క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్

సెమికోరెక్స్ క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్, పొర పడవలు, సిలికాన్ సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం క్వార్ట్జ్ క్రూసిబుల్స్ అన్నీ అధిక స్వచ్ఛతతో తయారు చేయబడ్డాయిక్వార్ట్జ్ మెటీరియాఎల్. క్వార్ట్జ్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ పొర తయారీలో ముఖ్యమైనది. సెమీకండక్టర్ ఫీల్డ్‌లోని క్వార్ట్జ్ భాగాల యొక్క ప్రధాన లక్ష్య మార్కెట్ పొర తయారీలో విస్తరణ మరియు ఎచింగ్ ప్రక్రియ, దీనిని రెండు ప్రధాన వర్గాలుగా విభజించవచ్చు: అధిక-ఉష్ణోగ్రత భాగాలు మరియు తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత భాగాలు.

1.అధిక-ఉష్ణోగ్రత భాగాలు క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్, పొర పడవ, పడవ హోల్డర్ మరియు మొదలైనవి. అవి అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో సిలికాన్ పొరతో ప్రత్యక్షంగా లేదా పరోక్షంగా సంప్రదించాలి, ప్రధానంగా థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ గాజు పదార్థంతో తయారు చేయబడతాయి.

2.తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత భాగాలు చెక్కడం ప్రక్రియలో క్వార్ట్జ్ వలయాలు, మరియు క్యాసెట్‌లతో సహా, శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలో ట్యాంక్‌లను శుభ్రపరుస్తాయి. అవి ప్రధానంగా తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో ఉపయోగించబడతాయి, ఇవి ప్రధానంగా ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ గ్లాస్‌తో తయారు చేయబడతాయి, వీటిని కోల్డ్ ప్రాసెసింగ్ ద్వారా ఉత్పత్తి చేస్తారు.

అధిక-ఉష్ణోగ్రత జోన్‌లోని భాగాలు మరింత త్వరగా వినియోగించబడతాయి, అయితే అవి సాధారణంగా బహుళ-వేఫర్ సిస్టమ్‌లలో ఉపయోగించబడతాయి (ఒక క్యారియర్ బహుళ సిలికాన్ పొరలను కలిగి ఉంటుంది), అయితే తక్కువ-ఉష్ణోగ్రత జోన్‌లోని భాగాలు చాలా నెమ్మదిగా వినియోగించబడతాయి, అయితే అవి ఒకే-వేఫర్ సిస్టమ్‌లలో ఉపయోగించబడతాయి (ఒక సిలికాన్ పొరను కలిగి ఉన్న ఒక క్యారియర్); అందువల్ల, రెండింటికీ మొత్తం మార్కెట్ పరిమాణం సాపేక్షంగా సమానంగా ఉంటుంది.

ఫర్నేస్ అనేది పొరలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత తాపన ప్రక్రియకు లోనయ్యే ప్రాంతం, క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్, రియాక్టర్ మరియు అనేక హీటర్‌లను కలిగి ఉంటుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ, RTP ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా వర్తించబడుతుంది. కొలిమి ప్రధానంగా క్షితిజ సమాంతర మరియు నిలువు రకాలుగా విభజించబడింది: క్షితిజ సమాంతర కొలిమిలో, ఒక క్వార్ట్జ్ పడవపై పొరలు ఉంచబడతాయి, ఇది ఒక SiC క్యారియర్‌పై ఉంచబడుతుంది. ముందు మరియు వెనుక అడాప్టివ్ బేఫిల్స్ కూడా ఉన్నాయి. క్యారియర్ క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లోకి నెట్టబడుతుంది మరియు పొరలు స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత జోన్‌లో ప్రతిచర్యకు లోనవుతాయి. నిలువు కొలిమిలో, పొరలు క్వార్ట్జ్ టవర్‌పై ఉంచబడతాయి మరియు ప్రాసెసింగ్ కోసం క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లోకి నెమ్మదిగా పెంచబడతాయి.

పై ప్రక్రియలలో అధిక ఉష్ణోగ్రతల కారణంగా, పునరావృత మరియు సుదీర్ఘ ఉపయోగం తర్వాత క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ యొక్క తీవ్రమైన వైకల్యం మరియు పతనాన్ని నివారించడానికి, వైకల్యం మరియు పతనానికి నిరోధకత కలిగిన మరియు సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని కలిగి ఉండే క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్ ఉత్పత్తి సమయంలో ఉపయోగించాలి.

యొక్క ప్రయోజనాలు ఇక్కడ ఉన్నాయిక్వార్ట్జ్కొలిమి గొట్టం:

1. అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత. క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ దాదాపు 1730℃ మృదుత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు 1150℃ వద్ద ఎక్కువ కాలం పాటు ఉపయోగించవచ్చు, స్వల్పకాలిక గరిష్ట ఉష్ణోగ్రత 1450℃కి చేరుకుంటుంది.

2. తుప్పు నిరోధకత. హైడ్రోఫ్లోరిక్ ఆమ్లం మినహా, అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ ఇతర ఆమ్ల పదార్ధాలతో రసాయనికంగా స్పందించదు. అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద, ఇది సల్ఫ్యూరిక్ ఆమ్లం, నైట్రిక్ ఆమ్లం, హైడ్రోక్లోరిక్ ఆమ్లం, ఆక్వా రెజియా, తటస్థ లవణాలు, కార్బన్ మరియు సల్ఫర్ నుండి తుప్పును తట్టుకోగలదు. దీని ఆమ్ల నిరోధకత సిరామిక్స్ కంటే 30 రెట్లు మరియు స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ కంటే 150 రెట్లు.  దీని రసాయన స్థిరత్వం, ప్రత్యేకించి అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద, ఏ ఇతర ఇంజినీరింగ్ మెటీరియల్‌తో సరిపోలలేదు.

3. మంచి ఉష్ణ స్థిరత్వం. అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ థర్మల్ విస్తరణ యొక్క అత్యంత తక్కువ గుణకం కలిగి ఉంటుంది మరియు తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రత మార్పులను తట్టుకోగలదు.  అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్‌ను దాదాపు 1100℃ వరకు వేడి చేసి, ఆపై గది ఉష్ణోగ్రత నీటిలో ముంచడం వలన అది పగిలిపోదు.

4. మంచి కాంతి ప్రసార పనితీరు. అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ అతినీలలోహిత నుండి ఇన్‌ఫ్రారెడ్ వరకు మొత్తం స్పెక్ట్రం అంతటా మంచి కాంతి ప్రసార పనితీరును కలిగి ఉంది. కనిపించే కాంతి ప్రసారం 93% పైన ఉంది మరియు అతినీలలోహిత వర్ణపటంలో, గరిష్ట ప్రసారం 80% కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది.

5. మంచి విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ పనితీరు. అధిక-స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ యొక్క రెసిస్టివిటీ సాధారణ క్వార్ట్జ్ గ్లాస్ కంటే పదివేల రెట్లు ఎక్కువ, ఇది ఒక అద్భుతమైన విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ మెటీరియల్‌గా మారుతుంది, అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కూడా మంచి విద్యుత్ లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది.