లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ కోసం బారెల్ ససెప్టర్

మీకు అత్యంత డిమాండ్ ఉన్న అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో కూడా విశ్వసనీయంగా మరియు స్థిరంగా పని చేయగల గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అవసరమైతే, లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ కోసం సెమికోరెక్స్ బారెల్ ససెప్టర్ సరైన ఎంపిక. దీని సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ పంపిణీని అందిస్తుంది, సెమీకండక్టర్ తయారీ అనువర్తనాల్లో అసాధారణమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ కోసం సెమికోరెక్స్ బారెల్ ససెప్టర్ అనేది అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ తయారీ అప్లికేషన్‌ల కోసం గో-టు ఎంపిక. దాని అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూత మరియు అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత ఉన్నతమైన రక్షణ మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను అందిస్తాయి, అత్యంత సవాలుగా ఉన్న వాతావరణంలో కూడా విశ్వసనీయ మరియు స్థిరమైన పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.

లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ కోసం మా బారెల్ ససెప్టర్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్‌ను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్‌పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.

లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ కోసం మా బారెల్ ససెప్టర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ కోసం బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ కోసం బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.

- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కలిగి ఉంటుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నివారించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.

- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.