LPE రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్

LPE రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ ఒక ప్రీమియం నాణ్యత ఉత్పత్తి, ఇది ఖచ్చితత్వం మరియు మన్నిక యొక్క అత్యధిక ప్రమాణాలకు తయారు చేయబడింది. ఇది అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, తుప్పు నిరోధకతను అందిస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీలో LPE అప్లికేషన్‌లకు బాగా సరిపోతుంది.

LPE రియాక్టర్ ఛాంబర్ కోసం మా SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్‌పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.

LPE రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం మా SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

LPE రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ యొక్క పారామితులు

LPE రియాక్టర్ చాంబర్ కోసం SiC-కోటెడ్ ససెప్టర్ బారెల్ యొక్క లక్షణాలు

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.

- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కలిగి ఉంటుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నిరోధించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.

- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.