15" క్వార్ట్జ్ బెల్ జార్

సెమికోరెక్స్ 15" క్వార్ట్జ్ బెల్ జార్ ఈ సవాళ్లను ఎదుర్కొనేలా రూపొందించబడింది, మధ్య నుండి పెద్ద స్థాయి బ్యాచ్ ప్రాసెసింగ్ కోసం అధిక-పనితీరు పరిష్కారాన్ని అందిస్తుంది, ఇక్కడ దిగుబడిని పెంచడానికి ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు పదార్థ స్వచ్ఛత అవసరం. సెమీకండక్టర్ మరియు సన్నని-ఫిల్మ్ పరిశ్రమలలో, ప్రాసెస్ ఛాంబర్ యొక్క సమగ్రత అవసరం లేదు. పరిశుభ్రమైన, స్థిరమైన మరియు రసాయనికంగా జడత్వం లేని పర్యావరణం చర్చించబడదు.

1. మెటీరియల్ సైన్స్: ది ప్యూరిటీ ఆఫ్ ఫ్యూజ్డ్ సిలికా

మా బెల్ జార్ యొక్క పునాది అధిక స్వచ్ఛతఫ్యూజ్డ్ సిలికా (క్వార్ట్జ్). ప్రామాణిక గాజులా కాకుండా, క్వార్ట్జ్ దాదాపు పూర్తిగా SiO2తో కూడి ఉంటుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీకి కీలకమైన ప్రత్యేక లక్షణాలను అందిస్తుంది:

అల్ట్రా-తక్కువ కాలుష్యం: మా క్వార్ట్జ్ మెటాలిక్ ట్రేస్ ఎలిమెంట్‌లను (అల్, ఫే, నా మరియు కె వంటివి) పార్ట్స్-పర్-బిలియన్ (పిపిబి) స్థాయికి తగ్గించడానికి ప్రాసెస్ చేయబడింది. ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత చక్రాల సమయంలో పొరలోకి మలినాలను వ్యాప్తి చేయడాన్ని నిరోధిస్తుంది, పరికరాల యొక్క విద్యుత్ సమగ్రతను నిర్ధారిస్తుంది.

సుపీరియర్ థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్: క్వార్ట్జ్ దగ్గర జీరో కోఎఫీషియంట్ ఆఫ్ థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ (CTE)ని కలిగి ఉంది. ఇది 15" క్వార్ట్జ్ బెల్ జార్ వేగవంతమైన ఉష్ణోగ్రత ర్యాంపింగ్ మరియు ఫ్రాక్చర్ లేదా స్ట్రక్చరల్ ఫెటీగ్ ప్రమాదం లేకుండా తట్టుకోడానికి అనుమతిస్తుంది-అధిక-నిర్గమాంశ రియాక్టర్‌లకు కీలకమైన అవసరం.

అద్భుతమైన రసాయన జడత్వం: క్వార్ట్జ్ చాలా ఆమ్లాలకు (హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్ మినహా) మరియు తినివేయు ప్రక్రియ వాయువులకు అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, దూకుడు చెక్కడం లేదా నిక్షేపణ చక్రాల సమయంలో గది క్షీణించకుండా లేదా వాయువును బయటకు తీయకుండా చూసుకుంటుంది.

2. ప్రెసిషన్ ఇంజనీరింగ్ మరియు ఆప్టికల్ క్లారిటీ

15" క్వార్ట్జ్ బెల్ జార్ బ్యాచ్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం గరిష్ట వాల్యూమ్ మరియు సరైన గ్యాస్ ఫ్లో డైనమిక్‌లను అందిస్తుంది. జార్‌లో నిలువు చిమ్నీ (మెడ అని కూడా పిలుస్తారు) ఉంది, ఇది గ్యాస్ కోసం ఇన్‌లెట్‌ను అందించడానికి లేదా పై చిత్రంలో చూపబడిన జార్ నుండి వాక్యూమ్ ద్వారా గ్యాస్‌ను సంగ్రహించడంలో సహాయపడుతుంది.

ఆప్టికల్ పారదర్శకత - అధిక స్థాయి ప్రసారంక్వార్ట్జ్ పదార్థంస్పెక్ట్రమ్‌లోని అతినీలలోహిత, కనిపించే మరియు పరారుణ ప్రాంతాలలో తరంగదైర్ఘ్యాలను విడుదల చేయడం ద్వారా రియల్ టైమ్ ప్రాసెసింగ్‌తో పాటు వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) కోసం బాహ్య ల్యాంప్ హీటర్‌ల వినియోగాన్ని అనుమతిస్తుంది.

రీన్‌ఫోర్స్డ్ సీలింగ్ సర్ఫేసెస్ - జార్ మెడలో ప్రత్యేకంగా అభివృద్ధి చేయబడిన అపారదర్శక తెల్లని సీల్ (గ్రౌండ్ జాయింట్ అని కూడా పిలుస్తారు) ఉంది, ఇది రియాక్టర్ బేస్‌ప్లేట్ మరియు జార్ మధ్య హెర్మెటిక్ (గాలి-సీల్డ్) మరియు వాక్యూమ్-టైట్ ఇంటర్‌ఫేస్‌ను అందిస్తుంది.

ఒత్తిడి ఉపశమనం కోసం ఎనియలింగ్ - మొత్తం 15" క్వార్ట్జ్ బెల్ జార్ ఒక కఠినమైన థర్మల్ ఎనియలింగ్ ప్రక్రియకు లోనవుతుంది, ఇది కూజాను ఊదడం లేదా ఆకృతి చేయడం వంటి యాంత్రిక ప్రక్రియ ద్వారా కూజాపై ఉంచబడిన అంతర్గత యాంత్రిక ఒత్తిడిని ఉపశమనానికి గురి చేస్తుంది, కాబట్టి జార్ కింద ఉంచినప్పుడు వాక్యూమ్ ఆకస్మికంగా విఫలమయ్యే అవకాశాన్ని గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది.

3. సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్‌లో క్లిష్టమైన అప్లికేషన్‌లు

మా 15" క్వార్ట్జ్ బెల్ జార్ కింది అధిక-విలువ ప్రక్రియలలో ఏకీకరణ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది:

సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ: అధిక-నాణ్యత సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ లేయర్‌లను పెంచడం కోసం పారదర్శక, నాన్-రియాక్టివ్ నౌకను అందించడం.

ప్లాస్మా ఎన్‌హాన్స్‌డ్ CVD (PECVD): అధిక విద్యుద్వాహక శక్తిని కొనసాగిస్తూ తినివేయు ప్లాస్మా వాతావరణాన్ని తట్టుకోవడం.

వ్యాప్తి మరియు ఆక్సీకరణం: గేట్ ఆక్సైడ్లు మరియు డోపాంట్ డ్రైవ్-ఇన్ ఏర్పడటానికి శుభ్రమైన, అధిక-వేడి గదిగా పని చేస్తుంది.

ఆప్టికల్ ఫైబర్ ప్రిఫార్మ్ ప్రొడక్షన్: స్పెషాలిటీ గ్లాస్ తయారీలో సిలికా లేయర్‌ల అధిక స్వచ్ఛత నిక్షేపణకు అనువైనది.

సెమికోరెక్స్‌లో, మేము ప్రతి బెల్ జార్‌ను ఖచ్చితమైన ప్రయోగశాల సామగ్రిగా నిర్వహిస్తాము. మా ప్రక్రియలో ఇవి ఉంటాయి: ధృవీకరించబడిన ఎలక్ట్రానిక్-గ్రేడ్‌తో కఠినమైన మెటీరియల్ సోర్సింగ్క్వార్ట్జ్కడ్డీలు; సాంప్రదాయ గ్లాస్-బ్లోయింగ్ నైపుణ్యాలను CNC-నియంత్రిత గ్రౌండింగ్ మరియు పాలిషింగ్‌తో విలీనం చేసే అధునాతన ఫ్యాబ్రికేషన్; మరియు ఖచ్చితమైన డైమెన్షనల్ తనిఖీల కోసం అవశేష ఒత్తిడిని మరియు లేజర్ ఇంటర్‌ఫెరోమెట్రీని గుర్తించడానికి ధ్రువణ కాంతిని ఉపయోగించి సమగ్ర తనిఖీ.