SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్

ఎపిక్సియల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించే పొర క్యారియర్‌లు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్‌ను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ ఈ డిమాండింగ్ ఎపిటాక్సీ పరికరాల అప్లికేషన్‌ల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లను కవర్ చేస్తాయి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD వంటి థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ఫేజ్‌లు లేదా ఎచింగ్ వంటి వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్ కోసం మాత్రమే కాకుండా, సెమికోరెక్స్ పొరలకు మద్దతుగా ఉపయోగించే అల్ట్రా-ప్యూర్ SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్‌ను సరఫరా చేస్తుంది. ప్లాస్మా ఎట్చ్ లేదా డ్రై ఎచ్‌లో, ఈ పరికరాలు, ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్లు, పాన్‌కేక్ లేదా MOCVD కోసం శాటిలైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు మొదట నిక్షేపణ వాతావరణానికి లోబడి ఉంటాయి, కాబట్టి ఇది అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ కూడా అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంది.

SiC కోటెడ్ PSS (ప్యాటర్న్డ్ సఫైర్ సబ్‌స్ట్రేట్) ఎచింగ్ క్యారియర్లు LED (లైట్ ఎమిటింగ్ డయోడ్) పరికరాల తయారీలో ఉపయోగించబడతాయి. PSS ఎట్చ్ క్యారియర్ LED నిర్మాణాన్ని రూపొందించే గాలియం నైట్రైడ్ (GaN) యొక్క పలుచని ఫిల్మ్ పెరుగుదలకు ఒక సబ్‌స్ట్రేట్‌గా పనిచేస్తుంది. PSS ఎట్చ్ క్యారియర్ తర్వాత LED నిర్మాణం నుండి తడి ఎచింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగించి తీసివేయబడుతుంది, LED యొక్క కాంతి వెలికితీత సామర్థ్యాన్ని పెంచే ఒక నమూనా ఉపరితలాన్ని వదిలివేస్తుంది.

SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J kg-1 K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300

అధిక స్వచ్ఛత SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ యొక్క లక్షణాలు

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.

- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కలిగి ఉంటుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నివారించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.

- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.