సిలికాన్ పొరల ఉపరితల పాలిషింగ్

సిలికాన్ పొరసెమీకండక్టర్ తయారీలో ఉపరితల పాలిషింగ్ అనేది కీలకమైన ప్రక్రియ. సూక్ష్మ లోపాలు, ఒత్తిడి నష్టం యొక్క పొరలు మరియు లోహ అయాన్ల వంటి మలినాలను తొలగించడం ద్వారా ఉపరితల చదును మరియు కరుకుదనం యొక్క అత్యంత ఉన్నత ప్రమాణాలను సాధించడం దీని ప్రాథమిక లక్ష్యం. ఇది నిర్ధారిస్తుందిసిలికాన్ పొరలుఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌లు (ICలు) సహా మైక్రోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీ అవసరాలను తీర్చండి.

పాలిషింగ్ ఖచ్చితత్వానికి హామీ ఇవ్వడానికి, దిసిలికాన్ పొరపాలిషింగ్ ప్రక్రియను రెండు, మూడు లేదా నాలుగు విభిన్న దశలుగా నిర్వహించవచ్చు. ప్రతి దశ పీడనం, పాలిషింగ్ ద్రవ కూర్పు, కణాల పరిమాణం, ఏకాగ్రత, pH విలువ, పాలిషింగ్ క్లాత్ మెటీరియల్, నిర్మాణం, కాఠిన్యం, ఉష్ణోగ్రత మరియు ప్రాసెసింగ్ వాల్యూమ్‌తో సహా విభిన్న ప్రాసెసింగ్ పరిస్థితులను ఉపయోగిస్తుంది.

యొక్క సాధారణ దశలుసిలికాన్ పొరపాలిషింగ్ క్రింది విధంగా ఉంటుంది:

1. **రఫ్ పాలిషింగ్**: ఈ దశ ముందుగా ప్రాసెసింగ్ నుండి ఉపరితలంపై మిగిలి ఉన్న యాంత్రిక ఒత్తిడి నష్టం పొరను తొలగించడం, అవసరమైన రేఖాగణిత డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వాన్ని సాధించడం లక్ష్యంగా పెట్టుకుంది. కఠినమైన పాలిషింగ్ కోసం ప్రాసెసింగ్ వాల్యూమ్ సాధారణంగా 15-20μm కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది.

2. **ఫైన్ పాలిషింగ్**: ఈ దశలో, అధిక ఉపరితల నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి సిలికాన్ పొర ఉపరితలం యొక్క స్థానిక ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు కరుకుదనం మరింత తగ్గించబడతాయి. చక్కటి పాలిషింగ్ కోసం ప్రాసెసింగ్ వాల్యూమ్ సుమారు 5–8μm ఉంటుంది.

3. **"డీఫాగింగ్" ఫైన్ పాలిషింగ్**: ఈ దశ చిన్న ఉపరితల లోపాలను తొలగించడం మరియు పొర యొక్క నానో-మార్ఫాలజీ లక్షణాలను మెరుగుపరచడంపై దృష్టి పెడుతుంది. ఈ ప్రక్రియలో తొలగించబడిన పదార్థం మొత్తం 1μm.

4. **ఫైనల్ పాలిషింగ్**: అత్యంత కఠినమైన లైన్‌విడ్త్ అవసరాలు కలిగిన IC చిప్ ప్రక్రియల కోసం (0.13μm లేదా 28nm కంటే చిన్న చిప్స్ వంటివి), చక్కటి పాలిషింగ్ మరియు "డీఫాగింగ్" ఫైన్ పాలిషింగ్ తర్వాత చివరి పాలిషింగ్ దశ అవసరం. ఇది సిలికాన్ పొర అసాధారణమైన మ్యాచింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని మరియు నానోస్కేల్ ఉపరితల లక్షణాలను సాధిస్తుందని నిర్ధారిస్తుంది.

యొక్క రసాయన మెకానికల్ పాలిషింగ్ (CMP) అని గమనించడం ముఖ్యంసిలికాన్ పొరIC తయారీలో పొర ఉపరితలాన్ని చదును చేయడానికి ఉపయోగించే CMP సాంకేతికతకు ఉపరితలం భిన్నంగా ఉంటుంది. రెండు పద్ధతులు రసాయన మరియు యాంత్రిక పాలిషింగ్ కలయికను కలిగి ఉన్నప్పటికీ, వాటి పరిస్థితులు, ప్రయోజనాలు మరియు అనువర్తనాలు గణనీయంగా భిన్నంగా ఉంటాయి.

సెమికోరెక్స్ ఆఫర్లుఅధిక నాణ్యత పొరలు. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com