సాధారణ సెమీకండక్టర్ క్వార్ట్జ్ భాగాలు మరియు అప్లికేషన్లు

క్వార్ట్జ్ త్రికోణ క్రిస్టల్ వ్యవస్థకు చెందినది, ఇది సిలికాన్ డయాక్సైడ్‌తో కూడిన త్రిమితీయ ఫ్రేమ్‌వర్క్ ఖనిజ క్రిస్టల్. సాధారణంగా, స్వచ్ఛమైన క్వార్ట్జ్ రంగులేనిది మరియు పారదర్శకంగా ఉంటుంది, అయితే ఇది ట్రేస్ పిగ్మెంట్ అయాన్లు, చక్కగా చెదరగొట్టబడిన చేరికలు లేదా రంగు కేంద్రాల ఏర్పాటు ఫలితంగా అనేక రకాల రంగులను తీసుకుంటుంది. బహుళ అద్భుతమైన లక్షణాలతో, క్వార్ట్జ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క వివిధ ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా వర్తించబడుతుంది మరియు దాని పనితీరు మరియు నాణ్యత సెమీకండక్టర్ పరికరాల దిగుబడి, పనితీరు మరియు ధరను నేరుగా ప్రభావితం చేస్తుంది.

1. క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్

దిక్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్స్అధిక-ఉష్ణోగ్రత మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వృద్ధి ప్రక్రియలో పాలీక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ముడి పదార్థాలను పట్టుకోవడానికి ఉపయోగిస్తారు. స్థిరమైన సహాయక సామగ్రిని నిర్ధారించడానికి, క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్స్ అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం (మెల్టింగ్ పాయింట్ >1700℃) మరియు కఠినమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆపరేటింగ్ పరిస్థితుల సవాళ్లను తట్టుకోవడానికి తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం కలిగి ఉండాలి. సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్‌ల కోసం క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్స్ గ్రేడ్ 4N8 లేదా అంతకంటే ఎక్కువ ఉన్న హై-ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ నుండి తయారు చేయబడాలి. ఈ తెలివైన పదార్థ ఎంపికలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత కారణంగా క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్ నుండి అపరిశుభ్రమైన అవపాతం వల్ల కలిగే క్రిస్టల్ కాలుష్య ప్రమాదాలను సమర్థవంతంగా తగ్గించగలవు.

క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు సాధారణంగా వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) వంటి వివిధ పొరల తయారీ ప్రక్రియలకు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రతిచర్య గదులుగా పనిచేస్తాయి. కాబట్టిక్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ గొట్టాలుఅధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాల వల్ల ఏర్పడే వైకల్యం లేదా మెత్తబడకుండా నిరోధించడానికి అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతను కలిగి ఉండాలి. కొన్ని ప్రక్రియలలో, ఉష్ణ స్థిరత్వంపై హైడ్రాక్సిల్ సమూహాల ప్రభావాన్ని తగ్గించడానికి డీహైడ్రాక్సిలేషన్ చికిత్స కూడా అవసరం. క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌ల తయారీకి రియాక్షన్ ప్రక్రియలో మలినాలను అవక్షేపించకుండా మరియు పొర ప్రాసెసింగ్ ఫలితాలను ప్రభావితం చేయకుండా నిరోధించడానికి ≤1 ppm మెటాలిక్ ఇంప్యూరిటీ కంటెంట్‌తో కూడిన అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ పదార్థం అవసరం.

క్వార్ట్జ్ బోట్‌లను సాధారణంగా క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లతో కలిపి డజన్ల కొద్దీ వందల పొరలను మోసుకెళ్లడానికి మరియు రవాణా చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు. అందువలన,క్వార్ట్జ్ పడవలుసాధారణంగా క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌ల వలె మెకానికల్ బలం పరంగా అదే అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు స్థిరమైన, నమ్మదగిన పనితీరును కలిగి ఉండాలి.

క్వార్ట్జ్ ఫోకస్ రింగులుపొడి ఎచింగ్ ప్రక్రియల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి. ప్లాస్మాను పరిమితం చేయడానికి మరియు సజాతీయంగా మార్చడానికి అవి సాధారణంగా పొరల చుట్టూ అమర్చబడి ఉంటాయి, ఇది పొరపై చెక్కడం రేటు మరియు నమూనా యొక్క ఏకరూపతను ప్రభావవంతంగా నిర్ధారిస్తుంది. ఈ ఆపరేటింగ్ వాతావరణానికి ప్లాస్మా తుప్పుకు బలమైన ప్రతిఘటనను కలిగి ఉండటానికి క్వార్ట్జ్ ఫోకస్ రింగ్‌లు అవసరం, చాలా ఎక్కువ డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం మరియు అసాధారణమైన డిశ్చార్జెస్ లేదా కణాల ఉత్పత్తిని నిరోధించడానికి మృదువైన ఉపరితల ముగింపు.