్థిరత్వం మరియు జీవితకాల పరంగా సరిపోవు. సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పడవలు క్రమంగా సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పరిష్కారాలను భర్తీ చేస్తున్నాయి.

1. సెమీకండక్టర్ తయారీ

ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ వంటి చిప్ తయారీ యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో, SiC పడవలు సిలికాన్ పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉపయోగించబడతాయి, పొరలు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఫ్లాట్‌గా ఉండేలా చూస్తాయి మరియు లాటిస్ తప్పుగా అమరిక లేదా వైకల్యం కారణంగా ఏర్పడే ఒత్తిడికి హామీ ఇస్తుంది.

2. ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమ

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ అద్భుతమైన యాంత్రిక బలం, ఉష్ణ స్థిరత్వం, అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, ఆక్సీకరణ నిరోధకత, థర్మల్ షాక్ నిరోధకత మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి మరియు మెటలర్జీ, యంత్రాలు, కొత్త శక్తి మరియు నిర్మాణ సామగ్రి రసాయనాలు వంటి ప్రసిద్ధ రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. TOPcon కణాల కోసం వ్యాప్తి, LPCVD (తక్కువ పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) మరియు PECVD (ప్లాస్మా రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) వంటి కాంతివిపీడన తయారీలో ఉష్ణ ప్రక్రియలకు కూడా దీని పనితీరు సరిపోతుంది. సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పదార్థాలతో పోలిస్తే, పడవ మద్దతు, చిన్న పడవలు మరియు గొట్టపు ఉత్పత్తులను తయారు చేయడానికి ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పదార్థాలు అధిక బలాన్ని, మెరుగైన ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద ఎటువంటి రూపాంతరం చెందవు. వాటి జీవితకాలం క్వార్ట్జ్ కంటే ఐదు రెట్లు ఎక్కువ, నిర్వహణ పనికిరాని సమయం కారణంగా నిర్వహణ ఖర్చులు మరియు శక్తి నష్టాలను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది. ఇది స్పష్టమైన ఖర్చు ప్రయోజనాన్ని కలిగిస్తుంది మరియు ముడి పదార్థాలు విస్తృతంగా అందుబాటులో ఉన్నాయి.

3. మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ

లోహ-సేంద్రీయ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలు నీలమణి ఉపరితలాలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి, అమ్మోనియా (NH3) వంటి తినివేయు వాయువు వాతావరణాలను తట్టుకోవడానికి, గాలియం నైట్రైడ్ వంటి మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్‌ల ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధికి తోడ్పడతాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్‌లో, సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌లలో సిలికాన్ కార్బైడ్ బోట్‌లు సీడ్ క్రిస్టల్ సపోర్ట్‌గా పనిచేస్తాయి, కరిగిన సిలికాన్ యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత తినివేయు వాతావరణాన్ని తట్టుకుని, సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ స్ఫటికాల పెరుగుదలకు స్థిరమైన మద్దతును అందిస్తాయి మరియు కార్బైడ్ సింగిల్ స్ఫటికాల తయారీని అధిక నాణ్యతను ప్రోత్సహిస్తాయి.

Semicorex అధిక-నాణ్యత SiC సిరామిక్‌ను సరఫరా చేస్తుందిపొర పడవలు. మా ఉత్పత్తులు ఉన్నతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, పొడిగించిన సేవా జీవితం మరియు అసాధారణమైన ప్రక్రియ అనుగుణ్యతను అందించడానికి రూపొందించబడ్డాయి. అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాలు లేదా అదనపు సాంకేతిక సమాచారం కోసం, దయచేసి మా ఇంజనీరింగ్ బృందాన్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్: +86-13567891907

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com