ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC

సెమికోరెక్స్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC దాని విద్యుద్వాహక సిరామిక్ పొరకు వర్తించే అధిక-వోల్టేజ్ డైరెక్ట్ కరెంట్ (DC)ని ఉపయోగించి ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ సంశ్లేషణ సూత్రంపై పనిచేస్తుంది. ఈ సాంకేతికత ప్రాసెసింగ్ సమయంలో పొరలు లేదా ఇతర పదార్థాలను సురక్షితంగా అటాచ్‌మెంట్ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది, వివిధ ఫాబ్రికేషన్ దశల్లో స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితత్వం రెండింటినీ నిర్ధారిస్తుంది.

చక్‌కు అధిక DC వోల్టేజ్ వర్తించినప్పుడు, సిరామిక్ విద్యుద్వాహక పొరలోని చార్జ్డ్ అయాన్‌లు దాని ఉపరితలంపై వలస వెళ్లి పేరుకుపోతాయి. ఇది చక్ మరియు ప్రాసెస్ చేయవలసిన ఉత్పత్తి మధ్య బలమైన ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫీల్డ్‌ను సృష్టిస్తుంది. ఉత్పత్తి చేయబడిన ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఆకర్షణ పొరను ఉంచడానికి తగినంత బలంగా ఉంటుంది, ఇది క్లిష్టమైన మరియు అధిక-ఖచ్చితమైన కార్యకలాపాల సమయంలో కూడా కదలకుండా ఉండేలా చేస్తుంది. ప్రాసెస్ చేయబడిన పొరల నాణ్యత మరియు సమగ్రతను రాజీ చేసే సూక్ష్మ కదలికలు మరియు వైబ్రేషన్‌లను తగ్గించడంలో ఇది సహాయపడుతుంది కాబట్టి ఈ సురక్షిత హోల్డ్ చాలా కీలకం. కనిష్ట మెకానికల్ కాంటాక్ట్‌తో పొరలను భద్రపరిచే సామర్థ్యం భౌతిక నష్టాన్ని కూడా నిరోధిస్తుంది, ఇది సాంప్రదాయ బిగింపు పద్ధతుల కంటే ప్రత్యేకమైన ప్రయోజనం.

J-R రకం ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC ఈ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ సంశ్లేషణను రూపొందించడానికి అవసరమైన అంతర్నిర్మిత ఎలక్ట్రోడ్‌లతో అమర్చబడి ఉంటుంది. ఈ ఎలక్ట్రోడ్‌లు పొర లేదా ప్రాసెస్ చేయబడిన ఇతర పదార్థాల ఉపరితలం అంతటా ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శక్తిని సమానంగా పంపిణీ చేయడానికి చక్‌లో ఉంచబడతాయి. ఈ సరి పంపిణీ స్థిరమైన ఒత్తిడిని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది చెక్కడం, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు నిక్షేపణ వంటి సంక్లిష్ట ప్రక్రియల సమయంలో ఏకరూపతను కొనసాగించడానికి అవసరం. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC అందించే ఖచ్చితమైన సంశ్లేషణ ఆధునిక సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ యొక్క డిమాండ్ స్పెసిఫికేషన్లకు అనుగుణంగా అనుమతిస్తుంది.

సంశ్లేషణ యొక్క దాని ప్రాథమిక విధికి అదనంగా, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC ఒక అధునాతన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ వ్యవస్థను కలిగి ఉంది. చక్ ప్రాసెస్ చేయబడిన ఉత్పత్తి యొక్క ఉష్ణోగ్రతను నియంత్రించడానికి రూపొందించబడిన ఇంటిగ్రేటెడ్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్లను కలిగి ఉంటుంది. ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో కీలకమైన అంశం, ఎందుకంటే స్వల్ప ఉష్ణోగ్రత వైవిధ్యాలు కూడా ప్రక్రియ యొక్క ఫలితాన్ని ప్రభావితం చేస్తాయి. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC బహుళ-జోన్ ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను అందిస్తుంది, ఇది పొర యొక్క వివిధ విభాగాలను స్వతంత్రంగా వేడి చేయడానికి లేదా చల్లబరచడానికి అనుమతిస్తుంది. ఇది పొర యొక్క మొత్తం ఉపరితలం అంతటా ఉష్ణోగ్రత స్థిరంగా నిర్వహించబడుతుందని నిర్ధారిస్తుంది, ఏకరీతి ప్రాసెసింగ్ ఫలితాలను ప్రోత్సహిస్తుంది మరియు ఉష్ణ నష్టం లేదా వార్పింగ్ ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC నిర్మాణంలో అధిక-స్వచ్ఛత పదార్థాలను ఉపయోగించడం మరొక ముఖ్యమైన లక్షణం. ఈ చక్ కోసం ఎంచుకున్న పదార్థాలు పార్టికల్ కాలుష్యాన్ని తగ్గించడానికి రూపొందించబడ్డాయి, ఇది సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్‌లో కీలకమైన ఆందోళన. చిన్న కణాలు కూడా సూక్ష్మ నిర్మాణాలలో లోపాలను కలిగిస్తాయి, ఇది దిగుబడి తగ్గడానికి మరియు సంభావ్య ఉత్పత్తి వైఫల్యానికి దారితీస్తుంది. అధిక-స్వచ్ఛత పదార్థాలను ఉపయోగించడం ద్వారా, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC ప్రాసెసింగ్ వాతావరణంలోకి కలుషితాలను ప్రవేశపెట్టే ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది, తద్వారా అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తికి మద్దతు ఇస్తుంది.

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC అనేది ప్లాస్మా కోతకు నిరోధకత. అనేక సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో, ముఖ్యంగా ఎచింగ్ మరియు డిపాజిషన్‌లో, చక్ రియాక్టివ్ ప్లాస్మా పరిసరాలకు బహిర్గతమవుతుంది. కాలక్రమేణా, ఈ బహిర్గతం చక్‌లో ఉపయోగించే పదార్థాలను క్షీణింపజేస్తుంది, దాని పనితీరు మరియు జీవితకాలాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC ప్రత్యేకంగా ప్లాస్మా కోతను నిరోధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది కఠినమైన ప్రాసెసింగ్ పరిసరాలలో కూడా దాని నిర్మాణ సమగ్రతను మరియు పనితీరును నిర్వహించడానికి అనుమతిస్తుంది. ఈ మన్నిక సుదీర్ఘ సేవా జీవితానికి అనువదిస్తుంది, తరచుగా భర్తీ చేయవలసిన అవసరాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి లైన్‌లో పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది.

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ ESC యొక్క యాంత్రిక లక్షణాలు కూడా చాలా ముఖ్యమైనవి. చక్ చాలా గట్టి టాలరెన్స్‌లకు తయారు చేయబడింది, ఇది దాని నిర్దిష్ట అప్లికేషన్‌లకు అవసరమైన ఖచ్చితమైన ఆకారం మరియు కొలతలను నిర్వహిస్తుందని నిర్ధారిస్తుంది. అవసరమైన ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు మృదుత్వాన్ని సాధించడానికి హై-ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్ టెక్నిక్‌లు ఉపయోగించబడతాయి, ఇవి ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ సంశ్లేషణను కూడా నిర్ధారించడానికి మరియు సున్నితమైన పొరలను దెబ్బతీసే ప్రమాదాన్ని తగ్గించడానికి అవసరమైనవి. చక్ యొక్క యాంత్రిక బలం సమానంగా ఆకట్టుకుంటుంది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక-పీడన ప్రక్రియల సమయంలో విధించిన భౌతిక ఒత్తిళ్లను తట్టుకునేలా చేస్తుంది, ఇది పొరను సురక్షితంగా ఉంచే సామర్థ్యాన్ని వైకల్యం లేకుండా లేదా కోల్పోకుండా ఉంటుంది.