సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం సెమీకోరెక్స్ డ్యూరబుల్ ఫోకస్ రింగ్లు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్ల తీవ్ర వాతావరణాలను తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయి. మా ఫోకస్ రింగ్లు దట్టమైన, ధరించడానికి-నిరోధక సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో పూసిన అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడ్డాయి. SiC పూత అధిక తుప్పు మరియు ఉష్ణ నిరోధక లక్షణాలను కలిగి ఉంది, అలాగే అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత. మేము మా ఫోకస్ రింగ్ల సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియను ఉపయోగించి గ్రాఫైట్పై సన్నని పొరలలో SiCని వర్తింపజేస్తాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి