PBN ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్

యొక్క మెటీరియల్ లక్షణాలుPBNఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్

అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు విద్యుద్వాహక బలం

దిPBNఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ దాని అసాధారణమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతకు ప్రసిద్ధి చెందింది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో కీలకమైన లక్షణం. పైరోలైటిక్ బోరాన్ నైట్రైడ్ (PBN), చక్ నిర్మాణంలో ఉపయోగించే పదార్థం, సాధారణంగా ఉపయోగించే సిరామిక్స్ కంటే ఎక్కువ రెసిస్టివిటీని ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది 1050 ° C ఉష్ణోగ్రతల వరకు జాన్సెన్-రాహ్బెక్ (J-R) చక్ ఫోర్స్‌ను నిర్వహించడానికి కీలకం. ఈ అధిక నిరోధకత, దాని అధిక విద్యుద్వాహక బలంతో పాటు, తీవ్రమైన వేడిలో కూడా విద్యుత్ విచ్ఛిన్నం సమర్థవంతంగా నిరోధించబడుతుందని నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా చక్ యొక్క కార్యాచరణ విశ్వసనీయతను పెంచుతుంది.

థర్మల్ యూనిఫార్మిటీ మరియు షాక్ రెసిస్టెన్స్

PBN యొక్క షట్కోణ జాలక నిర్మాణం, 1500°C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది, దాని అత్యుత్తమ ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు షాక్ నిరోధకతకు దోహదం చేస్తుంది. లోపల అధిక సాంద్రత కలిగిన హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్PBNఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ 600–800°C ఉష్ణోగ్రతల వద్ద 1.1–1.5% మంచి ఏకరూపతతో స్థిరమైన వేఫర్ థర్మల్ ప్రొఫైల్‌ను సాధించేలా చేస్తుంది. అంతేకాకుండా, PBN-ఆధారిత చక్ అద్భుతమైన థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ మరియు తక్కువ థర్మల్ మాస్‌ను ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది క్రాకింగ్ లేదా డీలామినేషన్ ప్రమాదం లేకుండా 23 °C/సెకను వేగవంతమైన ర్యాంపింగ్ వేగంతో 600 °Cకి చేరుకోవడానికి అనుమతిస్తుంది.

అనుకూలీకరించదగిన బహుళ-జోన్ తాపన

PBN ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ అత్యంత అనుకూలీకరించదగినది, గరిష్ట ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను అనుమతించే బహుళ-జోన్ తాపన సామర్థ్యాలను కలిగి ఉంటుంది. ఈ స్థాయి అనుకూలీకరణ వివిధ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్‌లకు అనువైన పరిష్కారాన్ని అందించి, వ్యక్తిగత కస్టమర్‌ల నిర్దిష్ట అవసరాలకు అనుగుణంగా ప్రతి చక్‌ని రూపొందించగలదని నిర్ధారిస్తుంది.

యొక్క అప్లికేషన్లుPBNఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్

అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్

PBN ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ అనేది అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియలలో ప్రాధాన్య పొర-నిర్వహణ ఉపకరణం. 1000°C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పొరలను పట్టుకోగల దాని సామర్థ్యం మార్కెట్‌లోని అత్యంత బహుముఖ ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లలో ఒకటిగా నిలిచింది. అధిక-సాంద్రత, మల్టీజోన్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్‌కు కృతజ్ఞతలు, చాలా గట్టి ఉష్ణోగ్రత పరిధిలో పొరలను నిర్వహించగల సామర్థ్యం ద్వారా ఈ బహుముఖ ప్రజ్ఞ మరింత మెరుగుపడుతుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్

SiC అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ యొక్క నిర్దిష్ట అనువర్తనంలో, దిPBNఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ పొర తాపన మరియు నిర్వహణ యొక్క సవాళ్లకు ఆచరణీయమైన పరిష్కారాన్ని అందిస్తుంది. అధిక చక్ ఫోర్స్, అధిక తాపన శక్తి, మంచి ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు వేగవంతమైన ప్రతిస్పందన వంటి దాని ద్వంద్వ-ఫంక్షన్ సామర్థ్యాలు, SiC అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ యొక్క సంక్లిష్ట అవసరాలను పరిష్కరించడానికి ఇది ఒక ఆదర్శవంతమైన ఎంపికగా చేస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ

PBN ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ సెమీకండక్టర్ తయారీలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది, ఇక్కడ ఖచ్చితమైన పొర నిర్వహణ మరియు ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ అవసరం. దాని అధిక థర్మల్ షాక్ నిరోధకత మరియు వేగవంతమైన ఉష్ణోగ్రత ర్యాంపింగ్ సామర్థ్యాలు కఠినమైన ఉష్ణోగ్రత నిర్వహణ మరియు వేగవంతమైన థర్మల్ సైక్లింగ్‌ను డిమాండ్ చేసే అధునాతన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు అనుకూలంగా ఉంటాయి.