SiC పూత అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ససెప్టర్పై పలుచని పొర. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ సిలికాన్ కంటే అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, వీటిలో 10x బ్రేక్డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంగ్త్, 3x బ్యాండ్ గ్యాప్, ఇది మెటీరియల్ను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో అందిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, ఎక్కువ కాలం ఉండే కాంపోనెంట్లతో ఆవిష్కరణలు చేయడంలో మీకు సహాయం చేస్తుంది, చక్రాల సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధం: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ గణనీయమైన ఉష్ణ క్షీణతకు గురికాకుండా 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
రసాయన ప్రతిఘటన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలతో సహా అనేక రకాల రసాయనాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
వేర్ రెసిస్టెన్స్: SiC పూత అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతతో మెటీరియల్ను అందిస్తుంది, ఇది అధిక దుస్తులు మరియు కన్నీటిని కలిగి ఉన్న అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: CVD SiC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతతో పదార్థాన్ని అందిస్తుంది, ఇది సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ అవసరమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ మెటీరియల్ని అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో అందిస్తుంది, ఇది అధిక యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
SiC పూత వివిధ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది
LED తయారీ: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకత కారణంగా నీలం మరియు ఆకుపచ్చ LED, UV LED మరియు లోతైన-UV LED వంటి వివిధ LED రకాలను ప్రాసెస్ చేసిన తయారీలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మొబైల్ కమ్యూనికేషన్: GaN-on-SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ HEMTలో కీలకమైన భాగం.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ను సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్తో సహా వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం ఉపయోగిస్తారు.
SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది, ఈ పూత CVD పద్ధతి ద్వారా అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు వర్తించబడుతుంది, కనుక ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C శూన్యంలో పనిచేయగలదు. .
పదార్థం యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
విలక్షణ లక్షణాలు |
యూనిట్లు |
విలువలు |
నిర్మాణం |
|
FCC β దశ |
ఓరియంటేషన్ |
భిన్నం (%) |
111 ప్రాధాన్యత |
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
తీర్మానం CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది ససెప్టర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క లక్షణాలను మిళితం చేసే ఒక మిశ్రమ పదార్థం. ఈ పదార్ధం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో సహా ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఈ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్, కెమికల్ ప్రాసెసింగ్, హీట్ ట్రీట్మెంట్, సౌర ఘటాల తయారీ మరియు LED తయారీతో సహా వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు ఆకర్షణీయమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
గ్రాఫైట్ ఎపిటాక్సీ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెస్ కోసం పర్ఫెక్ట్, సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ప్యూర్ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ కనీస కాలుష్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది మరియు అనూహ్యంగా సుదీర్ఘ జీవిత పనితీరును అందిస్తుంది. మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తాయి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిమీరు మా ఫ్యాక్టరీ నుండి MOCVD సామగ్రి కోసం సెమీకండక్టర్ వేఫర్ క్యారియర్ని కొనుగోలు చేయడంలో నిశ్చింతగా ఉండవచ్చు. సెమీకండక్టర్ వేఫర్ క్యారియర్లు MOCVD పరికరాలలో ముఖ్యమైన భాగం. తయారీ ప్రక్రియలో సెమీకండక్టర్ పొరలను రవాణా చేయడానికి మరియు రక్షించడానికి వీటిని ఉపయోగిస్తారు. MOCVD సామగ్రి కోసం సెమీకండక్టర్ వేఫర్ క్యారియర్లు అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన పదార్థాలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు ప్రాసెసింగ్ సమయంలో పొరల సమగ్రతను నిర్వహించడానికి రూపొందించబడ్డాయి.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమీకోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ MOCVD ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీదారులకు అత్యుత్తమ పనితీరు మరియు మన్నికను అందించగల అధిక-నాణ్యత క్యారియర్ కోసం వెతుకుతున్న అంతిమ ఎంపిక. దీని అధునాతన పదార్థం థర్మల్ ప్రొఫైల్ మరియు లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను కూడా నిర్ధారిస్తుంది, అధిక-నాణ్యత పొరలను పంపిణీ చేస్తుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం సెమికోరెక్స్ MOCVD వేఫర్ క్యారియర్లు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడిన టాప్-ఆఫ్-ది-లైన్ క్యారియర్. దాని అధిక-స్వచ్ఛత పదార్థం థర్మల్ ప్రొఫైల్ మరియు లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను కూడా నిర్ధారిస్తుంది, అధిక-నాణ్యత పొరలను పంపిణీ చేస్తుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిMOCVD కోసం సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ ప్లేట్ క్యారియర్స్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడిన అధిక-నాణ్యత క్యారియర్. దాని అధిక స్వచ్ఛత, అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత మరియు థర్మల్ ప్రొఫైల్ కూడా సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ యొక్క డిమాండ్లను తట్టుకోగల క్యారియర్ కోసం చూస్తున్న వారికి ఇది అద్భుతమైన ఎంపికగా చేస్తుంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమీకోరెక్స్ అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విశ్వసనీయమైన పేరు, సెమీకండక్టర్ కోసం అధిక-నాణ్యత MOCVD ప్లానెట్ ససెప్టర్ని అందిస్తుంది. మా ఉత్పత్తి అద్భుతమైన పనితీరు, స్థిరత్వం మరియు మన్నికను అందించగల క్యారియర్ కోసం వెతుకుతున్న సెమీకండక్టర్ తయారీదారుల నిర్దిష్ట అవసరాలను తీర్చడానికి రూపొందించబడింది. మా ఉత్పత్తి గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి మరియు మీ సెమీకండక్టర్ తయారీ అవసరాలకు మేము మీకు ఎలా సహాయపడగలమో తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి