PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్

సెమికోరెక్స్ PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్ అనేది ప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (PECVD) ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే ముఖ్యమైన గ్రాఫైట్ క్యారియర్ మరియు ఎలక్ట్రోడ్ భాగం. సవాలు చేసే అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా ఆపరేటింగ్ పరిస్థితుల్లో ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ (సిలికాన్ నైట్రైడ్ యాంటీ-రిఫ్లెక్టివ్ ఫిల్మ్‌లు వంటివి) సాధించడానికి సిలికాన్ పొరలు లేదా సౌర ఘటాలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి అవి విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమికోరెక్స్PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్లుఅధిక స్వచ్ఛత నుండి ఖచ్చితత్వంతో తయారు చేయబడ్డాయిఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్. సెమికోరెక్స్ నుండి ప్రతి PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా పరిసరాలలో స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారించడానికి ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్, డైమెన్షనల్ ఇన్‌స్పెక్షన్ మరియు ఎలక్ట్రికల్ పనితీరు పరీక్షలకు లోనవుతుంది.

PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్ యొక్క వర్కింగ్ మెకానిజంs

PECVD ప్రాసెసింగ్ సమయంలో, PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్ సిలికాన్ పొరలను PECVD రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోకి తీసుకువెళుతుంది మరియు RF విద్యుత్ సరఫరాకు అనుసంధానించబడిన ఎలక్ట్రోడ్‌గా పనిచేస్తుంది. ప్రక్కనే ఉన్న పడవ ప్లేట్ల మధ్య ప్రత్యామ్నాయ వోల్టేజ్ వర్తించినప్పుడు, ఒక విద్యుత్ క్షేత్రం స్థాపించబడింది. విద్యుత్ క్షేత్రం ప్రభావంతో, రియాక్టివ్ వాయువులు (సిలేన్ SiH₄ మరియు అమ్మోనియా NH₃ వంటివి) గ్లో డిశ్చార్జ్‌కి లోనవుతాయి మరియు ప్లాస్మాను ఉత్పత్తి చేస్తాయి. ప్లాస్మాలోని అయాన్లు మరియు ఫ్రీ రాడికల్స్ పూర్వగామి వాయువులను విచ్ఛిన్నం చేస్తాయి, సిలికాన్ (Si) మరియు నైట్రోజన్ (N) అయాన్లను ఏర్పరుస్తాయి. ఈ అయాన్లు సిలికాన్ నైట్రైడ్ (Si₃N₄) అణువులను ఏర్పరుస్తాయి, ఇవి సిలికాన్ పొర యొక్క ఉపరితలంపై నిక్షిప్తమై సన్నని పొరలను ఏర్పరుస్తాయి.

PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్ యొక్క ప్రయోజనాలు

1. అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం

సిలికాన్ పొరలకి దగ్గరగా ఉన్న ఉష్ణ విస్తరణ గుణకంతో, సెమికార్క్స్PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్వేడిచేసినప్పుడు అతితక్కువ డైమెన్షనల్ మార్పును అనుభవిస్తుంది, ఇది పొరలకు ఉష్ణ ఒత్తిడి-ప్రేరిత నష్టాన్ని విశ్వసనీయంగా నివారిస్తుంది.

2. ఉన్నతమైన విద్యుత్ మరియు ఉష్ణ వాహకత

సెమికోరెక్స్ PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్‌లు అద్భుతమైన విద్యుత్ వాహకతను కలిగి ఉంటాయి, RF కరెంట్ యొక్క వేగవంతమైన ప్రసరణను మరియు ఏకరీతి విద్యుత్ క్షేత్ర పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది స్థిరమైన ప్లాస్మా ఉత్పత్తికి మరియు ఏకరీతి సిలికాన్ పొర నిక్షేపణకు ప్రయోజనకరంగా ఉంటుంది. అదనంగా, దాని ఉన్నతమైన ఉష్ణ వాహకత వేగవంతమైన శీతలీకరణ మరియు వేడిని సులభతరం చేస్తుంది, నిక్షేపణ నాణ్యతను ప్రభావితం చేయకుండా స్థానికీకరించిన వేడెక్కడం నిరోధించేటప్పుడు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

3. బలమైన రసాయన స్థిరత్వం

ప్రీమియం-గ్రేడ్ మెటీరియల్‌ని ఉపయోగించినందుకు ధన్యవాదాలు, సెమికోరెక్స్ PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్ రియాక్టివ్ వాయువులు మరియు ప్లాస్మాతో ప్రతిచర్యకు తక్కువ అవకాశం ఉంది. ఈ లక్షణం గ్రాఫైట్ బోట్‌లో తుప్పు, వైకల్యం లేదా అశుద్ధ నిక్షేపణ వలన ఏర్పడే అసమాన విద్యుత్ క్షేత్ర పంపిణీని గణనీయంగా నిరోధిస్తుంది, తద్వారా నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వం మరియు సిలికాన్ పొరల ఉపరితల నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.

4. అత్యుత్తమ యాంత్రిక బలం

దాని అత్యుత్తమ మెకానికల్ బలంతో, సెమికోరెక్స్ PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్ అధిక-వాల్యూమ్ వేఫర్ లోడ్‌ల బరువును సులభంగా నిర్వహించగలదు. వారు లోడ్ మరియు రవాణా సమయంలో ఉత్పన్నమయ్యే యాంత్రిక ఒత్తిడిని సులభంగా వైకల్యం లేదా విచ్ఛిన్నం చేయకుండా చాలా కాలం పాటు తట్టుకోగలరు.

5. అద్భుతమైన డైమెన్షనల్ అనుగుణ్యత

సెమికోరెక్స్ PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్ ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ ద్వారా అన్ని భాగాలలో అసాధారణమైన డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వాన్ని సాధిస్తుంది. ఇది నిక్షేపణ సమయంలో సిలికాన్ పొరను స్థిరమైన స్థితిలో ఉంచుతుంది, ఇది ఏకరీతి నిక్షేపణ మరియు స్వయంచాలక ఉత్పత్తితో అనుకూలతను నిర్ధారిస్తుంది.

హాట్ ట్యాగ్‌లు: PECVD సోలార్ గ్రాఫైట్ బోట్, చైనా, తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, బల్క్, అధునాతన, మన్నికైనది

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం