SiC కోట్‌తో CVD షవర్ హెడ్

అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ నుండి నిర్మించబడింది మరియు CVD పద్ధతి ద్వారా సన్నని SiC పొరతో కప్పబడి ఉంటుంది, SiC కోట్‌తో కూడిన CVD షవర్ హెడ్ గ్రాఫైట్ మరియు SiC రెండింటి యొక్క ప్రయోజనకరమైన లక్షణాలను వివాహం చేసుకుంటుంది. ఈ సమ్మేళనం వాయువుల స్థిరమైన మరియు ఖచ్చితమైన పంపిణీని నిర్ధారించడంలో మాత్రమే కాకుండా, నిక్షేపణ పరిసరాలలో తరచుగా ఎదుర్కొనే ఉష్ణ మరియు రసాయన కఠినతలకు వ్యతిరేకంగా అద్భుతమైన స్థితిస్థాపకతను కలిగి ఉండే ఒక భాగాన్ని కలిగిస్తుంది.

SiC కోట్‌తో కూడిన CVD షవర్ హెడ్ యొక్క కార్యాచరణకు కీలకం ఏమిటంటే, ఉపరితల ఉపరితలం అంతటా పూర్వగామి వాయువులను ఏకరీతిగా వెదజల్లడంలో దాని నైపుణ్యం, ఇది ఉపరితలం పైన వ్యూహాత్మకంగా ఉంచడం మరియు చిన్న రంధ్రాలు లేదా నాజిల్‌ల యొక్క ఖచ్చితమైన రూపకల్పన ద్వారా సాధించబడుతుంది. స్థిరమైన నిక్షేపణ ఫలితాలను సాధించడానికి ఈ ఏకరూప పంపిణీ కీలకమైనది.

SiC కోట్‌తో CVD షవర్ హెడ్‌కు కోటింగ్ మెటీరియల్‌గా SiC ఎంపిక ఏకపక్షం కాదు కానీ దాని ఉన్నతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన స్థిరత్వం ద్వారా తెలియజేయబడుతుంది. నిక్షేపణ ప్రక్రియలో వేడి చేరడం తగ్గించడానికి మరియు CVD ప్రక్రియలను సూచించే తినివేయు వాయువులు మరియు కఠినమైన పరిస్థితులకు వ్యతిరేకంగా బలమైన రక్షణను అందించడంతో పాటు, ఉపరితలం అంతటా సమాన ఉష్ణోగ్రతను నిర్వహించడానికి ఈ లక్షణాలు అవసరం.

వివిధ CVD సిస్టమ్‌లు మరియు ప్రాసెస్ అవసరాల యొక్క నిర్దిష్ట డిమాండ్‌లకు అనుగుణంగా రూపొందించబడింది, SiC కోట్‌తో కూడిన CVD షవర్ హెడ్ రూపకల్పన, ఖచ్చితంగా లెక్కించబడిన రంధ్రాలు లేదా స్లాట్‌లతో అమర్చబడిన ప్లేట్ లేదా డిస్క్ ఆకారాన్ని కలిగి ఉంటుంది. SiC కోట్ డిజైన్‌తో కూడిన CVD షవర్ హెడ్ ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీని మాత్రమే కాకుండా నిక్షేపణ ప్రక్రియకు అవసరమైన సరైన ప్రవాహ రేట్లు కూడా నిర్ధారిస్తుంది, మెటీరియల్ డిపాజిషన్ ప్రక్రియలలో ఖచ్చితత్వం మరియు ఏకరూపత సాధనలో లించ్‌పిన్‌గా భాగం యొక్క పాత్రను హైలైట్ చేస్తుంది.