చైనా సిరామిక్ తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌ను మెరుగుపరచడానికి సెమికోరెక్స్ మీ భాగస్వామి. మా సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు దట్టమైన, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సెమీకండక్టర్ వేఫర్ & వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్‌తో సహా సెమీకండక్టర్ తయారీ మొత్తం చక్రంలో తరచుగా ఉపయోగించబడతాయి.

అధిక-స్వచ్ఛత SiC సిరామిక్ భాగాలు సెమీకండక్టర్‌లోని ప్రక్రియలకు కీలకం. ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ బోట్, కాంటిలివర్ ప్యాడిల్స్, ట్యూబ్‌లు మొదలైన పొరల ప్రాసెసింగ్ పరికరాల కోసం వినియోగ వస్తువుల నుండి మా సమర్పణ ఉంటుంది.

సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు ప్రయోజనాలు

ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD వంటి సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ దశలు లేదా ఎచింగ్ లేదా అయాన్ ఇంప్లాంట్ వంటి వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్‌ను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) నిర్మాణాన్ని సరఫరా చేస్తుంది, అధిక ఉష్ణ నిరోధకత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి పొర మందం మరియు నిరోధకత కోసం ఉష్ణ ఏకరూపతను కూడా అందిస్తుంది.

చాంబర్ మూతలు →
క్రిస్టల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించే ఛాంబర్ మూతలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్‌ను తట్టుకోవాలి.

కాంటిలివర్ తెడ్డు →
కాంటిలివర్ పాడిల్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో, ముఖ్యంగా డిఫ్యూజన్ లేదా LPCVD ఫర్నేస్‌లలో డిఫ్యూజన్ మరియు RTP వంటి ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే కీలకమైన భాగం.

ప్రాసెస్ ట్యూబ్ →
ప్రాసెస్ ట్యూబ్ అనేది ఒక కీలకమైన భాగం, ప్రత్యేకంగా RTP, డిఫ్యూజన్ వంటి వివిధ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్‌లలో రూపొందించబడింది.

వేఫర్ బోట్లు →
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో వేఫర్ బోట్ ఉపయోగించబడుతుంది, ఉత్పత్తి యొక్క క్లిష్టమైన దశలలో సున్నితమైన పొరలను సురక్షితంగా ఉంచడానికి ఇది చాలా సూక్ష్మంగా రూపొందించబడింది.

ఇన్లెట్ రింగ్స్ →
MOCVD పరికరాల ద్వారా SiC పూతతో కూడిన గ్యాస్ ఇన్‌లెట్ రింగ్ కాంపౌండ్ గ్రోత్ అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో గొప్ప స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

ఫోకస్ రింగ్ →
సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ఫోకస్ రింగ్ RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ కోసం నిజంగా స్థిరంగా ఉంటుంది.

వేఫర్ చక్ →
సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ఫ్లాట్ సిరామిక్ వాక్యూమ్ వేఫర్ చక్స్ అనేది వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించి అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC పూతతో ఉంటుంది.

సెమికోరెక్స్ అల్యూమినా (Al2O3), సిలికాన్ నైట్రైడ్ (Si3N4), అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AIN), జిర్కోనియా (ZrO2), కాంపోజిట్ సిరామిక్ మొదలైన వాటిలో సిరామిక్ ఉత్పత్తులను కూడా కలిగి ఉంది.