మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్

గ్రాఫైట్ ఎపిటాక్సీ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెస్ కోసం పర్ఫెక్ట్, సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ప్యూర్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ కనీస కాలుష్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది మరియు అనూహ్యంగా సుదీర్ఘ జీవిత పనితీరును అందిస్తుంది. మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లను కవర్ చేస్తాయి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమికోరెక్స్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ అనేది అధిక శుద్ధి చేయబడిన SiCతో పూసిన గ్రాఫైట్ ఉత్పత్తి, ఇది అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ పొరలపై ఎపిటాక్సియల్ పొరను ఏర్పరుస్తుంది, ఇది అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది.
మా మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్‌పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
మా మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.
- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కలిగి ఉంటుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నివారించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.