SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్

ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD వంటి సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ దశలు లేదా ఎచింగ్ వంటి వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్ కోసం మాత్రమే కాకుండా, సెమికోరెక్స్ పొరలకు మద్దతుగా ఉపయోగించే అల్ట్రా-ప్యూర్ SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్‌ను సరఫరా చేస్తుంది. ప్లాస్మా ఎట్చ్ లేదా డ్రై ఎచ్‌లో, ఈ పరికరాలు, ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్లు, పాన్‌కేక్ లేదా MOCVD కోసం శాటిలైట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు మొదట నిక్షేపణ వాతావరణానికి లోబడి ఉంటాయి, కాబట్టి ఇది అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ కూడా అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంది.

SiC కోటెడ్ PSS (ప్యాటర్న్డ్ సఫైర్ సబ్‌స్ట్రేట్) ఎచింగ్ క్యారియర్లు LED (లైట్ ఎమిటింగ్ డయోడ్) పరికరాల తయారీలో ఉపయోగించబడతాయి. PSS ఎట్చ్ క్యారియర్ LED నిర్మాణాన్ని రూపొందించే గాలియం నైట్రైడ్ (GaN) యొక్క పలుచని ఫిల్మ్ పెరుగుదలకు ఒక సబ్‌స్ట్రేట్‌గా పనిచేస్తుంది. PSS ఎట్చ్ క్యారియర్ తర్వాత LED నిర్మాణం నుండి తడి ఎచింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగించి తీసివేయబడుతుంది, LED యొక్క కాంతి వెలికితీత సామర్థ్యాన్ని పెంచే నమూనా ఉపరితలాన్ని వదిలివేస్తుంది.

SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ యొక్క పారామితులు

అధిక స్వచ్ఛత SiC కోటెడ్ PSS ఎచింగ్ క్యారియర్ యొక్క లక్షణాలు

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.

- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్‌ను కలిగి ఉంటుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్‌ను నిరోధించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

- గ్రాఫైట్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.

- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.