వేఫర్ సా ప్రక్రియలో CO2 ఎందుకు పరిచయం చేయబడింది

డైసింగ్ వాటర్‌కు CO₂ని పరిచయం చేయడం అనేది వేఫర్ సా ప్రక్రియలో స్టాటిక్ విద్యుత్ చేరడం మరియు కాలుష్యాన్ని తగ్గించడం, తద్వారా చిప్‌ల డైసింగ్ దిగుబడి మరియు విశ్వసనీయతను మెరుగుపరచడం వంటి ముఖ్యమైన సాంకేతిక కొలత.

స్థిర విద్యుత్తును తొలగించండి

దిపొరడైసింగ్ ప్రక్రియలో కత్తిరించడానికి హై-స్పీడ్ రొటేటింగ్ డైమండ్ బ్లేడ్‌లను ఉపయోగించడం అవసరం, అయితే DI నీరు చల్లబరచడానికి మరియు శుభ్రపరచడానికి స్ప్రే చేయబడుతుంది. ఈ ప్రక్రియలో, ఘర్షణ పెద్ద మొత్తంలో స్టాటిక్ ఛార్జ్‌ను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. అదే సమయంలో, అధిక పీడన స్ప్రేయింగ్ మరియు తాకిడి సమయంలో DI నీరు బలహీనమైన అయనీకరణకు లోనవుతుంది, తక్కువ సంఖ్యలో అయాన్‌లను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. సిలికాన్ మెటీరియల్‌కు సులువుగా ఎలెక్ట్రిక్ చార్జ్ పేరుకుపోయే లక్షణం ఉంది. ఈ స్థిర విద్యుత్తు నియంత్రించబడకపోతే, దాని వోల్టేజ్ 500V కంటే ఎక్కువ పెరగవచ్చు, ఇది ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ డిశ్చార్జ్‌కి దారి తీస్తుంది. ఇది సర్క్యూట్ మెటల్ వైరింగ్‌ను దెబ్బతీయడం లేదా ఇంటర్‌లేయర్ విద్యుద్వాహక పగుళ్లను కలిగించడమే కాకుండా, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ అధిశోషణం కారణంగా సిలికాన్ దుమ్ము పొరను కలుషితం చేస్తుంది లేదా బంధన ప్యాడ్‌ల వద్ద బాండ్ లిఫ్ట్ సమస్యలను కలిగిస్తుంది.

నీటిలో CO₂ ప్రవేశపెట్టినప్పుడు, అది కరిగి H₂CO₃ని ఏర్పరుస్తుంది. H₂CO₃ H⁺ మరియు HCO₃⁻లను ఉత్పత్తి చేయడానికి అయనీకరణకు లోనవుతుంది, ఇది నీటి వాహకతను గణనీయంగా పెంచుతుంది మరియు దాని నిరోధకతను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది. ఈ ఎలివేటెడ్ కండక్టివిటీ నీటి ప్రవాహం ద్వారా భూమికి స్టాటిక్ చార్జీల వేగవంతమైన ప్రసరణను అనుమతిస్తుంది, ఛార్జ్ చేరడం నిరోధిస్తుంది. ఇంకా, బలహీనమైన ఎలెక్ట్రోనెగటివ్ వాయువు వలె, CO₂ అధిక-శక్తి పరిసరాలలో చార్జ్డ్ కణాలను (CO₂⁺ మరియు O⁻ వంటివి) ఉత్పత్తి చేయడానికి అయనీకరణం చేయవచ్చు. ఈ కణాలు పొర ఉపరితలాలు లేదా ధూళి ద్వారా మోసుకెళ్ళే ఛార్జ్‌ను తటస్థీకరిస్తాయి, తద్వారా ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ అధిశోషణం మరియు ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఉత్సర్గ ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.

కాలుష్యాన్ని తగ్గించండి మరియు ఉపరితలాలను రక్షించండి

ఈ సమయంలో సిలికాన్ దుమ్ము ఉత్పన్నమవుతుందిపొరరంపపు ప్రక్రియ స్థిర విద్యుత్‌ను కూడబెట్టడానికి బాధ్యత వహిస్తుంది, ఇది పొర లేదా పరికరాల ఉపరితలంపై కట్టుబడి కలుషితానికి దారితీస్తుంది. అదే సమయంలో, శీతలీకరణ నీరు ఆల్కలీన్‌గా ఉంటే, అది లోహ కణాలను (స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్‌లోని Fe, Ni మరియు Cr అయాన్‌లు వంటివి) హైడ్రాక్సైడ్ అవక్షేపాలను ఏర్పరుస్తుంది. హైడ్రాక్సైడ్ అవక్షేపాలు పొర ఉపరితలంపై లేదా డైసింగ్ ఛానెల్‌లలో జమ చేయబడతాయి, ఇది చిప్ నాణ్యతను ప్రభావితం చేస్తుంది.

CO₂ ప్రవేశపెట్టినప్పుడు, ఇది విద్యుత్ ఛార్జీలను తటస్థీకరిస్తుంది, దుమ్ము మరియు ఉపరితలాల మధ్య ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శక్తిని బలహీనపరుస్తుంది. ఇంతలో, CO₂ వాయుప్రవాహం కట్టింగ్ ప్రాంతంలో ధూళిని వెదజల్లడం ద్వారా ద్వితీయ సంశ్లేషణను నిరోధిస్తుంది. CO₂ యొక్క జోడింపు స్వల్పంగా ఆమ్ల వాతావరణాన్ని సృష్టిస్తుంది, ఇది లోహ అయాన్ అవక్షేపణను నిరోధిస్తుంది, వాటిని కరిగించకుండా ఉంచుతుంది మరియు నీటి ప్రవాహాన్ని వాటిని దూరంగా తీసుకువెళ్లేలా చేస్తుంది. అంతేకాకుండా, CO₂ ఒక జడ వాయువు,  ఇది సిలికాన్ ధూళి మరియు ఆక్సిజన్ మధ్య సంబంధాన్ని తగ్గిస్తుంది, దుమ్ము ఆక్సీకరణ మరియు సమీకరణను నివారిస్తుంది మరియు కట్టింగ్ పరిసరాల పరిశుభ్రతను మరింత మెరుగుపరుస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ అధిక నాణ్యతను అందిస్తుందిపొరలుమా విలువైన కస్టమర్ల కోసం. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com