సిరామిక్ హీటర్లు

సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క ఫ్రంట్ ఎండ్ ప్రాసెస్ (FEOL) లో, దిపొరవివిధ ప్రక్రియ చికిత్సలకు లోబడి ఉండాలి, ముఖ్యంగా పొర ఒక నిర్దిష్ట ఉష్ణోగ్రతకు వేడి చేయాల్సిన అవసరం ఉంది, మరియు కఠినమైన అవసరాలు ఉన్నాయి, ఎందుకంటే ఉష్ణోగ్రత యొక్క ఏకరూపత ఉత్పత్తి దిగుబడిపై చాలా ముఖ్యమైన ప్రభావాన్ని చూపుతుంది; అదే సమయంలో, సెమీకండక్టర్ పరికరాలు వాక్యూమ్, ప్లాస్మా మరియు రసాయన వాయువుల సమక్షంలో పని చేయాల్సిన అవసరం ఉంది, దీనికి సిరామిక్ హీటర్ల వాడకం అవసరం.సిరామిక్ హీటర్లుసెమీకండక్టర్ సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ పరికరాల యొక్క ముఖ్యమైన భాగాలు. ఇవి ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌లో ఉపయోగించబడతాయి మరియు నేరుగా పొరను సంప్రదించండి, స్థిరమైన మరియు ఏకరీతి ప్రక్రియ ఉష్ణోగ్రత పొందటానికి పొరను తీసుకువెళ్ళడానికి మరియు వీలు కల్పిస్తాయి మరియు సన్నని చలనచిత్రాలను రూపొందించడానికి పొర యొక్క ఉపరితలంపై అధిక ఖచ్చితత్వంతో ప్రతిస్పందించడానికి.

సిరామిక్ హీటర్లు ఉపయోగించే సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ పరికరాలలో అధిక ఉష్ణోగ్రతలు ఉంటాయి కాబట్టి, ప్రధానంగా అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (ALN) పై ఆధారపడిన సిరామిక్ పదార్థాలు సాధారణంగా ఉపయోగించబడతాయి. ఎందుకంటే అల్యూమినియం నైట్రైడ్ ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేషన్ మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత కలిగి ఉంది; అదనంగా, దాని ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం సిలికాన్‌కు దగ్గరగా ఉంటుంది మరియు ఇది అద్భుతమైన ప్లాస్మా నిరోధకతను కలిగి ఉంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరాల భాగం వలె ఉపయోగించడానికి చాలా అనుకూలంగా ఉంటుంది.

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ (ESC లు) ప్రధానంగా ఎచింగ్ పరికరాలలో ఉపయోగించబడతాయి, ప్రధానంగా అల్యూమినియం ఆక్సైడ్ (AL2O3). ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ కూడా ఒక హీటర్‌ను కలిగి ఉన్నందున, పొడి ఎచింగ్‌ను ఉదాహరణగా తీసుకుంటే, ఒక నిర్దిష్ట ఎచింగ్ లక్షణాన్ని నిర్వహించడానికి -70 ~ ~ 100 of పరిధిలో ఒక నిర్దిష్ట ఉష్ణోగ్రత వద్ద పొరను నియంత్రించడం అవసరం. అందువల్ల, పొర ఉష్ణోగ్రతను ఖచ్చితంగా నియంత్రించడానికి పొర ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ చేత వేడి చేయబడాలి లేదా వెదజల్లుతుంది. అదనంగా, పొర ఉపరితలం యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి, ప్రక్రియ దిగుబడిని మెరుగుపరచడానికి ప్రతి ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ జోన్ యొక్క ఉష్ణోగ్రతను విడిగా నియంత్రించడానికి ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ తరచుగా ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ జోన్‌ను పెంచాలి. వాస్తవానికి, సాంకేతిక పరిజ్ఞానం అభివృద్ధితో, సాంప్రదాయ సిరామిక్ హీటర్లు మరియు ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ మధ్య వ్యత్యాసం అస్పష్టంగా మారడం ప్రారంభమైంది. కొన్ని సిరామిక్ హీటర్లు అధిక-ఉష్ణోగ్రత తాపన మరియు ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శోషణ యొక్క ద్వంద్వ విధులను కలిగి ఉంటాయి.

సిరామిక్ హీటర్లో సిరామిక్ బేస్ ఉంది, అది పొరను కలిగి ఉంటుంది మరియు వెనుక భాగంలో మద్దతు ఇచ్చే స్థూపాకార సహాయ శరీరాన్ని కలిగి ఉంటుంది. సిరామిక్ బేస్ యొక్క ఉపరితలం లోపల లేదా ఉపరితలంపై, తాపన కోసం నిరోధక మూలకం (తాపన పొర) తో పాటు, రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ ఎలక్ట్రోడ్ (రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ లేయర్) కూడా ఉంది. వేగవంతమైన తాపన మరియు శీతలీకరణను సాధించడానికి, సిరామిక్ బేస్ యొక్క మందం సన్నగా ఉండాలి, కానీ చాలా సన్నగా కూడా దృ g త్వాన్ని తగ్గిస్తుంది. హీటర్ యొక్క మద్దతు శరీరం సాధారణంగా బేస్ మాదిరిగానే ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం ఉన్న పదార్థంతో తయారు చేయబడుతుంది, కాబట్టి మద్దతు శరీరం తరచుగా అల్యూమినియం నైట్రైడ్‌తో కూడా తయారు చేయబడుతుంది. హీటర్ దిగువన ఉన్న షాఫ్ట్ (షాఫ్ట్) ఉమ్మడి యొక్క ప్రత్యేకమైన నిర్మాణాన్ని అవలంబిస్తుంది, ఇది ప్లాస్మా మరియు తినివేయు రసాయన వాయువుల ప్రభావాల నుండి టెర్మినల్స్ మరియు వైర్లను రక్షించగలదు. హీటర్ యొక్క ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రతను నిర్ధారించడానికి సహాయ శరీరంలో హీట్ కరెంటక్షన్ గ్యాస్ ఇన్లెట్ మరియు అవుట్లెట్ పైపు అందించబడుతుంది. బేస్ మరియు సపోర్ట్ బాడీ ఒక బంధన పొరతో రసాయనికంగా బంధించబడతాయి.

సెమికోరెక్స్ అధిక-నాణ్యతను అందిస్తుందిసిరామిక్ హీటర్లు. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు అవసరమైతే, దయచేసి మాతో సన్నిహితంగా ఉండటానికి వెనుకాడరు.

ఫోన్ # +86-13567891907 ను సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semichorex.com