బారెల్ రియాక్టర్లోని సెమికోరెక్స్ సివిడి ఎపిటాక్సియల్ డిపోజిషన్ అనేది పొర చిప్లపై ఎపిక్సియల్ లేయర్లను పెంచడానికి అత్యంత మన్నికైన మరియు నమ్మదగిన ఉత్పత్తి. దీని అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు అధిక స్వచ్ఛత సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించడానికి అనుకూలం. దీని థర్మల్ ప్రొఫైల్, లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్ మరియు కాలుష్యాన్ని నివారించడం వలన అధిక-నాణ్యత ఎపిక్సియల్ లేయర్ పెరుగుదలకు ఇది ఒక ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక.
బారెల్ రియాక్టర్లో మా CVD ఎపిటాక్సియల్ డిపోజిషన్ అనేది విపరీతమైన వాతావరణంలో నమ్మకమైన పనితీరును అందించడానికి రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల ఉత్పత్తి. దాని ఉన్నతమైన పూత సంశ్లేషణ, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత కఠినమైన వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి ఇది అద్భుతమైన ఎంపిక. అదనంగా, దాని థర్మల్ ప్రొఫైల్, లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్ మరియు కాలుష్య నివారణ ఎపిక్సియల్ లేయర్ యొక్క అధిక నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్లో, మేము మా కస్టమర్లకు అధిక-నాణ్యత, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన ఉత్పత్తులను అందించడంపై దృష్టి పెడతాము. బారెల్ రియాక్టర్లో మా CVD ఎపిటాక్సియల్ డిపోజిషన్ ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లకు ఎగుమతి చేయబడుతుంది. మేము స్థిరమైన నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడం ద్వారా మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా ఉండాలని లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాము.
బారెల్ రియాక్టర్లో CVD ఎపిటాక్సియల్ నిక్షేపణ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
బారెల్ రియాక్టర్లో CVD ఎపిటాక్సియల్ డిపోజిషన్ యొక్క లక్షణాలు
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.
- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్ను కలిగి ఉంటుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ను నివారించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.