సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం మన్నికైన ఫోకస్ రింగ్స్

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం సెమీకోరెక్స్ డ్యూరబుల్ ఫోకస్ రింగ్‌లు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించే ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్‌ల తీవ్ర వాతావరణాలను తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయి. మా ఫోకస్ రింగ్‌లు దట్టమైన, ధరించడానికి-నిరోధక సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో పూసిన అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌తో తయారు చేయబడ్డాయి. SiC పూత అధిక తుప్పు మరియు ఉష్ణ నిరోధక లక్షణాలను కలిగి ఉంది, అలాగే అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత. మేము మా ఫోకస్ రింగ్‌ల సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియను ఉపయోగించి గ్రాఫైట్‌పై సన్నని పొరలలో SiCని వర్తింపజేస్తాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం మా మన్నికైన ఫోకస్ రింగ్‌లు పొర అంచు లేదా చుట్టుకొలత చుట్టూ ఎట్చ్ ఏకరూపతను మెరుగుపరచడానికి, కాలుష్యం మరియు షెడ్యూల్ చేయని నిర్వహణను తగ్గించడానికి రూపొందించబడ్డాయి. వేగవంతమైన థర్మల్ ఎనియలింగ్ (RTA), వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) మరియు కఠినమైన రసాయన శుభ్రపరచడం కోసం అవి చాలా స్థిరంగా ఉంటాయి.

సెమికోరెక్స్‌లో, మేము సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం అధిక-నాణ్యత, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన మన్నికైన ఫోకస్ రింగ్‌లను అందించడంపై దృష్టి పెడతాము, మేము కస్టమర్ సంతృప్తికి ప్రాధాన్యతనిస్తాము మరియు తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన పరిష్కారాలను అందిస్తాము. మేము మీ దీర్ఘ-కాల భాగస్వామిగా మారడానికి, అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం మా మన్నికైన ఫోకస్ రింగ్‌ల గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం డ్యూరబుల్ ఫోకస్ రింగుల పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం డ్యూరబుల్ ఫోకస్ రింగుల ఫీచర్లు

● పిన్‌హోల్ నిరోధకత మరియు అధిక జీవితకాలం కోసం అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ మరియు SiC పూత.

● గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు SiC లేయర్ రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.

● సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి SiC పూత సన్నని పొరలలో వర్తించబడుతుంది.

హాట్ ట్యాగ్‌లు: సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం మన్నికైన ఫోకస్ రింగ్స్, చైనా, తయారీదారులు, సరఫరాదారులు, ఫ్యాక్టరీ, అనుకూలీకరించిన, బల్క్, అధునాతన, మన్నికైనవి

ఉత్పత్తి ట్యాగ్

సంబంధిత వర్గం