2025-03-07
ఇటీవలి సంవత్సరాలలో,TAC పూతసిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) స్ఫటికాల పెరుగుదల ప్రక్రియలో ప్రతిచర్య నాళాలుగా క్రూసిబుల్స్ ఒక ముఖ్యమైన సాంకేతిక పరిష్కారంగా మారాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల రంగంలో TAC పదార్థాలు వాటి అద్భుతమైన రసాయన తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం కారణంగా కీలకమైన పదార్థాలుగా మారాయి. సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్స్తో పోలిస్తే, TAC పూత క్రూసిబుల్స్ మరింత స్థిరమైన వృద్ధి వాతావరణాన్ని అందిస్తాయి, గ్రాఫైట్ తుప్పు యొక్క ప్రభావాన్ని తగ్గిస్తాయి, క్రూసిబుల్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని విస్తరిస్తాయి మరియు కార్బన్ చుట్టే దృగ్విషయాన్ని సమర్థవంతంగా నివారించాయి, తద్వారా మైక్రోట్యూబ్స్ సాంద్రతను తగ్గిస్తుంది.
సిక్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల
TAC- పూతతో కూడిన క్రూసిబుల్స్ యొక్క ప్రయోజనాలు మరియు ప్రయోగాత్మక విశ్లేషణ
ఈ అధ్యయనంలో, సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్స్ మరియు TAC తో పూసిన గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్స్ ఉపయోగించి సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాల పెరుగుదలను మేము పోల్చాము. TAC- పూతతో కూడిన క్రూసిబుల్స్ స్ఫటికాల నాణ్యతను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తాయని ఫలితాలు చూపించాయి.
Fig.2 OM PVT పద్ధతి ద్వారా పెరిగిన SIC INGOT యొక్క చిత్రం
సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్స్లో పెరిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాలు ఒక పుటాకార ఇంటర్ఫేస్ను ప్రదర్శిస్తాయని మూర్తి 2 వివరిస్తుంది, అయితే TAC- పూతతో కూడిన క్రూసిబుల్స్లో పెరిగిన వారు కుంభాకార ఇంటర్ఫేస్ను ప్రదర్శిస్తారు. అంతేకాకుండా, మూర్తి 3 లో చూసినట్లుగా, సాంప్రదాయ గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్స్ ఉపయోగించి పెరిగిన స్ఫటికాలలో అంచు పాలీక్రిస్టలైన్ దృగ్విషయం ఉచ్ఛరిస్తారు, అయితే TAC- పూతతో కూడిన క్రూసిబుల్స్ వాడకం ఈ సమస్యను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది.
విశ్లేషణ అని సూచిస్తుందిTAC పూతక్రూసిబుల్ అంచున ఉష్ణోగ్రతను పెంచుతుంది, తద్వారా ఆ ప్రాంతంలో స్ఫటికాల పెరుగుదల రేటును తగ్గిస్తుంది. అదనంగా, TAC పూత గ్రాఫైట్ సైడ్ వాల్ మరియు క్రిస్టల్ మధ్య ప్రత్యక్ష సంబంధాన్ని నిరోధిస్తుంది, ఇది న్యూక్లియేషన్ను తగ్గించడానికి సహాయపడుతుంది. ఈ కారకాలు క్రిస్టల్ యొక్క అంచుల వద్ద సంభవించే పాలిక్రిస్టాలినిటీ యొక్క సంభావ్యతను సమిష్టిగా తగ్గిస్తాయి.
Fig.3 OM వివిధ వృద్ధి దశలలో పొరల చిత్రాలు
ఇంకా, సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాలు పెరిగాయిTAC- పూతక్రూసిబుల్స్ దాదాపు కార్బన్ ఎన్క్యాప్సులేషన్ను ప్రదర్శించలేదు, ఇది మైక్రోపైప్ లోపాలకు సాధారణ కారణం. ఫలితంగా, ఈ స్ఫటికాలు మైక్రోపైప్ లోపం సాంద్రతలో గణనీయమైన తగ్గింపును ప్రదర్శిస్తాయి. మూర్తి 4 లో సమర్పించిన తుప్పు పరీక్ష ఫలితాలు TAC- పూతతో కూడిన క్రూసిబుల్స్లో పెరిగిన స్ఫటికాలకు మైక్రోపైప్ లోపాలు లేవని నిర్ధారించాయి.
Fig.4 OM చిత్రం KOH ఎచింగ్ తర్వాత
క్రిస్టల్ నాణ్యత మరియు అశుద్ధ నియంత్రణ మెరుగుదల
స్ఫటికాల యొక్క GDMS మరియు హాల్ పరీక్షల ద్వారా, TAC పూత క్రూసిబుల్స్ ఉపయోగించినప్పుడు క్రిస్టల్లోని TA కంటెంట్ కొద్దిగా పెరిగిందని అధ్యయనం కనుగొంది, అయితే TAC పూత క్రిస్టల్లోకి నత్రజని (n) డోపింగ్ యొక్క ప్రవేశాన్ని గణనీయంగా పరిమితం చేసింది. సారాంశంలో, TAC పూత క్రూసిబుల్స్ అధిక నాణ్యతతో సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాలను పెంచుతాయి, ముఖ్యంగా లోపం సాంద్రతను (ముఖ్యంగా మైక్రోటూబ్స్ మరియు కార్బన్ ఎన్కప్సులేషన్) తగ్గించడంలో మరియు నత్రజని డోపింగ్ గా ration తను నియంత్రించడంలో.
సెమికోరెక్స్ అధిక-నాణ్యతను అందిస్తుందిTAC- కోటెడ్ గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్SIC క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు అవసరమైతే, దయచేసి మాతో సన్నిహితంగా ఉండటానికి వెనుకాడరు.
ఫోన్ # +86-13567891907 ను సంప్రదించండి
ఇమెయిల్: sales@semichorex.com