CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ షవర్ హెడ్

సెమికోరెక్స్ CVD SiC (కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ సిలికాన్ కార్బైడ్) పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ షవర్ హెడ్ అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు ప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (PECVD) వంటి వివిధ పారిశ్రామిక ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే ఒక ప్రత్యేక భాగం. ఈ నిక్షేపణ ప్రక్రియల సమయంలో పూర్వగామి వాయువులు లేదా రియాక్టివ్ జాతులను ఉపరితల ఉపరితలంపైకి అందించడంలో ఇది కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.

CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ షవర్ హెడ్ అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌తో తయారు చేయబడింది మరియు CVD పద్ధతి ద్వారా SiC పలుచని పొరతో పూత చేయబడింది. CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ షవర్ హెడ్ గ్రాఫైట్ మరియు SiC యొక్క ప్రయోజనకరమైన లక్షణాలను మిళితం చేస్తుంది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు రసాయన వాతావరణాలకు నిరోధకతతో పాటు ఖచ్చితమైన మరియు ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీ అవసరమయ్యే వివిధ నిక్షేపణ ప్రక్రియలలో ఇది ఒక ముఖ్యమైన భాగం.

లక్షణాలు:

రసాయన నిరోధకత

ఉష్ణ స్థిరత్వం

మృదువైన మరియు ఏకరీతి ఉపరితలం

తగ్గిన కాలుష్యం