TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ అనేది యాజమాన్య రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ యొక్క చక్కటి పొరతో అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై పూత చేయడం ద్వారా సృష్టించబడుతుంది.
టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) అనేది టాంటాలమ్ మరియు కార్బన్లతో కూడిన సమ్మేళనం. ఇది మెటాలిక్ ఎలక్ట్రికల్ కండక్టివిటీ మరియు అనూహ్యంగా అధిక ద్రవీభవన స్థానం కలిగి ఉంది, ఇది దాని బలం, కాఠిన్యం మరియు వేడి మరియు దుస్తులు నిరోధకతకు ప్రసిద్ధి చెందిన వక్రీభవన సిరామిక్ పదార్థంగా మారుతుంది. టాంటాలమ్ కార్బైడ్స్ యొక్క ద్రవీభవన స్థానం స్వచ్ఛతపై ఆధారపడి సుమారు 3880°C వద్ద గరిష్ట స్థాయికి చేరుకుంటుంది మరియు బైనరీ సమ్మేళనాలలో అత్యధిక ద్రవీభవన బిందువులలో ఒకటి. MOCVD మరియు LPE వంటి సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్స్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే పనితీరు సామర్థ్యాలను అధిక ఉష్ణోగ్రత డిమాండ్లు అధిగమించినప్పుడు ఇది ఆకర్షణీయమైన ప్రత్యామ్నాయంగా చేస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ TaC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
ప్రాజెక్టులు |
పారామితులు |
సాంద్రత |
14.3 (gm/cm³) |
ఉద్గారత |
0.3 |
CTE (×10-6/కె) |
6.3 |
కాఠిన్యం (HK) |
2000 |
ప్రతిఘటన (ఓం-సెం.మీ) |
1×10-5 |
థర్మల్ స్థిరత్వం |
<2500℃ |
గ్రాఫైట్ డైమెన్షన్ మార్పు |
-10~-20um (సూచన విలువ) |
పూత మందం |
≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um) |
|
|
పైన పేర్కొన్నవి సాధారణ విలువలు |
|
CVD టాక్ కోటెడ్ క్రూసిబుల్ను పరిచయం చేస్తోంది, సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీదారులు మరియు అత్యధిక స్థాయి నాణ్యత మరియు పనితీరును డిమాండ్ చేసే వినియోగదారులకు సరైన పరిష్కారం. మా క్రూసిబుల్స్ అత్యాధునిక CVD టాక్ (టాంటాలమ్ కార్బైడ్) లేయర్తో పూత పూయబడి ఉంటాయి, ఇది తుప్పు మరియు దుస్తులు ధరించడానికి అత్యుత్తమ ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది, వాటిని వివిధ రకాల సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించడానికి అనువైనదిగా చేస్తుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి