సెమీకండక్టర్ షవర్ హెడ్స్

దిగ్యాస్ పంపిణీ ప్లేట్.

గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్లేట్ యొక్క ఉపరితలం వందల లేదా వేల చిన్న, ఖచ్చితంగా అమర్చబడిన రంధ్రాలను కలిగి ఉంది, ఇది చక్కగా నేసిన నాడీ నెట్‌వర్క్‌ను పోలి ఉంటుంది. ఈ రూపకల్పన గ్యాస్ ప్రవాహం మరియు ఇంజెక్షన్ కోణాల యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణను అనుమతిస్తుంది, పొర ప్రాసెసింగ్ ప్రాంతంలోని ప్రతి భాగం ప్రాసెస్ వాయువులో సమానంగా "స్నానం" చేయబడిందని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచడమే కాక, ఉత్పత్తి నాణ్యతను కూడా మెరుగుపరుస్తుంది.

గ్యాస్ పంపిణీ ప్లేట్ శుభ్రపరచడం, చెక్కడం మరియు నిక్షేపణ వంటి కీలక ప్రక్రియలకు సమగ్రమైనది. ఇది సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల యొక్క ఖచ్చితత్వాన్ని మరియు తుది ఉత్పత్తుల నాణ్యతను ప్రత్యక్షంగా ప్రభావితం చేస్తుంది, ఇది వివిధ గ్యాస్ పంపిణీ అనువర్తనాల్లో కీలకమైన అంశంగా మారుతుంది.

పొర ప్రతిచర్య ప్రక్రియలో, యొక్క ఉపరితలంషవర్ హెడ్దట్టంగా మైక్రోపోర్లతో కప్పబడి ఉంటుంది (ఎపర్చరు 0.2-6 మిమీ). ఖచ్చితంగా రూపొందించిన ఛానల్ నిర్మాణం మరియు గ్యాస్ మార్గం ద్వారా, ప్రత్యేక ప్రాసెస్ గ్యాస్ ఏకరీతి గ్యాస్ ప్లేట్‌లో వేలాది చిన్న రంధ్రాల గుండా వెళ్ళాలి మరియు తరువాత పొర ఉపరితలంపై సమానంగా జమ చేయబడాలి. పొర యొక్క వివిధ ప్రాంతాలలో చలనచిత్ర పొర అధిక ఏకరూపత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించాల్సిన అవసరం ఉంది. అందువల్ల, పరిశుభ్రత మరియు తుప్పు నిరోధకత కోసం చాలా ఎక్కువ అవసరాలతో పాటు, గ్యాస్ పంపిణీ ప్లేట్ గ్యాస్ పంపిణీ పలకపై ఉన్న చిన్న రంధ్రాల ఎపర్చరు మరియు చిన్న రంధ్రాల లోపలి గోడపై బర్రుల యొక్క స్థిరత్వంపై కఠినమైన అవసరాలను కలిగి ఉంది. ఎపర్చరు పరిమాణం సహనం మరియు స్థిరత్వ ప్రామాణిక విచలనం చాలా పెద్దవిగా ఉంటే లేదా ఏదైనా లోపలి గోడపై బర్ర్స్ ఉంటే, జమ చేసిన ఫిల్మ్ పొర యొక్క మందం భిన్నంగా ఉంటుంది, ఇది పరికరాల ప్రక్రియ దిగుబడిని నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది.

గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్లేట్ యొక్క పదార్థం కొన్నిసార్లు పెళుసైన పదార్థం (సింగిల్ క్రిస్టల్ సిలికాన్, క్వార్ట్జ్ గ్లాస్, సిరామిక్స్ వంటివి), ఇది బాహ్య శక్తి యొక్క చర్య కింద విచ్ఛిన్నం చేయడం సులభం. ఇది మైక్రోపోర్ యొక్క వ్యాసంలో 50 రెట్లు లోనే అల్ట్రా-లోతైన రంధ్రం, మరియు కట్టింగ్ పరిస్థితిని నేరుగా గమనించలేము. అదనంగా, కట్టింగ్ వేడి ప్రసారం చేయడం అంత సులభం కాదు మరియు చిప్ తొలగింపు కష్టం, మరియు చిప్ అడ్డంకి కారణంగా డ్రిల్ బిట్ సులభంగా విరిగిపోతుంది. అందువల్ల, దాని ప్రాసెసింగ్ మరియు తయారీ చాలా కష్టం.

అదనంగా, ప్లాస్మా-సహాయక ప్రక్రియలలో (PECVD మరియు పొడి చెక్కడం వంటివి), షవర్ హెడ్, ఎలక్ట్రోడ్‌లో భాగంగా, ప్లాస్మా యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని ప్రోత్సహించడానికి RF విద్యుత్ సరఫరా ద్వారా ఏకరీతి విద్యుత్ క్షేత్రాన్ని ఉత్పత్తి చేయాలి, తద్వారా చెక్కడం లేదా నిక్షేపణ యొక్క ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఉపయోగించిన వాయువులు అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం లేదా తినివేయు కావచ్చు కాబట్టి, షవర్‌హెడ్ సాధారణంగా తుప్పు-నిరోధక పదార్థాలతో తయారు చేయబడుతుంది. వాస్తవ ఉత్పత్తిలో, వేర్వేరు వినియోగ దృశ్యాలు మరియు వాస్తవమైన అవసరమైన ఖచ్చితత్వం కారణంగా, గ్యాస్ పంపిణీ పలకను దాని భౌతిక కూర్పు ప్రకారం క్రింది రెండు వర్గాలుగా విభజించవచ్చు:

(1) మెటల్ గ్యాస్ పంపిణీ ప్లేట్

మెటల్ గ్యాస్ పంపిణీ పలకల పదార్థాలలో అల్యూమినియం మిశ్రమం, స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ మరియు నికెల్ మెటల్ ఉన్నాయి, వీటిలో విస్తృతంగా ఉపయోగించే మెటల్ గ్యాస్ పంపిణీ ప్లేట్ పదార్థం అల్యూమినియం మిశ్రమం, ఎందుకంటే దీనికి మంచి ఉష్ణ వాహకత మరియు బలమైన తుప్పు నిరోధకత ఉంది. ఇది విస్తృతంగా అందుబాటులో ఉంది మరియు ప్రాసెస్ చేయడం సులభం.

(2) లోహేతర వాయువు పంపిణీ ప్లేట్

లోహ రహిత గ్యాస్ పంపిణీ పలకల పదార్థాలలో సింగిల్ క్రిస్టల్ సిలికాన్, క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ మరియు సిరామిక్ పదార్థాలు ఉన్నాయి. వాటిలో, సాధారణంగా ఉపయోగించే సిరామిక్ పదార్థాలు CVD-SIC, అల్యూమినా సిరామిక్స్, సిలికాన్ నైట్రైడ్ సిరామిక్స్, మొదలైనవి.

సెమికోరెక్స్ అధిక-నాణ్యతను అందిస్తుందిCVD SIC షవర్ హెడ్స్సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు అవసరమైతే, దయచేసి మాతో సన్నిహితంగా ఉండటానికి వెనుకాడరు.

ఫోన్ # +86-13567891907 ను సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semichorex.com