డ్రై ఎచింగ్ కోసం సిలికాన్ భాగాలు

డ్రై ఎచింగ్ పరికరాలు చెక్కడం కోసం తడి రసాయనాలను ఉపయోగించవు. ఇది ప్రాథమికంగా చిన్న త్రూ-హోల్స్‌తో ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ద్వారా గదిలోకి ఒక వాయు ఎచాంట్‌ను ప్రవేశపెడుతుంది. ఎగువ మరియు దిగువ ఎలక్ట్రోడ్‌ల ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన విద్యుత్ క్షేత్రం వాయు ఎచాంట్‌ను అయనీకరణం చేస్తుంది, ఇది పొరపై చెక్కబడిన పదార్థంతో చర్య జరిపి, అస్థిర పదార్ధాలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. ఈ అస్థిర పదార్ధాలు రియాక్షన్ చాంబర్ నుండి సంగ్రహించబడతాయి, చెక్కడం ప్రక్రియను పూర్తి చేస్తాయి.

డ్రై ఎచింగ్ రియాక్షన్ ప్రాసెస్ చాంబర్‌లో జరుగుతుంది, ఇందులో ప్రధానంగా ఉంటుందిసిలికాన్ భాగాలు, సిలికాన్ ఎగ్జాస్ట్ రింగ్, సిలికాన్ ఔటర్ రింగ్, సిలికాన్ షవర్ హెడ్, సిలికాన్ ఫోకస్ రింగ్ మరియు సిలికాన్ షీల్డ్ రింగ్‌తో సహా.

పొడి ఎచింగ్ చాంబర్‌లో, సిలికాన్ పొర సాధారణంగా సిలికాన్ ఫోకస్ రింగ్‌లో ఉంచబడుతుంది. ఈ కలయిక సానుకూల ఎలక్ట్రోడ్ వలె పనిచేస్తుంది, ఇది ఎచింగ్ చాంబర్ క్రింద ఉంచబడుతుంది. చాంబర్ పైన ఉన్న దట్టంగా ప్యాక్ చేయబడిన చిన్న త్రూ-హోల్స్‌తో కూడిన సిలికాన్ డిస్క్ ప్రతికూల ఎలక్ట్రోడ్‌గా పనిచేస్తుంది. ఒక సిలికాన్ ఔటర్ రింగ్ ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ మరియు ఇతర సంబంధిత భాగాలకు మద్దతు ఇస్తుంది. ఎగువ మరియు దిగువ ఎలక్ట్రోడ్లు ప్లాస్మాతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉంటాయి. ప్లాస్మా సిలికాన్ పొరను చెక్కినప్పుడు, అది ఎగువ మరియు దిగువ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్‌లను కూడా ధరిస్తుంది. ఎచింగ్ ప్రక్రియలో దిగువ ఎలక్ట్రోడ్ (ఫోకసింగ్ రింగ్) క్రమంగా సన్నబడుతుంది, మందం నిర్దిష్ట స్థాయికి చేరుకున్నప్పుడు భర్తీ చేయడం అవసరం. ఇంకా, ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్‌లో (షవర్‌హెడ్) ఏకరీతిలో పంపిణీ చేయబడిన రంధ్రాలు ప్లాస్మా ద్వారా క్షీణించబడతాయి, దీని వలన రంధ్రం పరిమాణంలో వైవిధ్యాలు ఏర్పడతాయి. ఈ వైవిధ్యాలు ఒక నిర్దిష్ట స్థాయికి చేరుకున్న తర్వాత, వాటిని భర్తీ చేయాలి. సాధారణంగా, ప్రతి 2-4 వారాల ఉపయోగం కోసం భర్తీ చక్రం అవసరం.

ఈ విభాగం ప్రత్యేకంగా సిలికాన్ ఫోకస్ రింగ్ (లోయర్ ఎలక్ట్రోడ్) పాత్రను వివరిస్తుంది. ఇది ప్లాస్మా కవచం యొక్క మందాన్ని నియంత్రిస్తుంది, తద్వారా అయాన్ బాంబర్‌మెంట్ యొక్క ఏకరూపతను ఆప్టిమైజ్ చేస్తుంది. ప్లాస్మా షీత్, ప్లాస్మా మరియు నాళాల గోడ మధ్య తటస్థ రహిత ప్రాంతం, ప్లాస్మాలో కీలకమైన మరియు ప్రత్యేకమైన ప్రాంతం. ప్లాస్మాలో సమాన సంఖ్యలో సానుకూల అయాన్లు మరియు ఎలక్ట్రాన్లు ఉంటాయి. ఎలక్ట్రాన్లు అయాన్ల కంటే వేగంగా ప్రయాణిస్తున్నందున, అవి మొదట నౌక గోడకు చేరుకుంటాయి. నాళాల గోడకు సంబంధించి ప్లాస్మా సానుకూలంగా ఛార్జ్ చేయబడుతుంది. కోశం విద్యుత్ క్షేత్రం ప్లాస్మాలోని అయాన్లను వేగవంతం చేస్తుంది (పాజిటివ్-నెగటివ్ అట్రాక్షన్), అయాన్లకు అధిక శక్తిని అందజేస్తుంది. ఈ అధిక-శక్తి అయాన్ ఫ్లక్స్ పూత, చెక్కడం మరియు స్పుట్టరింగ్‌ను అనుమతిస్తుంది.

పొర యొక్క అవరోధం ప్లాస్మా కవచం యొక్క మందాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది (తక్కువ ఇంపెడెన్స్, కోశం మందంగా ఉంటుంది). పొర మధ్యలో ఉన్న ఇంపెడెన్స్ అంచు వద్ద ఉన్న దానికి భిన్నంగా ఉంటుంది, ఫలితంగా అంచు వద్ద అసమాన ప్లాస్మా షీత్ మందం ఏర్పడుతుంది. ఈ అసమాన ప్లాస్మా కవచం అయాన్లను వేగవంతం చేస్తుంది కానీ అయాన్ బాంబర్డ్‌మెంట్ పాయింట్‌ను విక్షేపం చేస్తుంది, ఎచింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని తగ్గిస్తుంది. అందువల్ల, ప్లాస్మా షీత్ మందాన్ని నియంత్రించడానికి ఫోకస్ చేసే రింగ్ అవసరం, తద్వారా అయాన్ బాంబర్‌మెంట్ దిశను ఆప్టిమైజ్ చేస్తుంది మరియు ఎచింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

పొర చుట్టూ ఉన్న ఫోకస్ రింగ్‌ను ఉదాహరణగా తీసుకుంటే, క్వార్ట్జ్, దాని అధిక స్వచ్ఛతతో, తక్కువ లోహ కాలుష్యాన్ని సాధించడానికి సరైనది, ఇది ఫ్లోరైడ్ గ్యాస్ ప్లాస్మాలో వేగంగా క్షీణిస్తుంది, ఫలితంగా తక్కువ జీవితకాలం ఉంటుంది. ఇది ఖర్చులను పెంచడమే కాకుండా, పరికరాల సమయ వ్యవధిని తగ్గించడం వలన భర్తీ చేయడం వలన పనికిరాని సమయం కూడా అవసరం. సిరామిక్, తగినంత సుదీర్ఘ జీవితకాలం కలిగి ఉండగా, అధిక-శక్తి అయాన్ బాంబర్‌మెంట్‌కు గురవుతుంది. స్పుట్టర్డ్ అల్యూమినియం ప్లాస్మాలోని ఫ్లోరిన్‌తో చర్య జరిపి అస్థిరత లేని ఫ్లోరైడ్‌లను ఏర్పరుస్తుంది (అల్యూమినియం ఫ్లోరైడ్ వంటివి). వీటిని తొలగించి, పరికరం ఉపరితలంపై లేదా పొర అంచు వద్ద ఫోటోరేసిస్ట్‌పై జమ చేయలేకపోతే, అవి ఉత్పత్తి చేయబడిన ఫ్లోరైడ్‌లు మరియు ఫోటోరేసిస్ట్‌ల తదుపరి తొలగింపుకు ఆటంకం కలిగిస్తాయి, ఉత్పత్తి దిగుబడిని ప్రభావితం చేస్తాయి. మరింత సరిఅయిన పదార్థాలు సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్. అయినప్పటికీ, సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ చవకైనది కానీ తక్కువ జీవితకాలం ఉంటుంది, అయితే సిలికాన్ కార్బైడ్ ఖరీదైనది కానీ కొంచెం ఎక్కువ జీవితకాలం ఉంటుంది. ఈ రెండు ఎంపికల మధ్య ట్రేడ్-ఆఫ్ నిర్దిష్ట పరిస్థితులపై ఆధారపడి ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, పరికరాల వినియోగం ఎక్కువగా ఉంటే మరియు సమయ సమయము క్లిష్టమైనది అయితే, సిలికాన్ కార్బైడ్‌ని ఉపయోగించాలి. కాంపోనెంట్ యొక్క వేర్ మరియు కన్నీటి ఖర్చులు చాలా ఎక్కువగా లేకుంటే, సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఉపయోగించాలి.

సెమికోరెక్స్ అధిక నాణ్యతను అందిస్తుందిసిలికాన్ భాగాలు. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com