సెమీకోరెక్స్ సిలికాన్ పీడస్టల్, తరచుగా పట్టించుకోని ఇంకా క్లిష్టమైన ముఖ్యమైన భాగం, సెమీకండక్టర్ డిఫ్యూజన్ మరియు ఆక్సీకరణ ప్రక్రియలలో ఖచ్చితమైన మరియు పునరావృత ఫలితాలను సాధించడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. అధిక-ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలలో సిలికాన్ పడవలు విశ్రాంతి తీసుకునే ప్రత్యేక ప్లాట్ఫారమ్, మెరుగైన ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత, మెరుగైన పొర నాణ్యత మరియు చివరికి ఉన్నతమైన సెమీకండక్టర్ పరికరం పనితీరుకు నేరుగా దోహదపడే ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది.**
1. సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ పీఠం సరైన ఫలితాల కోసం ప్రాసెసింగ్ ఎన్విరాన్మెంట్ను స్థిరీకరించడం:
క్రిస్టల్ బోట్ల కోసం స్థిరమైన పునాదిని సృష్టించడం:సిలికాన్ పెడెస్టల్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఫర్నేస్ ఛాంబర్లో సిలికాన్ బోట్ల కోసం బలమైన మరియు ఉష్ణ స్థిరమైన ప్లాట్ఫారమ్ను అందిస్తుంది. ఈ స్థిరత్వం ప్రక్రియ అంతటా పడవలు వాటి స్థానం మరియు విన్యాసాన్ని నిర్వహించేలా నిర్ధారిస్తుంది, అవాంఛిత కదలికలను నివారిస్తుంది లేదా గ్యాస్ ప్రవాహ డైనమిక్స్కు భంగం కలిగించే మరియు ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను రాజీ చేస్తుంది.
రియాక్షన్ చాంబర్లో ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపతను పెంచడం:ఫర్నేస్ ఫ్లోర్ మరియు గోడల నుండి సిలికాన్ పడవను సమర్థవంతంగా వేరుచేయడం ద్వారా, సిలికాన్ పీఠం ప్రసరణ ద్వారా ఉష్ణ నష్టాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు థర్మల్ రియాక్షన్ ట్యూబ్లో మరింత ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని ప్రోత్సహిస్తుంది. మొత్తం పొర ఉపరితలం అంతటా స్థిరమైన మరియు పునరావృతమయ్యే వ్యాప్తి లేదా ఆక్సీకరణ ప్రొఫైల్లను సాధించడానికి ఈ మెరుగైన థర్మల్ మేనేజ్మెంట్ సామర్ధ్యం కీలకం.
ఆప్టిమైజ్డ్ ఎనర్జీ వినియోగానికి ఇన్సులేషన్ సామర్థ్యాన్ని పెంచడం:సిలికాన్ పీఠం యొక్క స్వాభావిక థర్మల్ ఇన్సులేషన్ లక్షణాలు పరిసర పర్యావరణానికి ఉష్ణ నష్టాన్ని తగ్గించడం ద్వారా మరింత శక్తి-సమర్థవంతమైన ప్రక్రియకు దోహదం చేస్తాయి. ఇది వేగవంతమైన తాపన మరియు శీతలీకరణ చక్రాలకు అనువదిస్తుంది, శక్తి వినియోగం తగ్గుతుంది మరియు చివరికి మొత్తం ప్రాసెసింగ్ ఖర్చులు తగ్గుతాయి.
2. సుపీరియర్ వేఫర్ నాణ్యత కోసం మెటీరియల్ సినర్జీ:
తగ్గిన పొర ఒత్తిడికి సరిపోలే ఉష్ణ విస్తరణ:సిలికాన్ పీఠం, పడవలు మరియు పొరల వలె అదే అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ పదార్థం నుండి తయారు చేయబడింది, క్వార్ట్జ్ లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్ వంటి ప్రత్యామ్నాయ పదార్థాల కంటే కీలకమైన ప్రయోజనాన్ని అందిస్తుంది. తాపన మరియు శీతలీకరణ చక్రాల సమయంలో పీఠం, పడవ మరియు పొరలు దాదాపు ఒకే విధమైన రేటుతో విస్తరిస్తాయి మరియు సంకోచించడాన్ని ఈ మెటీరియల్ సినర్జీ నిర్ధారిస్తుంది, ఇది పరికరం దిగుబడి మరియు పనితీరును ప్రతికూలంగా ప్రభావితం చేసే ఉష్ణ ఒత్తిడి, పొర వంపు మరియు స్ఫటికాకార లోపాల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.
కాలుష్యం మరియు లాటిస్ అసమానతలను తగ్గించడం:సిలికాన్ పీఠం మరియు పడవ రెండింటికీ అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ను ఉపయోగించడం వలన అసమాన పదార్థాల నుండి కలుషితమయ్యే సంభావ్యతను తొలగిస్తుంది, పొరల కోసం సహజమైన ప్రాసెసింగ్ వాతావరణాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఈ మెటీరియల్ అనుకూలత పొర-బోట్ ఇంటర్ఫేస్లో లాటిస్ అసమతుల్యత ప్రమాదాన్ని కూడా తగ్గిస్తుంది, మెరుగైన క్రిస్టల్ నాణ్యత మరియు తగ్గిన లోపం సాంద్రతలకు మరింత దోహదం చేస్తుంది.