Wafer ఎపిటాక్సియల్ కోసం SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్

Wafer Epitaxial కోసం Semicorex SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ అనేది సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ అప్లికేషన్‌లకు సరైన ఎంపిక, దాని అసాధారణమైన ఫ్లాట్ ఉపరితలం మరియు అధిక-నాణ్యత గల SiC పూతకు ధన్యవాదాలు. దాని అధిక ద్రవీభవన స్థానం, ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి ఇది ఆదర్శవంతమైన ఎంపిక.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

అసాధారణమైన ఉష్ణ పంపిణీ మరియు ఉష్ణ వాహకతతో గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ కోసం చూస్తున్నారా? ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలు మరియు ఇతర సెమీకండక్టర్ తయారీ అప్లికేషన్‌లలో అత్యుత్తమ పనితీరు కోసం హై-ప్యూరిటీ SiCతో పూత పూయబడిన వేఫర్ ఎపిటాక్సియల్ కోసం సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ కంటే ఎక్కువ వెతకండి.
సెమికోరెక్స్‌లో, మేము మా కస్టమర్‌లకు అధిక-నాణ్యత, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన ఉత్పత్తులను అందించడంపై దృష్టి పెడతాము. వేఫర్ ఎపిటాక్సియల్ కోసం మా SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లకు ఎగుమతి చేయబడుతుంది. మేము స్థిరమైన నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడం ద్వారా మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా ఉండాలని లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాము.

వేఫర్ ఎపిటాక్సియల్ కోసం SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

Wafer Epitaxial కోసం SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.

- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కలిగి ఉంటుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నిరోధించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.

- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.