హోమ్ > వార్తలు > ఇండస్ట్రీ వార్తలు

పొరల తయారీ

2025-01-10

టెక్నాలజీ అభివృద్ధి చెందుతున్న కొద్దీ, డిమాండ్పొరలుపెరుగుతూనే ఉంది. ప్రస్తుతం, దేశీయ మార్కెట్లో సిలికాన్ పొరల యొక్క ప్రధాన స్రవంతి పరిమాణాలు 100mm, 150mm మరియు 200mm. సిలికాన్ యొక్క వ్యాసాన్ని పెంచడంపొరలుప్రతి చిప్ తయారీ వ్యయాన్ని తగ్గించవచ్చు, ఇది 300mm సిలికాన్ పొరల కోసం పెరుగుతున్న డిమాండ్‌కు దారి తీస్తుంది. అయినప్పటికీ, పెద్ద వ్యాసాలు పొర ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్, ట్రేస్ ఇంప్యూరిటీ కంట్రోల్, అంతర్గత లోపాలు మరియు ఆక్సిజన్ కంటెంట్ వంటి కీలక పారామితులపై కఠినమైన అవసరాలను కూడా విధిస్తాయి. పర్యవసానంగా, పొరల తయారీ అనేది చిప్ ఉత్పత్తిలో పరిశోధన యొక్క ప్రాథమిక కేంద్రంగా మారింది.



పొరల తయారీకి ముందు, అంతర్లీన క్రిస్టల్ నిర్మాణాన్ని అర్థం చేసుకోవడం చాలా అవసరం.


పదార్థాల అంతర్గత పరమాణు సంస్థలో వ్యత్యాసం వాటి మధ్య తేడాను గుర్తించడంలో కీలకమైన అంశం. సిలికాన్ మరియు జెర్మేనియం వంటి స్ఫటికాకార పదార్థాలు స్థిరమైన ఆవర్తన నిర్మాణంలో అణువులను కలిగి ఉంటాయి, అయితే ప్లాస్టిక్‌ల వంటి నాన్-స్ఫటికాకార పదార్థాలు ఈ ఆర్డర్ అమరికను కలిగి ఉండవు. సిలికాన్ దాని ప్రత్యేక నిర్మాణం, అనుకూలమైన రసాయన లక్షణాలు, సహజ సమృద్ధి మరియు ఇతర ప్రయోజనాల కారణంగా పొరలకు ప్రాథమిక పదార్థంగా ఉద్భవించింది.


స్ఫటికాకార పదార్థాలు పరమాణు సంస్థ యొక్క రెండు స్థాయిలను కలిగి ఉంటాయి. మొదటి స్థాయి వ్యక్తిగత పరమాణువుల నిర్మాణం, ఇది స్ఫటికం అంతటా క్రమానుగతంగా పునరావృతమయ్యే యూనిట్ సెల్‌ను ఏర్పరుస్తుంది. రెండవ స్థాయి ఈ యూనిట్ కణాల మొత్తం అమరికను సూచిస్తుంది, దీనిని లాటిస్ స్ట్రక్చర్ అని పిలుస్తారు, ఇక్కడ అణువులు లాటిస్‌లో నిర్దిష్ట స్థానాలను ఆక్రమిస్తాయి. యూనిట్ సెల్‌లోని పరమాణువుల సంఖ్య, వాటి సాపేక్ష స్థానాలు మరియు వాటి మధ్య బంధించే శక్తి పదార్థం యొక్క వివిధ లక్షణాలను నిర్ణయిస్తాయి. సిలికాన్ క్రిస్టల్ నిర్మాణాన్ని డైమండ్ స్ట్రక్చర్‌గా వర్గీకరించారు, వికర్ణ పొడవులో నాలుగింట ఒక వంతు వికర్ణంలో ఆఫ్‌సెట్ చేయబడిన రెండు సెట్ల ముఖ-కేంద్రీకృత క్యూబిక్ లాటిస్‌లను కలిగి ఉంటుంది.

స్ఫటికాలలో ఆవర్తన మరియు సమరూపత యొక్క లక్షణాలు సార్వత్రిక త్రిమితీయ దీర్ఘచతురస్రాకార కోఆర్డినేట్ సిస్టమ్‌ను ఉపయోగించడం కంటే అణువుల స్థానాలను వివరించడానికి సరళమైన పద్ధతిని కలిగి ఉంటాయి. స్ఫటికంలో పరమాణు పంపిణీని దాని లాటిస్ పీరియాడిసిటీ ఆధారంగా బాగా వివరించడానికి, మేము మూడు మార్గదర్శక సూత్రాల ప్రకారం యూనిట్ సెల్‌ను ఎంచుకుంటాము. ఈ యూనిట్ సెల్ క్రిస్టల్ యొక్క ఆవర్తన మరియు సమరూపతను సమర్థవంతంగా ప్రతిబింబిస్తుంది మరియు అతి చిన్న పునరావృత యూనిట్‌గా పనిచేస్తుంది. యూనిట్ సెల్‌లోని పరమాణు కోఆర్డినేట్‌లు నిర్ణయించబడిన తర్వాత, మొత్తం క్రిస్టల్‌లోని కణాల సాపేక్ష స్థానాలను మనం సులభంగా ఊహించవచ్చు. యూనిట్ సెల్ యొక్క మూడు అంచుల వెక్టర్స్ ఆధారంగా కోఆర్డినేట్ సిస్టమ్‌ను ఏర్పాటు చేయడం ద్వారా, క్రిస్టల్ నిర్మాణాన్ని గణనీయంగా వివరించే ప్రక్రియను మనం సులభతరం చేయవచ్చు.


ఒక క్రిస్టల్ ప్లేన్ అనేది ఒక స్ఫటికంలోని అణువులు, అయాన్లు లేదా అణువుల అమరిక ద్వారా ఏర్పడిన ఫ్లాట్ ఉపరితలంగా నిర్వచించబడింది. దీనికి విరుద్ధంగా, క్రిస్టల్ దిశ అనేది ఈ పరమాణు ఏర్పాట్ల యొక్క నిర్దిష్ట ధోరణిని సూచిస్తుంది.


మిల్లర్ సూచికలను ఉపయోగించి క్రిస్టల్ విమానాలు సూచించబడతాయి. సాధారణంగా, కుండలీకరణాలు () క్రిస్టల్ ప్లేన్‌లను సూచిస్తాయి, స్క్వేర్ బ్రాకెట్‌లు [] క్రిస్టల్ దిశలను సూచిస్తాయి, యాంగిల్ బ్రాకెట్‌లు <> క్రిస్టల్ దిశల కుటుంబాలను సూచిస్తాయి మరియు కర్లీ బ్రాకెట్‌లు {} క్రిస్టల్ ప్లేన్‌ల కుటుంబాలను సూచిస్తాయి. సెమీకండక్టర్ తయారీలో, సిలికాన్ పొరల కోసం సాధారణంగా ఉపయోగించే క్రిస్టల్ ప్లేన్‌లు (100), (110), మరియు (111). ప్రతి క్రిస్టల్ ప్లేన్ ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది, వాటిని వివిధ ఉత్పత్తి ప్రక్రియలకు అనుకూలంగా చేస్తుంది.


ఉదాహరణకు, (100) క్రిస్టల్ ప్లేన్‌లు వాటి అనుకూలమైన ఉపరితల లక్షణాల కారణంగా MOS పరికరాల తయారీలో ప్రధానంగా ఉపయోగించబడతాయి, ఇవి థ్రెషోల్డ్ వోల్టేజ్‌పై నియంత్రణను సులభతరం చేస్తాయి. అదనంగా, (100) క్రిస్టల్ ప్లేన్‌లతో కూడిన పొరలు ప్రాసెసింగ్ సమయంలో సులభంగా నిర్వహించబడతాయి మరియు సాపేక్షంగా చదునైన ఉపరితలాలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌లను ఉత్పత్తి చేయడానికి అనువైనవి. దీనికి విరుద్ధంగా, (111) అధిక పరమాణు సాంద్రత మరియు తక్కువ వృద్ధి వ్యయాలను కలిగి ఉండే క్రిస్టల్ ప్లేన్‌లు తరచుగా బైపోలార్ పరికరాలలో ఉపయోగించబడతాయి. సీడ్ క్రిస్టల్ యొక్క సరైన దిశను ఎంచుకోవడం ద్వారా వృద్ధి ప్రక్రియలో క్రిస్టల్ దిశను జాగ్రత్తగా నిర్వహించడం ద్వారా ఈ విమానాలను సాధించవచ్చు.


(100) స్ఫటిక విమానం Y-Z అక్షానికి సమాంతరంగా ఉంటుంది మరియు యూనిట్ విలువ 1 వద్ద X- అక్షాన్ని కలుస్తుంది. (110) క్రిస్టల్ ప్లేన్ X మరియు Y అక్షాలు రెండింటినీ కలుస్తుంది, అయితే (111) క్రిస్టల్ ప్లేన్ కలుస్తుంది మూడు అక్షాలు: X, Y మరియు Z.

నిర్మాణ దృక్పథంలో, (100) స్ఫటిక విమానం చతురస్రాకార ఆకారాన్ని ఏర్పరుస్తుంది, అయితే (111) క్రిస్టల్ ప్లేన్ త్రిభుజాకార ఆకారాన్ని తీసుకుంటుంది. వివిధ క్రిస్టల్ ప్లేన్‌ల మధ్య నిర్మాణంలో ఉన్న వైవిధ్యాల కారణంగా, పొర విచ్ఛిన్నమయ్యే విధానం కూడా భిన్నంగా ఉంటుంది. <100> వెంట ఉన్న పొరలు చతురస్రాకార ఆకారాలలోకి విరిగిపోతాయి లేదా లంబ కోణంలో (90°) విరామాలను సృష్టిస్తాయి, అయితే <111> వెంట ఉన్నవి త్రిభుజాకార శకలాలుగా విరిగిపోతాయి.


స్ఫటికాల అంతర్గత నిర్మాణాలతో అనుబంధించబడిన ప్రత్యేకమైన రసాయన, విద్యుత్ మరియు భౌతిక లక్షణాలను బట్టి, పొర యొక్క నిర్దిష్ట క్రిస్టల్ ధోరణి దాని మొత్తం పనితీరును గణనీయంగా ప్రభావితం చేస్తుంది. పర్యవసానంగా, తయారీ ప్రక్రియలో క్రిస్టల్ ఓరియంటేషన్‌పై కఠినమైన నియంత్రణను నిర్వహించడం చాలా ముఖ్యం.



సెమికోరెక్స్ అధిక నాణ్యతను అందిస్తుందిసెమీకండక్టర్ పొరలు. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.


ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com


X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept