చెక్కడంలో ఉంగరాలు ఏమిటి

చిప్ తయారీలో, ఫోటోలిథోగ్రఫీ మరియు ఎచింగ్ అనేవి రెండు దగ్గరి అనుసంధానిత దశలు. ఫోటోలిథోగ్రఫీ ఎచింగ్‌కు ముందు ఉంటుంది, ఇక్కడ ఫోటోరేసిస్ట్‌ని ఉపయోగించి పొరపై సర్క్యూట్ నమూనా అభివృద్ధి చేయబడింది. ఎచింగ్ ఫోటోరేసిస్ట్‌తో కప్పబడని ఫిల్మ్ లేయర్‌లను తీసివేస్తుంది, మాస్క్ నుండి పొరకు నమూనా బదిలీని పూర్తి చేస్తుంది మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ వంటి తదుపరి దశలకు సిద్ధం అవుతుంది.

చెక్కడం అనేది రసాయన లేదా భౌతిక పద్ధతులను ఉపయోగించి అనవసరమైన పదార్థాన్ని ఎంపిక చేసిన తొలగింపును కలిగి ఉంటుంది. పూత, నిరోధక పూత, ఫోటోలిథోగ్రఫీ మరియు అభివృద్ధిని అనుసరించి, ఎచింగ్ పొర ఉపరితలంపై బహిర్గతమయ్యే అనవసరమైన సన్నని చలనచిత్ర పదార్థాన్ని తొలగిస్తుంది, కావలసిన ప్రాంతాలను మాత్రమే వదిలివేస్తుంది. అప్పుడు అదనపు ఫోటోరేసిస్ట్ తొలగించబడుతుంది. ఈ దశలను పదేపదే పునరావృతం చేయడం సంక్లిష్టమైన ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌లను సృష్టిస్తుంది. ఎచింగ్ అనేది మెటీరియల్ తొలగింపును కలిగి ఉంటుంది కాబట్టి, దీనిని "వ్యవకలన ప్రక్రియ" అంటారు.

సాధారణంగా ఎలక్ట్రోడ్ వెలుపల ఉన్న, ప్లాస్మా ఓవర్‌ఫ్లోను నిరోధించడం దీని ప్రాథమిక విధి. నిర్మాణంపై ఆధారపడి, ఇది ఎలక్ట్రోడ్లో భాగంగా కూడా పని చేయవచ్చు. సాధారణ పదార్థాలలో CVD SiC లేదా సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఉన్నాయి.

చెక్కే ప్రక్రియలో, మేము ప్రధానంగా రెండు రకాల రింగులను ఉపయోగిస్తాము: ఫోకస్ రింగ్‌లు మరియు షీల్డ్ రింగులు.

ఫోకస్ రింగ్

ప్లాస్మా యొక్క అంచు ప్రభావం కారణంగా, సాంద్రత మధ్యలో ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు అంచులలో తక్కువగా ఉంటుంది. ఫోకస్ రింగ్, దాని వార్షిక ఆకారం మరియు CVD SiC యొక్క మెటీరియల్ లక్షణాల ద్వారా, ఒక నిర్దిష్ట విద్యుత్ క్షేత్రాన్ని ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఈ క్షేత్రం ప్లాస్మాలోని చార్జ్డ్ కణాలను (అయాన్లు మరియు ఎలక్ట్రాన్లు) పొర ఉపరితలం వరకు, ముఖ్యంగా అంచు వద్ద మార్గనిర్దేశం చేస్తుంది మరియు పరిమితం చేస్తుంది. ఇది అంచు వద్ద ప్లాస్మా సాంద్రతను ప్రభావవంతంగా పెంచుతుంది, మధ్యలో ఉన్న దానికి దగ్గరగా తీసుకువస్తుంది. ఇది పొర అంతటా చెక్కడం ఏకరూపతను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, అంచు నష్టాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని పెంచుతుంది.

షీల్డ్ రింగ్

సాధారణంగా ఎలక్ట్రోడ్ వెలుపల ఉన్న, ప్లాస్మా ఓవర్‌ఫ్లోను నిరోధించడం దీని ప్రాథమిక విధి. నిర్మాణంపై ఆధారపడి, ఇది ఎలక్ట్రోడ్లో భాగంగా కూడా పని చేయవచ్చు. సాధారణ పదార్థాలలో CVD SiC లేదా సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఉన్నాయి.

సెమికోరెక్స్ అధిక నాణ్యతను అందిస్తుందిCVD SiCమరియుసిలికాన్కస్టమర్ల అవసరాల ఆధారంగా రింగ్‌లను చెక్కడం. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com