సెమీకోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ అనేది అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ తయారీ అప్లికేషన్లకు సరైన ఎంపిక. దాని అసాధారణమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలు LPE ప్రక్రియలు మరియు ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో ఉపయోగించడానికి అనువైనవిగా చేస్తాయి.
సెమీకండక్టర్ తయారీ విషయానికి వస్తే, సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ అసాధారణమైన పనితీరు మరియు విశ్వసనీయత కోసం అగ్ర ఎంపిక. దాని అధిక-నాణ్యత SiC పూత మరియు ఉన్నతమైన సాంద్రత మరియు ఉష్ణ వాహకత అత్యంత సవాలుగా ఉన్న అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణాలలో కూడా ఉన్నతమైన ఉష్ణ పంపిణీ మరియు రక్షణను అందిస్తాయి.
మా సిలికాన్ కార్బైడ్-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ఉత్తమమైన లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్కు హామీ ఇస్తూ, సమానమైన ఉష్ణ ప్రొఫైల్ను నిర్ధారిస్తుంది. ఇది పొరలోకి వ్యాపించకుండా ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను నిరోధిస్తుంది, ఇది క్లీన్రూమ్ పరిసరాలలో ఉపయోగించడానికి అనువైనదిగా చేస్తుంది. సెమికోరెక్స్ అనేది చైనాలో SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పెద్ద-స్థాయి తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు, మరియు మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సిలికాన్ కార్బైడ్-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
సిలికాన్ కార్బైడ్-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ యొక్క లక్షణాలు
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.
- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్ను కలిగి ఉంటుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ను నిరోధించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.