దాని అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలతో, సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ కోసం సెమికోరెక్స్ బారెల్ స్ట్రక్చర్ అనేది LPE ప్రక్రియలు మరియు ఇతర సెమీకండక్టర్ తయారీ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించడానికి సరైన ఎంపిక. దీని అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పరిసరాలలో ఉన్నతమైన రక్షణను అందిస్తుంది.
సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ కోసం సెమికోరెక్స్ బారెల్ స్ట్రక్చర్ అనేది అసాధారణమైన వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత అవసరమయ్యే అధిక-పనితీరు గల గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అప్లికేషన్ల కోసం గో-టు ఎంపిక. దాని అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూత మరియు ఉన్నతమైన సాంద్రత మరియు ఉష్ణ వాహకత ఉన్నతమైన రక్షణ మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను అందిస్తాయి, అత్యంత సవాలుతో కూడిన వాతావరణంలో కూడా విశ్వసనీయ మరియు స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.
సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ కోసం మా బారెల్ స్ట్రక్చర్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ కోసం మా బారెల్ స్ట్రక్చర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ కోసం బారెల్ స్ట్రక్చర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ కోసం బారెల్ స్ట్రక్చర్ యొక్క లక్షణాలు
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.
- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్ను కలిగి ఉంటుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ను నివారించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.