ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC) నిర్మాణం

ఒకఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC)ఎచింగ్, డిపాజిషన్ లేదా పాలిషింగ్ వంటి ప్రక్రియల సమయంలో సెమీకండక్టర్ పొరలను ఉంచడానికి ఉపయోగించే పరికరం. చక్ యొక్క ఉపరితలంపై పొరను ఆకర్షించడానికి మరియు సురక్షితంగా ఉంచడానికి ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫీల్డ్‌ను రూపొందించడం ద్వారా ఇది పనిచేస్తుంది, పొర నిర్వహణ సమయంలో స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితమైన అమరికను అందిస్తుంది. ప్రక్రియ ఖచ్చితత్వం మరియు పొర నిర్వహణ సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడానికి సెమీకండక్టర్ తయారీలో ESCలు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.

సాంప్రదాయిక యొక్క వాస్తవ చిత్రంఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC)చిత్రంలో చిత్రీకరించబడింది. నమూనాల మధ్య ప్రాథమిక వ్యత్యాసం ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ యొక్క ఉపరితలంపై ఇన్సులేటింగ్ పొర పదార్థంలో ఉంటుంది. చిత్రంలో, ముదురు రంగు అల్యూమినియం నైట్రైడ్‌ను సూచిస్తుంది, అయితే తెలుపు రంగు అల్యూమినియం ఆక్సైడ్‌ను సూచిస్తుంది. యొక్క నిర్మాణంఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్అనేక భాగాలను కలిగి ఉంటుంది:

1. **ఇన్సులేటింగ్ లేయర్**: ఈ పొర పొరతో సంబంధం కలిగి ఉంటుంది, సాధారణంగా అల్యూమినియం నైట్రైడ్ లేదా అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ సిరామిక్‌తో తయారు చేయబడిన వాటి అద్భుతమైన యాంత్రిక బలం, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు మంచి ఉష్ణ వాహకత కారణంగా.

2. **ఎజెక్టర్ పిన్ మరియు హీ గ్యాస్ హోల్**: ఎజెక్టర్ పిన్ పొరను బదిలీ చేయడానికి రూపొందించబడింది. పొర ఎచింగ్ చాంబర్‌లోకి ప్రవేశించినప్పుడు, ఎజెక్టర్ పిన్ దానికి మద్దతుగా పెరుగుతుంది, ఆపై పొరను ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ యొక్క ఉపరితలంపై ఉంచడానికి అది తగ్గిస్తుంది. ఎజెక్టర్ పిన్ సాధారణంగా బోలు నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది, ఇది పొరను చల్లబరచడానికి హీలియం వాయువును ప్రవేశపెట్టడానికి అనుమతిస్తుంది.

3. **బ్యాక్ హి ఫ్లో ఛానల్**: ఈ భాగం వేడి వెదజల్లడాన్ని పెంచుతుంది మరియు పొర యొక్క శోషణను సులభతరం చేస్తుంది.

4. **ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఎలక్ట్రోడ్**: ఈ ఎలక్ట్రోడ్ విద్యుత్ క్షేత్రాన్ని ఉత్పత్తి చేస్తుంది, ఇది పొరను ఉంచడానికి అవసరమైన ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శక్తిని సృష్టిస్తుంది. సాధారణంగా, ఎలక్ట్రోడ్ సమతలంగా ఉంటుంది మరియు ఇన్సులేటింగ్ మెటీరియల్‌లో పొందుపరచబడి లేదా జమ చేయబడుతుంది. సాధారణంగా ఉపయోగించే వాహక పదార్థాలలో అల్యూమినియం, రాగి మరియు టంగ్‌స్టన్ ఉన్నాయి.

5. ** సర్క్యులేటింగ్ కూలింగ్ వాటర్ మరియు హీటింగ్ ఎలక్ట్రోడ్**: ఈ మూలకాలు ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ యొక్క మొత్తం ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణకు ప్రాథమికంగా బాధ్యత వహిస్తాయి. హీటింగ్ ఎలక్ట్రోడ్ మరియు సర్క్యులేటింగ్ శీతలీకరణ నీరు పొర కోసం స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రతను నిర్వహించడానికి కలిసి పనిచేస్తాయి. కేవలం ప్రసరించే శీతలీకరణ నీటిపై ఆధారపడటం వలన ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఉత్పన్నమయ్యే వేడిని నిర్వహించలేకపోవడం, ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వంపై రాజీ పడవచ్చు.  

సెమికోరెక్స్ అధిక నాణ్యతను అందిస్తుందిఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC). మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com