సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్లు: సెమీకండక్టర్‌లో "వేఫర్‌ల అదృశ్య సంరక్షకులు"

సెమీకండక్టర్ తయారీలో, ఆక్సీకరణ అనేది పొరను అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో ఉంచడం, ఇక్కడ ఆక్సిజన్ పొర ఉపరితలంపై ప్రవహించి ఆక్సైడ్ పొరను ఏర్పరుస్తుంది. ఇది పొరను రసాయన మలినాలనుండి రక్షిస్తుంది, లీకేజ్ కరెంట్‌ను సర్క్యూట్‌లోకి ప్రవేశించకుండా నిరోధిస్తుంది, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ సమయంలో వ్యాప్తిని నిరోధిస్తుంది మరియు ఎచింగ్ సమయంలో పొర జారకుండా చేస్తుంది, పొర ఉపరితలంపై రక్షిత ఫిల్మ్‌ను ఏర్పరుస్తుంది. ఈ దశలో ఉపయోగించే పరికరాలు ఆక్సీకరణ కొలిమి. రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోని ప్రధాన భాగాలలో పొర పడవ, బేస్, ఫర్నేస్ లైనర్ ట్యూబ్‌లు, అంతర్గత ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు మరియు హీట్ ఇన్సులేషన్ బేఫిల్స్ ఉన్నాయి. అధిక ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత కారణంగా, రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోని భాగాల పనితీరు అవసరాలు కూడా ఎక్కువగా ఉంటాయి.

పొర రవాణా మరియు ప్రాసెసింగ్ కోసం పొర పడవ క్యారియర్‌గా ఉపయోగించబడుతుంది. ఇది అధిక ఏకీకరణ, అధిక విశ్వసనీయత, యాంటీ-స్టాటిక్ లక్షణాలు, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, దుస్తులు నిరోధకత, వైకల్యానికి నిరోధకత, మంచి స్థిరత్వం మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితం వంటి ప్రయోజనాలను కలిగి ఉండాలి. పొర ఆక్సీకరణ ఉష్ణోగ్రత సుమారుగా 800℃ మరియు 1300℃ మధ్య ఉంటుంది, మరియు వాతావరణంలో లోహ మలినాలను కలిగి ఉండే అవసరాలు చాలా కఠినంగా ఉంటాయి కాబట్టి, పొర పడవ వంటి కీలక భాగాలు అద్భుతమైన ఉష్ణ, యాంత్రిక మరియు రసాయన లక్షణాలను కలిగి ఉండటమే కాకుండా, చాలా తక్కువ లోహపు మలినం కలిగి ఉండాలి.

సబ్‌స్ట్రేట్ ఆధారంగా, పొర పడవలను క్వార్ట్జ్ క్రిస్టల్ బోట్లుగా వర్గీకరించవచ్చు,సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్పొర పడవలు మొదలైనవి. అయితే, 7nm కంటే తక్కువ ప్రాసెస్ నోడ్‌ల పురోగతి మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ విండోల విస్తరణతో, సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పడవలు థర్మల్ స్థిరత్వం, కణ నియంత్రణ మరియు జీవితకాల నిర్వహణ పరంగా క్రమంగా సరిపోవు. సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలు (SiC పడవలు) క్రమంగా సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పరిష్కారాలను భర్తీ చేస్తున్నాయి.

ఎందుకుసిలికాన్ కార్బైడ్?

1. అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం

అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం SiC బోట్ల యొక్క అత్యంత ముఖ్యమైన ప్రయోజనం. అవి చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద (>1300°C) వాస్తవంగా ఎటువంటి వైకల్యం లేదా కుంగిపోకుండా ప్రదర్శిస్తాయి, ఎక్కువ కాలం పాటు ఖచ్చితమైన పొర స్లాట్ స్థానాలను నిర్వహిస్తాయి.

2. అల్ట్రా-లాంగ్ లైఫ్స్పాన్

ఒకే పడవ అధిక లోడ్ మోసే సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంటుంది, డజన్ల కొద్దీ నుండి వందల 12-అంగుళాల పొరలను ఏకకాలంలో సపోర్ట్ చేయగలదు. సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ బోట్‌లతో పోలిస్తే, SiC పడవలు సగటు జీవితకాలం 5-10 రెట్లు ఎక్కువని అందిస్తాయి, పరికరాల మార్పిడి ఫ్రీక్వెన్సీని మరియు యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం వ్యయాన్ని తగ్గిస్తుంది.

3. క్లీన్ సర్ఫేస్ మరియు చాలా తక్కువ కాలుష్యం

అధిక మెటీరియల్ స్వచ్ఛత మరియు అతి తక్కువ లోహపు మలినాలు సిలికాన్ పొరల ద్వితీయ కాలుష్యాన్ని నిరోధిస్తాయి. అద్భుతమైన ఉపరితల కరుకుదనం నియంత్రణ, 0.1μm కంటే తక్కువ Raతో, పార్టికల్ షెడ్డింగ్‌ను అణిచివేస్తుంది మరియు అధునాతన ప్రక్రియల శుభ్రత అవసరాలను తీరుస్తుంది.

4. అల్ట్రా-అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలకు అనుకూలం

1200°C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలు అవసరమయ్యే ప్రక్రియల కోసం (కొన్ని ప్రత్యేకమైన మందపాటి-ఫిల్మ్ ఆక్సీకరణ ప్రక్రియలు, SiC పరికర కల్పన లేదా లోతైన ట్రెంచ్ ఫిల్లింగ్ ప్రక్రియలు వంటివి), SiC పడవలు భర్తీ చేయలేని ఎంపిక.

యొక్క అప్లికేషన్లుసిలికాన్ కార్బైడ్ బోట్లు

సెమీకండక్టర్ తయారీ

ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ వంటి చిప్ తయారీలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ పడవలు సిలికాన్ పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉపయోగించబడతాయి, అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద వాటి ఫ్లాట్‌నెస్‌ను నిర్ధారిస్తుంది మరియు లాటిస్ తప్పుగా అమర్చడం లేదా వైకల్యం కారణంగా ఏర్పడే పనితీరుకు హామీ ఇస్తుంది.

ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమ

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్అద్భుతమైన యాంత్రిక బలం, ఉష్ణ స్థిరత్వం, అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, ఆక్సీకరణ నిరోధకత, థర్మల్ షాక్ నిరోధకత మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, వీటిని మెటలర్జీ, యంత్రాలు, కొత్త శక్తి మరియు నిర్మాణ సామగ్రి రసాయనాలు వంటి ప్రసిద్ధ రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తున్నారు. TOPcon కణాల కోసం వ్యాప్తి, LPCVD (తక్కువ పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) మరియు PECVD (ప్లాస్మా రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) వంటి కాంతివిపీడన తయారీలో ఉష్ణ ప్రక్రియలకు కూడా వాటి పనితీరు సరిపోతుంది. సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పదార్థాలతో పోలిస్తే, పడవ మద్దతు, చిన్న పడవలు మరియు గొట్టపు ఉత్పత్తులను తయారు చేయడానికి ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పదార్థాలు అధిక బలాన్ని, మెరుగైన ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల క్రింద ఎటువంటి రూపాంతరం చెందవు. వాటి జీవితకాలం క్వార్ట్జ్ కంటే ఐదు రెట్లు ఎక్కువ, నిర్వహణ పనికిరాని సమయం కారణంగా నిర్వహణ ఖర్చులు మరియు శక్తి నష్టాలను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది. ఇది స్పష్టమైన ఖర్చు ప్రయోజనాన్ని కలిగిస్తుంది మరియు ముడి పదార్థాలు విస్తృతంగా అందుబాటులో ఉన్నాయి.

మూడవ తరం సెమీకండక్టర్స్

మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లో, సిలికాన్ కార్బైడ్ బోట్‌లు నీలమణి ఉపరితలాలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి, అమ్మోనియా (NH3) వంటి తినివేయు వాయువు వాతావరణాలను తట్టుకోవడానికి ఉపయోగించబడతాయి, మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ పదార్థాల ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలకు మద్దతు ఇస్తాయి సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్‌లో, సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్‌లలో సిలికాన్ కార్బైడ్ బోట్‌లు సీడ్ క్రిస్టల్ సపోర్ట్‌గా పనిచేస్తాయి, కరిగిన సిలికాన్ యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత తినివేయు వాతావరణాన్ని తట్టుకుని, సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ స్ఫటికాల పెరుగుదలకు స్థిరమైన మద్దతును అందిస్తాయి మరియు కార్బైడ్ సింగిల్ స్ఫటికాల తయారీని అధిక నాణ్యతను ప్రోత్సహిస్తాయి.

సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్ డెవలప్‌మెంట్ ట్రెండ్స్

మార్కెట్ పరంగా, SEMI డేటా ప్రకారం, గ్లోబల్ వేఫర్ బోట్ మార్కెట్ పరిమాణం 2025లో సుమారు US$1.4 బిలియన్లు మరియు 2028 నాటికి US$1.8 బిలియన్లకు చేరుకుంటుందని అంచనా వేయబడింది. 20% సిలికాన్ కార్బైడ్ వ్యాప్తి రేటు మరియు చైనాలో మూడింట ఒక వంతు మార్కెట్ వాటా (చైనీస్ మార్కెట్‌లో 6 మిలియన్ డాలర్లు) US$864 మిలియన్లు వరుసగా.

సాంకేతికంగా, క్వార్ట్జ్ కంటే సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క అధిక గుణకం కలిగి ఉంటుంది, ఇది అప్లికేషన్‌లలో పగుళ్లకు గురయ్యే అవకాశం ఉంది. అందువల్ల, అతుకులు తగ్గించడానికి మరియు రేణువుల షెడ్డింగ్ ప్రమాదాన్ని తగ్గించడానికి ఇంటిగ్రేటెడ్ మోల్డింగ్ టెక్నాలజీ తయారీలో ప్రచారం చేయబడుతోంది. ఇంకా, వేఫర్ బోట్ యొక్క టూత్ గ్రూవ్ డిజైన్‌ను ఆప్టిమైజ్ చేయడం, ఫైవ్-యాక్సిస్ మ్యాచింగ్ మరియు వైర్ కట్టింగ్ టెక్నాలజీలతో కలిపి, వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు సున్నితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ అధిక నాణ్యతను అందిస్తుందిసిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్లు. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com