ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్

ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు అత్యంత విశ్వసనీయ పరిష్కారం, ఇది ఉన్నతమైన ఉష్ణ పంపిణీ మరియు ఉష్ణ వాహకత లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. ఇది తుప్పు, ఆక్సీకరణ మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు కూడా అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ అనేది ఒక ప్రీమియం నాణ్యమైన ఉత్పత్తి, ఖచ్చితత్వం మరియు మన్నిక యొక్క అత్యధిక ప్రమాణాలకు తయారు చేయబడింది. ఇది అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, తుప్పు నిరోధకతను అందిస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీలో చాలా ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్‌కు బాగా సరిపోతుంది.
ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం మా SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్‌పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ ఛాంబర్ కోసం మా SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ ఛాంబర్ కోసం SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ యొక్క లక్షణాలు

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.

- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కలిగి ఉంటుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నిరోధించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.

- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.

హాట్ ట్యాగ్‌లు: ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ ఛాంబర్, చైనా కోసం SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్, తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, బల్క్, అధునాతన, మన్నికైనది

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం