తక్కువ ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా ఎచింగ్ అంటే ఏమిటి?

ప్లాస్మా పదార్థం యొక్క నాల్గవ స్థితి, మరియు ఇది పారిశ్రామిక అనువర్తనాలు మరియు సహజ దృగ్విషయం రెండింటిలోనూ కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ఉదాహరణకు, ప్లాస్మా మెరుపులో ఉంటుంది మరియు సూర్యుని ఉపరితలంపై సమృద్ధిగా ఉత్పత్తి చేయబడుతుంది, ఇక్కడ కోర్ ఉష్ణోగ్రత 13,500 ° Cకి చేరుకుంటుంది. ఈ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా చాలా పారిశ్రామిక ఉత్పత్తి ప్రక్రియలకు తగినది కాదు.

మరోవైపు, తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా అనేది కృత్రిమంగా సృష్టించబడిన ప్లాస్మా రూపం, ఇది రసాయన ప్రతిచర్యలను వేగవంతం చేయడానికి వేడిని కాకుండా శక్తిని వినియోగిస్తుంది. దీని ఉష్ణోగ్రత సాధారణంగా గది ఉష్ణోగ్రత నుండి అనేక వందల డిగ్రీల సెల్సియస్ వరకు ఉంటుంది, ఇది వివిధ అనువర్తనాలకు అత్యంత ప్రభావవంతంగా ఉంటుంది.

కృత్రిమ ప్లాస్మాను రూపొందించడానికి దశలు:

1. ఛాంబర్‌లో ఒత్తిడిని తగ్గించండి: కుహరంలో ఒత్తిడిని తగ్గించడానికి వాక్యూమ్ పంప్‌ను ఉపయోగించడం ద్వారా ప్రారంభించండి. ప్లాస్మాను స్థిరీకరించడానికి మరియు గ్యాస్ అయనీకరణను సులభతరం చేయడానికి అల్ప పీడనాన్ని సాధించడం చాలా అవసరం.

2. ప్రాసెస్ గ్యాస్‌ను ప్రవేశపెట్టండి: నిర్దిష్ట ప్రక్రియ వాయువులను కుహరంలోకి ఇంజెక్ట్ చేయండి. ఈ వాయువులు ప్లాస్మాలోని కణాలకు ప్రాథమిక వనరుగా పనిచేస్తాయి.

3. ప్లాస్మాను ఉత్తేజపరచండి: గ్యాస్‌ను అయనీకరణం చేయడానికి శక్తిని వర్తింపజేయండి, సమర్థవంతంగా ప్లాస్మాను ఏర్పరుస్తుంది.

4. ప్లాస్మాను నిష్క్రియం చేయండి మరియు వాతావరణ పీడనాన్ని పునరుద్ధరించండి: కావలసిన ప్రతిచర్యలు పూర్తయిన తర్వాత, ప్లాస్మాను ఆపివేసి, గదిని వాతావరణ పీడనానికి తిరిగి ఇవ్వండి.

సెమీకండక్టర్ తయారీలో తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా అప్లికేషన్లు:

సెమీకండక్టర్ తయారీలో తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా చాలా అవసరం, డ్రై ఎచింగ్, ఫిజికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (PVD), రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD), అటామిక్ లేయర్ డిపాజిషన్ (ALD), అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్, యాషింగ్ మరియు ఎండ్‌పాయింట్ డిటెక్షన్‌లో కీలకమైన విధులను అందిస్తుంది. దాని బహుముఖ ప్రజ్ఞ మరియు సమర్థత దీనిని పరిశ్రమలో ఒక ప్రాథమిక సాధనంగా మార్చింది.

సెమికోరెక్స్ ఆఫర్లుప్లాస్మా ఎచింగ్ కోసం అధిక-నాణ్యత పరిష్కారాలు. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com