అధిక ద్రవీభవన స్థానం, ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకతతో, సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ససెప్టర్ సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించడానికి అనువైన ఎంపిక. దీని సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అద్భుతమైన ఫ్లాట్నెస్ మరియు హీట్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ లక్షణాలను అందిస్తుంది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలకు ఆదర్శవంతమైన ఎంపికగా చేస్తుంది.
సెమీకోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ససెప్టర్ సెమీకండక్టర్ పొరలపై ఎపిటాక్సియల్ పొర ఏర్పడటానికి సరైన ఎంపిక, దాని అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలకు ధన్యవాదాలు. దీని అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూత అత్యంత డిమాండ్ ఉన్న అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో కూడా ఉన్నతమైన రక్షణను అందిస్తుంది.
మా SiC-కోటెడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ససెప్టర్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
మా SiC-కోటెడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ససెప్టర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
SiC-కోటెడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
SiC-కోటెడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.
- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్ను కలిగి ఉంటుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ను నివారించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.