PSS ఎచింగ్ అప్లికేషన్ల కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క సిలికాన్ ఎట్చ్ ప్లేట్ అనేది అధిక-నాణ్యత, అల్ట్రా-ప్యూర్ గ్రాఫైట్ క్యారియర్, ఇది ప్రత్యేకంగా ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెస్ల కోసం రూపొందించబడింది. మా క్యారియర్ కఠినమైన వాతావరణాలు, అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన శుభ్రతలను తట్టుకోగలదు. PSS ఎచింగ్ అప్లికేషన్ల కోసం సిలికాన్ ఎట్చ్ ప్లేట్ అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలు, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఖర్చుతో కూడుకున్నది. మా ఉత్పత్తులు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి మరియు చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
PSS ఎచింగ్ అప్లికేషన్ల కోసం సెమికోరెక్స్ యొక్క సిలికాన్ ఎట్చ్ ప్లేట్ అత్యంత డిమాండ్ ఉన్న ఎపిటాక్సీ పరికరాల అప్లికేషన్ల కోసం రూపొందించబడింది. మా అల్ట్రా-ప్యూర్ గ్రాఫైట్ క్యారియర్ కఠినమైన వాతావరణాలు, అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన శుభ్రతలను తట్టుకోగలదు. SiC కోటెడ్ క్యారియర్ అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంది, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు ఖర్చుతో కూడుకున్నది.
PSS ఎచింగ్ అప్లికేషన్ల కోసం సిలికాన్ ఎట్చ్ ప్లేట్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
PSS ఎచింగ్ అప్లికేషన్ల కోసం సిలికాన్ ఎట్చ్ ప్లేట్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి