సెమికోరెక్స్ ఇన్నర్ గైడ్ ట్యూబ్ అనేది అధిక-పనితీరు గల కార్బన్/కార్బన్ మిశ్రమ భాగం, ఇది ఉష్ణ ప్రవాహాన్ని నియంత్రించడానికి మరియు అధిక స్వచ్ఛత సిలికాన్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల సమయంలో స్థిరమైన, ఏకరీతి ఉష్ణ క్షేత్రాన్ని సృష్టించడానికి రూపొందించబడింది. సెమికోరెక్స్ అనేది అధునాతన మెటీరియల్స్ మరియు ప్రెసిషన్-ఇంజనీరింగ్ కాంపోనెంట్ల విశ్వసనీయ ప్రొవైడర్, ప్రపంచవ్యాప్తంగా సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ తయారీ పరిశ్రమలకు నమ్మదగిన పరిష్కారాలను అందిస్తుంది.*
సెమికోరెక్స్ ఇన్నర్ గైడ్ ట్యూబ్ ఒక ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్కార్బన్/కార్బన్ (C/C) భాగంఅధునాతన అధిక-ఉష్ణోగ్రత థర్మల్ ఫీల్డ్ అప్లికేషన్ల కోసం రూపొందించబడింది, ముఖ్యంగా అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ స్ఫటికాల పెరుగుదలలో. క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్లలో కీలకమైన అంశంగా, ఈ భాగం థర్మల్ గ్రేడియంట్ను రూపొందించడంలో మరియు స్థిరీకరించడంలో ప్రధాన పాత్ర పోషిస్తుంది, సరైన క్రిస్టల్ నిర్మాణం మరియు స్థిరమైన పదార్థ నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.
అధిక-సాంద్రత కలిగిన కార్బన్ ఫైబర్-రీన్ఫోర్స్డ్ కార్బన్ కాంపోజిట్ నుండి తయారు చేయబడిన, ఇన్నర్ గైడ్ ట్యూబ్ విపరీతమైన పరిస్థితుల్లో అసాధారణమైన నిర్మాణ సమగ్రతను మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ≥1.35 g/cm³ సాంద్రత మరియు ≥110 MPa యొక్క ఫ్లెక్చరల్ బలంతో, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు ఎక్కువ కాలం బహిర్గతం అయినప్పుడు కూడా యాంత్రిక పటిష్టతను నిర్వహిస్తుంది. సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ సిలికాన్ ఉత్పత్తిలో ఈ లక్షణాలు చాలా అవసరం, ఇక్కడ థర్మల్ పరిస్థితుల్లో చిన్న హెచ్చుతగ్గులు కూడా క్రిస్టల్ ఏకరూపత మరియు లోపం రేట్లను గణనీయంగా ప్రభావితం చేస్తాయి.
C/C ఇన్నర్ గైడ్ ట్యూబ్ యొక్క ప్రాథమిక పాత్ర ఖచ్చితమైన ప్రవణత ఉష్ణోగ్రత క్షేత్రాన్ని నిర్మించడం. సిలికాన్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్ సమయంలో, ఇది నేరుగా కరుగు పైన ఉంచబడుతుంది:
డైరెక్ట్ గ్యాస్ ఫ్లో: ఇది జడ ఆర్గాన్ వాయువు యొక్క ప్రవాహానికి మార్గనిర్దేశం చేస్తుంది, సిలికాన్ ఆక్సైడ్ (SiO) ఆవిరిని కరిగే ఉపరితలం నుండి సమర్ధవంతంగా తుడిచిపెట్టేలా చేస్తుంది, క్రిస్టల్లో ఆక్సిజన్ కాలుష్యాన్ని నివారిస్తుంది.
థర్మల్ షీల్డింగ్: ఇది క్రూసిబుల్ గోడల నుండి ప్రత్యక్ష ఉష్ణ వికిరణం నుండి పెరుగుతున్న క్రిస్టల్ను రక్షిస్తుంది, అధిక-వేగం, అధిక-నాణ్యత గల క్రిస్టల్ లాగడానికి అవసరమైన నిటారుగా ఉండే అక్షసంబంధ ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతను ఏర్పాటు చేస్తుంది.
శక్తి సామర్థ్యం: మెల్ట్ జోన్లో వేడిని కేంద్రీకరించడం మరియు ఎగువ ఫర్నేస్ భాగాలను ఇన్సులేట్ చేయడం ద్వారా, ఇది మొత్తం విద్యుత్ వినియోగాన్ని గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది.
మా ఇన్నర్ గైడ్ ట్యూబ్లు అధిక సాంద్రతతో తయారు చేయబడ్డాయికార్బన్/కార్బన్ మిశ్రమాలు, సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్కు అత్యుత్తమ ప్రత్యామ్నాయాన్ని అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ వాక్యూమ్ ఫర్నేస్ల యొక్క తీవ్ర పరిస్థితులకు మెటీరియల్ లక్షణాలు ఆప్టిమైజ్ చేయబడ్డాయి:
సాంద్రత: ≥ 1.35 g/cm³
ఫ్లెక్చరల్ బలం: ≥ 110 MPa
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం (CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K
ఉష్ణ వాహకత (గది ఉష్ణోగ్రత): ≤ 10 W/(m·K)
పరిశ్రమ పెద్ద పొర పరిమాణాల (300 మిమీ మరియు 450 మిమీ) వైపు కదులుతున్నప్పుడు, థర్మల్ ఫీల్డ్పై డిమాండ్లు విపరీతంగా పెరుగుతాయి. మా ఇన్నర్ గైడ్ ట్యూబ్లు ప్రధాన CZ ఫర్నేస్ బ్రాండ్లకు అనుకూలంగా ఉంటాయి మరియు వాటిని జ్యామితి మరియు పూత పరంగా అనుకూలీకరించవచ్చు.