సెమికోరెక్స్ యొక్క ICP సిలికాన్ కార్బన్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ అనేది డిమాండ్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ప్రాసెస్లకు అనువైన ఎంపిక. మా ఉత్పత్తి అత్యుత్తమ వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత, ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు సరైన లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాలను కలిగి ఉంటుంది.
ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే పొర క్యారియర్లు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన శుభ్రతను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ ICP సిలికాన్ కార్బన్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు ఈ డిమాండింగ్ ఎపిటాక్సీ పరికరాల అప్లికేషన్ల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి. మా ఉత్పత్తి అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను తట్టుకునేలా రూపొందించబడింది, దీర్ఘాయువు మరియు సరైన ఫలితాలను అందిస్తుంది.
మా ICP సిలికాన్ కార్బన్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
మా ICP సిలికాన్ కార్బన్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
ICP సిలికాన్ కార్బన్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
ICP సిలికాన్ కార్బన్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి