సెమికోరెక్స్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్ ససెప్టర్ అనేది గ్రాఫైట్ ఎపిటాక్సీ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలకు సరైన పరిష్కారం. మా అల్ట్రా-ప్యూర్ ప్రోడక్ట్ కనిష్ట కాలుష్యం మరియు అసాధారణమైన దీర్ఘ-జీవిత పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది, ఇది అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లలో ప్రసిద్ధ ఎంపిక. చైనాలో సెమీకండక్టర్ వేఫర్ క్యారియర్ల యొక్క ప్రముఖ ప్రొవైడర్గా, మేము మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.
మా మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ అనేది అధిక-స్ఫటికాకార SiCతో పూసిన గ్రాఫైట్ ఉత్పత్తి, ఇది అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన క్యారియర్ సెమీకండక్టర్ పొరలపై ఎపిటాక్సియల్ పొరను రూపొందించే ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడుతుంది. ఇది అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంది, ఇవి సమర్థవంతమైన మరియు ఖచ్చితమైన సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు అవసరం.
మా మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్ ససెప్టర్ యొక్క ముఖ్య లక్షణాలలో ఒకటి దాని అద్భుతమైన సాంద్రత. గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి. సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్ను కలిగి ఉంటుంది, ఇది అధిక-నాణ్యత పొర ఉత్పత్తిని నిర్వహించడానికి అవసరం.
మా ఉత్పత్తి యొక్క మరొక ముఖ్యమైన లక్షణం గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర మధ్య ఉష్ణ విస్తరణ గుణకంలో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించగల సామర్థ్యం. ఇది బంధం బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ను నివారిస్తుంది. అదనంగా, గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి, తయారీ ప్రక్రియలో వేడి సమానంగా పంపిణీ చేయబడుతుందని నిర్ధారిస్తుంది.
మా మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్ ససెప్టర్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ మరియు తుప్పుకు కూడా నిరోధకతను కలిగి ఉంది, ఇది నమ్మదగిన మరియు మన్నికైన ఉత్పత్తిగా చేస్తుంది. దాని అధిక ద్రవీభవన స్థానం సమర్థవంతమైన సెమీకండక్టర్ తయారీకి అవసరమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాన్ని తట్టుకోగలదని నిర్ధారిస్తుంది.
ముగింపులో, సెమికోరెక్స్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్ ససెప్టర్ అనేది గ్రాఫైట్ ఎపిటాక్సీ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెస్ల కోసం అల్ట్రా-ప్యూర్, మన్నికైన మరియు నమ్మదగిన పరిష్కారం. దాని అద్భుతమైన సాంద్రత, ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్ మరియు ఉష్ణ వాహకత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి అనువైనవిగా చేస్తాయి. మేము పోటీ ధరలకు అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులను అందించడంలో గర్విస్తున్నాము మరియు మీ అన్ని సెమీకండక్టర్ వేఫర్ క్యారియర్ అవసరాల కోసం మీతో భాగస్వామ్యం కోసం ఎదురుచూస్తున్నాము.
మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ వేఫర్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి