సెమీకండక్టర్ తయారీలో సెమికోరెక్స్ వేఫర్ హోల్డర్ iS కీలకమైన భాగం మరియు ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ సమయంలో పొరల యొక్క ఖచ్చితమైన మరియు సమర్థవంతమైన నిర్వహణను నిర్ధారించడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. మేము పోటీ ధరలకు అత్యధిక నాణ్యత గల ఉత్పత్తులను అందించడానికి దృఢంగా కట్టుబడి ఉన్నాము మరియు మీతో వ్యాపారాన్ని ప్రారంభించేందుకు ఎదురుచూస్తున్నాము.*
సెమికోరెక్స్ వేఫర్ హోల్డర్ అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడిన కోర్తో తెలివిగా ఇంజినీరింగ్ చేయబడింది మరియు లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ (LPE) పరికరాల డిమాండ్ అవసరాలను తీర్చడానికి సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC)తో ఖచ్చితంగా పూత పూయబడింది. సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్లో అంతర్లీనంగా ఉన్న అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో పొరల సమగ్రతను నిర్వహించడానికి దీని నిర్మాణం మరియు మెటీరియల్ ఎంపిక ఖచ్చితంగా కీలకం.
SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ హోల్డర్ దుస్తులు మరియు చిరిగిపోవడానికి అత్యుత్తమ ప్రతిఘటనను ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది సరైన పొర నిర్వహణకు అవసరమైన ఖచ్చితమైన కొలతలు మరియు ఉపరితల నాణ్యతను నిర్వహించడానికి ఒక ముఖ్యమైన లక్షణం. LPE ప్రక్రియలలో, వేఫర్ హోల్డర్ యొక్క ఉపరితలం యొక్క సమగ్రత చాలా ముఖ్యమైనది, ఎందుకంటే ఏదైనా క్షీణత లేదా అసమానత పొరలో లోపాలను కలిగిస్తుంది, ఇది తక్కువ దిగుబడికి మరియు వ్యర్థాలను పెంచుతుంది. SiC పూత, వేఫర్ హోల్డర్ ఒక మృదువైన, స్థిరమైన ఉపరితలాన్ని పునరావృత చక్రాలపై నిర్వహిస్తుందని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ యొక్క మొత్తం విశ్వసనీయత మరియు స్థిరత్వానికి దోహదపడుతుంది.
ఇంకా, SiC పూత వేఫర్ హోల్డర్ యొక్క థర్మల్ పనితీరును పెంచుతుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత, ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో పొర అంతటా వేడి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది పొరల వార్పింగ్ లేదా పగుళ్లను కలిగించే ఉష్ణ ప్రవణతలను నిరోధించడంలో కీలకమైనది. సెమీకండక్టర్ తయారీలో అవసరమైన కఠినమైన నాణ్యతా ప్రమాణాలకు తుది ఉత్పత్తులు అనుగుణంగా ఉన్నాయని ఇది హామీ ఇస్తుంది. SiC పూత యొక్క అదనపు ప్రయోజనాలతో గ్రాఫైట్ యొక్క స్వాభావిక ఉష్ణ లక్షణాల కలయిక అత్యంత సవాలుగా ఉండే ఉష్ణ వాతావరణాలను తట్టుకోగల సామర్థ్యం గల వేఫర్ హోల్డర్ను సృష్టిస్తుంది.
వేఫర్ హోల్డర్ డిజైన్ LPE పరికరాలలో దాని అప్లికేషన్ కోసం ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది. పొరలను సురక్షితంగా ఉంచడానికి పొర హోల్డర్ ఖచ్చితంగా మెషిన్ చేయబడింది, ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో కదలిక లేదా తప్పుగా అమరిక యొక్క ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది. ఈ ఖచ్చితత్వం చాలా ముఖ్యమైనది, ఎందుకంటే పొర పొజిషన్లో స్వల్ప మార్పు కూడా అసమాన నిక్షేపణకు దారితీస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ పరికరాల పనితీరును ప్రభావితం చేస్తుంది. SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ హోల్డర్ అవసరమైన స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది, మొత్తం ప్రక్రియలో పొరలు సరైన స్థితిలో ఉండేలా చూస్తుంది.
LEP నిర్మాణం, LPE నుండి