వేఫర్ క్యారియర్ ట్రే

సెమీకోరెక్స్ మీ OEM సెమీ ఫ్యాబ్రికేషన్ టూల్స్ మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలలో సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్‌లపై దృష్టి సారించే వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కాంపోనెంట్‌ల కోసం సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ సిరామిక్‌లను అందిస్తుంది. మేము చాలా సంవత్సరాలుగా వేఫర్ క్యారియర్ ట్రే యొక్క తయారీదారు మరియు సరఫరాదారుగా ఉన్నాము. మా వేఫర్ క్యారియర్ ట్రే మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు చాలా యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD లేదా వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్ వంటి థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ఫేజ్‌ల కోసం మాత్రమే కాకుండా, సెమికోరెక్స్ పొరలకు మద్దతుగా ఉపయోగించే అల్ట్రా-ప్యూర్ సిరామిక్ క్యారియర్‌ను సరఫరా చేస్తుంది. ప్రక్రియ యొక్క ప్రధాన భాగంలో, MOCVD కోసం వేఫర్ క్యారియర్ ట్రే, మొదట నిక్షేపణ వాతావరణానికి లోబడి ఉంటుంది, కాబట్టి ఇది అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. SiC కోటెడ్ క్యారియర్ కూడా అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంది.
మా వేఫర్ క్యారియర్ ట్రే గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

వేఫర్ క్యారియర్ ట్రే యొక్క పారామితులు

సాంకేతిక లక్షణాలు
సూచిక	యూనిట్	విలువ
మెటీరియల్ పేరు		రియాక్షన్ సింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్	ప్రెజర్‌లెస్ సింటెర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్	రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్
కూర్పు		RBSiC	SSiC	R-SiC
బల్క్ డెన్సిటీ	g/cm3	3	3.15 ± 0.03	2.60-2.70
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
సంపీడన బలం	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
కాఠిన్యం	బటన్	2700	2800	/
బ్రేకింగ్ టెనాసిటీ	MPa m1/2	4.5	4	/
ఉష్ణ వాహకత	W/m.k	95	120	23
థర్మల్ విస్తరణ యొక్క గుణకం	10^-6.1/°C	5	4	4.7
నిర్దిష్ట వేడి	జూల్/గ్రా 0కే	0.8	0.67	/
గాలిలో గరిష్ట ఉష్ణోగ్రత	℃	1200	1500	1600
సాగే మాడ్యులస్	Gpa	360	410	240

SSiC మరియు RBSiC మధ్య వ్యత్యాసం:

1. సింటరింగ్ ప్రక్రియ భిన్నంగా ఉంటుంది. RBSiC అనేది తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద ఉచిత Siని సిలికాన్ కార్బైడ్‌లోకి చొప్పించడం, SSiC 2100 డిగ్రీల వద్ద సహజ సంకోచం ద్వారా ఏర్పడుతుంది.

2. SSiC మృదువైన ఉపరితలం, అధిక సాంద్రత మరియు అధిక బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది, కొన్ని సీలింగ్‌లకు మరింత కఠినమైన ఉపరితల అవసరాలు, SSiC మెరుగ్గా ఉంటుంది.

3. వేర్వేరు PH మరియు ఉష్ణోగ్రత కింద వేర్వేరు సమయం, SSiC RBSiC కంటే ఎక్కువ

వేఫర్ క్యారియర్ ట్రే యొక్క లక్షణాలు

- సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు.
- అధిక-పనితీరు గల శుద్ధి చేసిన దృఢమైన కార్బన్‌తో చేసిన థర్మల్ ఇన్సులేషన్.
- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- పిన్‌హోల్ నిరోధకత మరియు అధిక జీవితకాలం కోసం అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ మరియు SiC పూత

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ యొక్క అందుబాటులో ఉన్న ఆకారాలు:

● సిరామిక్ రాడ్ / సిరామిక్ పిన్ / సిరామిక్ ప్లంగర్

● సిరామిక్ ట్యూబ్ / సిరామిక్ బుషింగ్ / సిరామిక్ స్లీవ్

● సిరామిక్ రింగ్ / సిరామిక్ వాషర్ / సిరామిక్ స్పేసర్

● సిరామిక్ డిస్క్

● సిరామిక్ ప్లేట్ / సిరామిక్ బ్లాక్

● సిరామిక్ బాల్

● సిరామిక్ పిస్టన్

● సిరామిక్ నాజిల్

● సిరామిక్ క్రూసిబుల్

● ఇతర అనుకూల సిరామిక్ భాగాలు