TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ అనేది యాజమాన్య రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ యొక్క చక్కటి పొరతో అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై పూత చేయడం ద్వారా సృష్టించబడుతుంది.
టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) అనేది టాంటాలమ్ మరియు కార్బన్లతో కూడిన సమ్మేళనం. ఇది మెటాలిక్ ఎలక్ట్రికల్ కండక్టివిటీ మరియు అనూహ్యంగా అధిక ద్రవీభవన స్థానం కలిగి ఉంది, ఇది దాని బలం, కాఠిన్యం మరియు వేడి మరియు దుస్తులు నిరోధకతకు ప్రసిద్ధి చెందిన వక్రీభవన సిరామిక్ పదార్థంగా మారుతుంది. టాంటాలమ్ కార్బైడ్స్ యొక్క ద్రవీభవన స్థానం స్వచ్ఛతపై ఆధారపడి సుమారు 3880°C వద్ద గరిష్ట స్థాయికి చేరుకుంటుంది మరియు బైనరీ సమ్మేళనాలలో అత్యధిక ద్రవీభవన బిందువులలో ఒకటి. MOCVD మరియు LPE వంటి సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్స్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే పనితీరు సామర్థ్యాలను అధిక ఉష్ణోగ్రత డిమాండ్లు అధిగమించినప్పుడు ఇది ఆకర్షణీయమైన ప్రత్యామ్నాయంగా చేస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ TaC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
ప్రాజెక్టులు |
పారామితులు |
సాంద్రత |
14.3 (gm/cm³) |
ఉద్గారత |
0.3 |
CTE (×10-6/కె) |
6.3 |
కాఠిన్యం (HK) |
2000 |
ప్రతిఘటన (ఓం-సెం.మీ) |
1×10-5 |
థర్మల్ స్థిరత్వం |
<2500℃ |
గ్రాఫైట్ డైమెన్షన్ మార్పు |
-10~-20um (సూచన విలువ) |
పూత మందం |
≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um) |
|
|
పైన పేర్కొన్నవి సాధారణ విలువలు |
|
సెమీకోరెక్స్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే కీలకమైన భాగం. ఇది సెమీకండక్టర్ మెషినరీలో గ్రాఫైట్ భాగాల సామర్థ్యాన్ని మరియు దీర్ఘాయువును మెరుగుపరచడానికి బహుళ విధులను అందించే ప్రత్యేక పూతతో రూపొందించబడింది. సెమికోరెక్స్ పోటీ ధరలకు నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది, చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ పార్ట్స్ అనేది సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క డిమాండ్ వాతావరణాన్ని తట్టుకునేలా ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన ఖచ్చితత్వంతో రూపొందించబడిన భాగాలు. సెమికోరెక్స్ పోటీ ధరలకు నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది, మేము చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ కవర్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ (epi) ప్రక్రియల కోసం థర్మల్ అప్లికేషన్ల రంగంలో అత్యాధునిక పరిష్కారాన్ని సూచిస్తుంది. సెమికోరెక్స్ పోటీ ధరలకు నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది, చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ TaC కోటింగ్ రింగ్ అనేది థర్మల్ ఫీల్డ్లోని మోనోక్రిస్టల్ గ్రోత్లో కీలకమైన భాగం. ఖచ్చితత్వం మరియు ఆవిష్కరణతో రూపొందించబడిన ఈ ప్రత్యేకమైన గైడ్ రింగ్ మోనోక్రిస్టలైన్ మెటీరియల్ ఉత్పత్తి యొక్క క్లిష్టమైన ప్రక్రియలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. సెమికోరెక్స్ పోటీ ధరలకు నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది, చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమీకోరెక్స్ TaC కోటెడ్ వేఫర్ ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ (epi) ప్రాసెసింగ్ కోసం మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (MOCVD) ఫర్నేస్లలో ఉపయోగించే కీలకమైన భాగం. సెమికోరెక్స్ పోటీ ధరలకు నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది, చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ TaC టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ప్లేట్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీకి, ముఖ్యంగా ఎపిటాక్సియల్ (epi) ప్రాసెసింగ్ దశలో ఉన్న కఠినమైన డిమాండ్లను తీర్చడానికి రూపొందించబడిన ఒక అత్యాధునిక పరిష్కారం. సెమికోరెక్స్ పోటీ ధరలకు నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది, చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి