క్వార్ట్జ్ ససెప్టర్ సపోర్ట్

సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క కఠినమైన వాతావరణంలో, అధిక-దిగుబడి బ్యాచ్ మరియు ఖరీదైన వైఫల్యం మధ్య వ్యత్యాసం తరచుగా పొర పొజిషనింగ్ యొక్క సూక్ష్మదర్శిని ఖచ్చితత్వంలో ఉంటుంది. సెమికోరెక్స్ క్వార్ట్జ్ ససెప్టర్ సపోర్ట్ షాఫ్ట్ (సాధారణంగా ఎపిటాక్సియల్ క్వార్ట్జ్ షాఫ్ట్ అని పిలుస్తారు) రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్‌లకు సాహిత్యపరమైన వెన్నెముకగా పనిచేస్తుంది. విపరీతమైన ఉష్ణ ప్రవణతలు మరియు రసాయన బహిర్గతం తట్టుకోగలిగేలా రూపొందించబడింది, ఈ భాగం ద్రవం, నిలువు కదలిక మరియు ససెప్టర్లు లేదా పొర క్యారియర్‌ల భ్రమణానికి కీలకం.

ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో క్వార్ట్జ్ పాత్ర

ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియకు తరచుగా 1000°C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలు మరియు స్వల్ప లోహ కాలుష్యం లేని వాతావరణం అవసరం. ఈ పరిస్థితుల్లో ప్రామాణిక పదార్థాలు విఫలమవుతాయి లేదా వాయువును కోల్పోతాయి. మా క్వార్ట్జ్ సస్సెప్టర్ సపోర్ట్ అల్ట్రా-హై-ప్యూరిటీ సింథటిక్ ఫ్యూజ్డ్ సిలికా నుండి తయారు చేయబడింది, ఇది నిర్ధారిస్తుంది:

అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం:థర్మల్ షాక్‌కు అధిక నిరోధకత, వేగవంతమైన తాపన మరియు శీతలీకరణ చక్రాల సమయంలో పగుళ్లను నిరోధిస్తుంది.

రసాయన జడత్వం:సెమీకండక్టర్ పొర యొక్క సమగ్రతను కాపాడుతూ, పూర్వగామి వాయువులు మరియు శుభ్రపరిచే ఏజెంట్లతో నాన్-రియాక్టివ్.

కనిష్ట కాలుష్యం:పార్ట్స్ పర్ మిలియన్ (పిపిఎమ్)లో కొలవబడిన అశుద్ధ స్థాయిలతో, ఇది అవాంఛిత మూలకాలతో వాతావరణాన్ని "డోపింగ్" నిరోధిస్తుంది.

ప్రధాన విధులు & సాంకేతిక ప్రయోజనాలు

క్వార్ట్జ్ ససెప్టర్ సపోర్ట్ యొక్క ప్రాథమిక విధి ససెప్టర్ యొక్క నిలువు మరియు భ్రమణ కదలికను సులభతరం చేయడం-సెమీకండక్టర్ పొరను కలిగి ఉన్న ప్లేట్.

1. ప్రెసిషన్ వర్టికల్ పొజిషనింగ్

సాధారణ రియాక్టర్‌లో, పొర ఉపరితలం మరియు గ్యాస్ ఇన్‌లెట్ మధ్య దూరం ఫిల్మ్ ఏకరూపతను నిర్ణయిస్తుంది. మా క్వార్ట్జ్ షాఫ్ట్‌లు సబ్-మిల్లీమీటర్ టాలరెన్స్‌లకు మెషిన్ చేయబడ్డాయి. ఇది పరికరాల చలన నియంత్రణ వ్యవస్థను సంపూర్ణ పునరావృతతతో ససెప్టర్‌ను పెంచడానికి లేదా తగ్గించడానికి అనుమతిస్తుంది, ఉత్పత్తి పరుగులో ప్రతి పొర ఒకే విధమైన గ్యాస్-ఫ్లో డైనమిక్‌లను అనుభవిస్తుందని నిర్ధారిస్తుంది.

2. అతుకులు లేని కదలిక మరియు బదిలీ

అధిక-వాల్యూమ్ తయారీలో (HVM) సామర్థ్యం పొర నిర్వహణ వేగంపై ఆధారపడి ఉంటుంది. సపోర్ట్ షాఫ్ట్ యొక్క షీట్-టైప్ డిజైన్ మరియు రీన్‌ఫోర్స్డ్ స్ట్రక్చరల్ రిబ్స్ అది భారీ గ్రాఫైట్ బరువును మోయగలదని నిర్ధారిస్తుంది లేదాసిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) కోటెడ్ ససెప్టర్లువంగి లేదా కంపించకుండా. వివిధ ప్రాసెసింగ్ ఛాంబర్‌లు లేదా వర్క్‌స్టేషన్‌ల మధ్య నమూనాలను వేగంగా బదిలీ చేయడానికి, పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గించడానికి ఈ స్థిరత్వం అవసరం.

3. ఆప్టిమైజ్డ్ థర్మల్ ఇన్సులేషన్

ససెప్టర్ వేడిగా ఉండాలి, దిగువన ఉన్న మెకానికల్ భాగాలు తరచుగా చల్లగా ఉండాలి.క్వార్ట్జ్సహజ థర్మల్ ఇన్సులేటర్‌గా పనిచేస్తుంది. షాఫ్ట్ యొక్క బోలు, ట్యూబ్ లాంటి నిర్మాణం ఉష్ణ వాహక మార్గాన్ని తగ్గిస్తుంది, రియాక్టర్ యొక్క బేస్ వద్ద ఉన్న మోటారు మరియు వాక్యూమ్ సీల్స్‌ను రక్షిస్తుంది.