సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్

సెమికోరెక్స్ సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్, అల్యూమినా సిరామిక్ నుండి రూపొందించబడింది, వివిధ కల్పన ప్రక్రియల సమయంలో సెమీకండక్టర్ పొరలను సురక్షితంగా పట్టుకోవడానికి అవసరం. మెటీరియల్ లక్షణాల యొక్క ప్రత్యేకమైన కలయికతో, ఈ సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ సెమీకండక్టర్ పరికరాల ఉత్పత్తి అంతటా ఖచ్చితత్వం, విశ్వసనీయత మరియు సామర్థ్యాన్ని నిర్ధారించడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.

సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ యొక్క గుండె వద్ద అల్యూమినా సిరామిక్ ఉంది, ఇది అసాధారణమైన భౌతిక మరియు రసాయన లక్షణాల కోసం పరిశ్రమలో ఎక్కువగా పరిగణించబడుతుంది. అల్యూమినా (Al2O3) దాని అత్యుత్తమ విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ సామర్థ్యాలకు ప్రసిద్ధి చెందింది, ఇది ESC సందర్భంలో కీలకం. సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ సమయంలో, తయారు చేయబడిన సున్నితమైన సర్క్యూట్‌ను ప్రభావితం చేసే ఎటువంటి విద్యుత్ జోక్యం లేకుండా పొరలను గట్టిగా పట్టుకోవాలి. అల్యూమినా సిరామిక్ యొక్క అధిక విద్యుద్వాహక బలం విద్యుత్ ఉత్సర్గ ప్రమాదం లేకుండా అవసరమైన అధిక వోల్టేజీల వద్ద చక్ పనిచేయగలదని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది పొర స్థానం మరియు సమగ్రతను నిర్వహించడానికి అవసరమైన స్థిరమైన మరియు నమ్మదగిన బిగింపు శక్తిని అందిస్తుంది.

సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ అల్యూమినా సిరామిక్‌లో పొందుపరిచిన ఎలక్ట్రోడ్‌ల ద్వారా ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫీల్డ్‌ను ఉత్పత్తి చేయడం ద్వారా పనిచేస్తుంది. వోల్టేజీని వర్తింపజేసినప్పుడు, ఫలిత క్షేత్రం చక్ యొక్క ఉపరితలంపై పొరను సురక్షితంగా ఉంచే బలమైన బిగింపు శక్తిని సృష్టిస్తుంది. ఈ నాన్-మెకానికల్ బిగింపు పద్ధతి సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో ప్రత్యేకించి ప్రయోజనకరంగా ఉంటుంది, ఎందుకంటే ఇది భౌతిక సంబంధాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు పొరకు కాలుష్యం మరియు యాంత్రిక నష్టాన్ని తగ్గిస్తుంది, ఇది అధునాతన నోడ్‌లకు ముఖ్యంగా కీలకం, ఇక్కడ స్వల్ప లోపం కూడా గణనీయమైన దిగుబడి నష్టానికి దారి తీస్తుంది.

సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలలో ఒకటి దాని ఉష్ణ పనితీరు. సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలు తరచుగా అధిక ఉష్ణోగ్రతలను కలిగి ఉంటాయి, ఇది పొరకు ఉష్ణ ఒత్తిడిని పరిచయం చేస్తుంది. అల్యూమినా సిరామిక్ దాని అద్భుతమైన థర్మల్ కండక్టివిటీకి విలువైనది, ఇది ప్రాసెసింగ్ సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని సమర్థవంతంగా వెదజల్లడానికి సిరామిక్ ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌ని అనుమతిస్తుంది. పొర అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్వహించడానికి ఈ థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ సామర్ధ్యం అవసరం, తద్వారా వార్పింగ్ లేదా మైక్రో క్రాకింగ్‌కు దారితీసే ఉష్ణ ప్రవణతలను తగ్గిస్తుంది. అల్యూమినా సిరామిక్ అందించిన స్థిరత్వం ఫోటోలిథోగ్రఫీ మరియు ఎచింగ్ వంటి క్లిష్టమైన ప్రక్రియలు ఖచ్చితత్వంతో నిర్వహించబడుతుందని నిర్ధారిస్తుంది, తయారీ చక్రం అంతటా పొర యొక్క సమగ్రతను కాపాడుతుంది.

అంతేకాకుండా, అల్యూమినా సిరామిక్ యొక్క యాంత్రిక దృఢత్వం ESC యొక్క మన్నిక మరియు దీర్ఘాయువుకు గణనీయంగా దోహదపడుతుంది. సెమీకండక్టర్ తయారీలో, సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ పొర ప్లేస్‌మెంట్, ప్రాసెసింగ్ మరియు తొలగింపు యొక్క పునరావృత చక్రాలకు లోబడి ఉంటుంది. అల్యూమినా యొక్క దుస్తులు నిరోధకత చక్ గణనీయమైన క్షీణత లేకుండా ఈ చక్రాలను భరించగలదని నిర్ధారిస్తుంది. ధరించడానికి ఈ నిరోధకత చక్ యొక్క జీవితకాలాన్ని పొడిగించడమే కాకుండా, రేణువుల ఉత్పత్తి యొక్క సంభావ్యతను తగ్గిస్తుంది, ఇది పొరను కలుషితం చేస్తుంది మరియు పరికరం నాణ్యతను రాజీ చేస్తుంది. పదార్థం యొక్క కాఠిన్యం అంటే చక్ ఉపరితలం మృదువుగా మరియు ఏకరీతిగా ఉంటుంది, స్థిరమైన బిగింపు శక్తిని నిర్వహించడంలో మరియు పొర నష్టాన్ని నివారించడంలో కీలకమైన అంశం.