C/C హీటర్

అధునాతన సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ తయారీలో, అధిక-నాణ్యత క్రిస్టల్ నిర్మాణాలను సాధించడానికి ఖచ్చితమైన ఉష్ణ నియంత్రణ అవసరం. సెమికోరెక్స్ C/C హీటర్ (కార్బన్/కార్బన్ మెయిన్ హీటర్) అసాధారణమైన ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వాన్ని అందించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్రిస్టల్ గ్రోత్ సిస్టమ్‌లలో కీలకమైన భాగం.

పైన చూపిన C/C హీటర్ కరెంట్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ మరియు థర్మల్ రేడియేషన్‌ను ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి రూపొందించబడిన ఖచ్చితత్వ-కట్ స్లాట్‌లతో కూడిన సెగ్మెంటెడ్ రింగ్ స్ట్రక్చర్‌ను కలిగి ఉంది. ఈ కాన్ఫిగరేషన్ హీటింగ్ జోన్ అంతటా అత్యంత ఏకరీతి ఉష్ణ ఉత్పత్తిని అనుమతిస్తుంది, థర్మల్ ప్రవణతలను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది మరియు స్థిరమైన క్రిస్టల్ పెరుగుదల పరిస్థితులకు మద్దతు ఇస్తుంది. ఇది మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ (CZ పద్ధతి) మరియు పాలీక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఉత్పత్తి వంటి ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇక్కడ ఉష్ణోగ్రత ఖచ్చితత్వం పదార్థం నాణ్యత మరియు దిగుబడిని నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది.

సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్ హీటర్‌లు తరచుగా పునరావృతమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత చక్రాలపై యాంత్రిక దీర్ఘాయువు మరియు ఉష్ణ వైకల్యంతో పోరాడుతాయి.C/C మిశ్రమాలు, అధిక-బలం కలిగిన కార్బన్ ఫైబర్‌లతో బలోపేతం చేయబడి, ఉన్నతమైన ప్రత్యామ్నాయాన్ని అందిస్తాయి. కార్బన్ ఫైబర్‌లచే బలోపేతం చేయబడిన కార్బన్ మ్యాట్రిక్స్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, సిలికాన్ కడ్డీ పెరుగుదల సమయంలో కరిగే-ఘన ఇంటర్‌ఫేస్‌ను నియంత్రించడానికి అవసరమైన ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతలను అందించేటప్పుడు C/C హీటర్ అసాధారణమైన నిర్మాణ సమగ్రతను నిర్వహిస్తుంది.

ముఖ్య లక్షణాలు:

సాంద్రత: ≥1.50 g/cm³

ఉష్ణ వాహకత (RT): ≥40 W/(m·K)

ఎలక్ట్రికల్ రెసిస్టివిటీ (RT): 20–30 μΩ·m

ఎలక్ట్రికల్ రెసిస్టివిటీ (అధిక ఉష్ణోగ్రత): 14–20 μΩ·m

సిలికాన్ వృద్ధికి కీలక ప్రయోజనాలు

1. అసాధారణమైన ఉష్ణ ఏకరూపత

C/C మెయిన్ హీటర్ యొక్క ప్రాథమిక విధి సౌష్టవ ఉష్ణ పంపిణీని అందించడం. మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ పెరుగుదలలో, ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతలో స్వల్ప హెచ్చుతగ్గులు కూడా ఆక్సిజన్ అవక్షేపణ సమస్యలు లేదా తొలగుటలకు దారితీయవచ్చు. మా హీటర్‌ల ఫైబర్-రీన్‌ఫోర్స్డ్ స్ట్రక్చర్ క్రూసిబుల్ అంతటా వేడి సమానంగా ప్రసరించేలా చేస్తుంది, స్థిరమైన వృద్ధి రేటును ప్రోత్సహిస్తుంది.

2. మెరుగైన రసాయన స్వచ్ఛత

సెమీకండక్టర్ సామర్థ్యానికి కాలుష్యం శత్రువు. మా C/C హీటర్లు అధిక-ఉష్ణోగ్రత శుద్దీకరణ ప్రక్రియలకు లోనవుతాయి, బూడిద కంటెంట్ కనిష్టంగా ఉండేలా చూసుకోవాలి (సాధారణంగా <20ppm). ఇది సిలికాన్ మెల్ట్‌లోకి ప్రవేశించకుండా లోహ మలినాలను నిరోధిస్తుంది, N-రకం లేదా P-రకం పొరలకు అవసరమైన అధిక నిరోధకత మరియు క్యారియర్ జీవితకాలాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

3. దీర్ఘాయువు మరియు వ్యయ-సమర్థత

ప్రామాణిక ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్‌తో పోలిస్తే,C/C మిశ్రమాలుచాలా ఎక్కువ బలం-బరువు నిష్పత్తిని కలిగి ఉంటాయి. ఇవి థర్మల్ షాక్‌కు అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి మరియు 1500℃ కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద సుదీర్ఘ ఉపయోగం తర్వాత పెళుసుగా మారవు. ఈ మన్నిక తక్కువ ఫర్నేస్ టియర్‌డౌన్‌లకు దారితీస్తుంది మరియు ఫ్యాబ్ ఆపరేటర్‌లకు యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం ఖర్చును తగ్గిస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో అప్లికేషన్లు

ప్రాథమికంగా సిలికాన్ డ్రాయర్‌లలో (CZ ఫర్నేస్‌లు) సెంట్రల్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్‌గా ఉపయోగించబడుతున్నప్పటికీ, ఈ C/C హీటర్‌లు వీటికి కూడా సమగ్రమైనవి:

పాలీసిలికాన్ తగ్గింపు ఫర్నేసులు: రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ కోసం స్థిరమైన వేడిని అందించడం.

అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాక్యూమ్ ఫర్నేసులు: అధునాతన సిరామిక్ పదార్థాలను సింటరింగ్ మరియు ఎనియలింగ్ కోసం.