2024-01-08
సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ సింగిల్ క్రిస్టల్ హాట్ ఫీల్డ్లోని పూత భాగాలు సాధారణంగా పైరోలైటిక్ కార్బన్ కోటింగ్తో సహా CVD పద్ధతి ద్వారా పూయబడతాయి,సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతమరియుటాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత, ప్రతి ఒక్కటి విభిన్న లక్షణాలతో ఉంటాయి.
సాధారణ పాయింట్లు: సబ్స్ట్రేట్ అధిక-స్వచ్ఛత ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్, సాధారణంగా 5ppm బూడిద కంటే తక్కువ; పూత CVD పద్ధతిని ఉపయోగిస్తారు; పూత ప్రాథమికంగా 100% కార్బన్ లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్; పూత తర్వాత ఉపరితలం సాపేక్షంగా దట్టంగా ఉంటుంది, వాయువు, ముఖ్యంగా ఫర్నేస్ సిలికాన్ ఆవిరి లేదా సిలికాన్ ఆక్సైడ్ వాయువు ప్రాథమికంగా నిరోధించబడతాయి; దాని స్వంత ధూళి అస్థిరత కూడా చాలా తక్కువగా ఉంటుంది.
తేడాలు: పూత యొక్క ప్రామాణిక మందం, పైరోలైటిక్ కార్బన్ పూత సాధారణంగా 40um; సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత సాధారణంగా 100um వరకు చేయబడుతుంది, అయితే వినియోగదారుల యొక్క వివిధ అవసరాలకు అనుగుణంగా, ఒక పూత మరియు రెండు పూతలతో సహా 30um~150um వరకు చేయవచ్చు; టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత సాధారణంగా 35±15um.
పైరోలైటిక్ కార్బన్ పూత, దాని సాంద్రత నాన్-పోరస్ గ్రాఫైట్కి సమానం, ఇది దాదాపు 2.2. ఇది ఉపరితలం యొక్క సమాంతర దిశలో తక్కువ నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది, కాబట్టి ఇది ఉపరితల ఉష్ణోగ్రత యొక్క స్థిరత్వాన్ని ఉంచుతుంది మరియు ఇది ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం మరియు స్థితిస్థాపకత యొక్క అధిక మాడ్యులస్ను కూడా కలిగి ఉంటుంది. ఉపరితలం యొక్క లంబ దిశలో, ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క గుణకం పెద్దది మరియు ఉష్ణ వాహకత తక్కువగా ఉంటుంది.
సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన ఉత్పత్తుల కోసం, పూత యొక్క సాగే మాడ్యులస్ చాలా ఎక్కువగా ఉంటుంది, అంతర్గత గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క సాగే మాడ్యులస్ కంటే పదుల రెట్లు ఎక్కువ, కాబట్టి ఉత్పత్తి చీలికను నివారించడానికి, దానిని సున్నితంగా నిర్వహించాల్సిన అవసరం ఉంది.
పైరోలైటిక్ కార్బన్ కోటింగ్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత మొత్తం 5ppm కంటే తక్కువగా ఉంటుంది, ఇక్కడ ప్రధాన లోహ మూలకం కంటెంట్ 0.1 లేదా 0.01ppm కంటే తక్కువగా ఉంటుంది, బోరాన్ మూలకంతో వ్యవహరించడం చాలా కష్టం 0.01 లేదా 0.15ppm.
సెమీకోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవతో సెమీకండక్టర్ కోసం అధిక-నాణ్యత CVD కోటింగ్ ఉత్పత్తిని అందిస్తుంది. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.
ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి
ఇమెయిల్: sales@semicorex.com