SiC ఎపిటాక్సీ రిసెప్టర్

SiC ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ అనేది MOCVD పరికరాలలో సింగిల్ క్రిస్టల్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు వేడి చేయడానికి ఉపయోగించే ఒక కీలకమైన భాగం. థర్మల్ స్టెబిలిటీ మరియు థర్మల్ యూనిఫార్మిటీ వంటి దాని అత్యుత్తమ పనితీరు పారామితులు ఎపిటాక్సియల్ మెటీరియల్ పెరుగుదల నాణ్యతలో నిర్ణయాత్మక పాత్ర పోషిస్తాయి, సన్నని ఫిల్మ్ మెటీరియల్‌లలో అధిక స్థాయి ఏకరూపత మరియు స్వచ్ఛతను నిర్ధారిస్తుంది.

SiC ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ అద్భుతమైన సాంద్రతను కలిగి ఉంది, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణంలో సమర్థవంతమైన రక్షణను అందిస్తుంది. అదనంగా, దాని అధిక స్థాయి ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్ ఉపరితల ఉపరితలంపై ఒకే క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం అవసరాలను ఖచ్చితంగా తీరుస్తుంది.

SiC ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్‌లోని థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ వ్యత్యాసాల యొక్క కనిష్ట గుణకం ఎపిటాక్సియల్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు పూత పదార్థం మధ్య బంధ బలాన్ని గణనీయంగా పెంచుతుంది, తద్వారా అధిక-ఉష్ణోగ్రత థర్మల్ సైక్లింగ్‌ను అనుభవించిన తర్వాత పగుళ్లు వచ్చే అవకాశం తగ్గుతుంది.

అదే సమయంలో, ఇది అధిక ఉష్ణ వాహకతను ప్రదర్శిస్తుంది, చిప్ పెరుగుదలకు వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని సులభతరం చేస్తుంది. అంతేకాకుండా, దాని అధిక ద్రవీభవన స్థానం, ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణంలో స్థిరమైన ఆపరేషన్‌ను అనుమతిస్తుంది.

MOCVD పరికరాల రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లో కీలకమైన అంశంగా, SiC ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్ తప్పనిసరిగా అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, ఏకరీతి ఉష్ణ వాహకత, మంచి రసాయన స్థిరత్వం మరియు థర్మల్ షాక్‌కు బలమైన ప్రతిఘటన వంటి ప్రయోజనాలను కలిగి ఉండాలి. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor ఈ అవసరాలన్నింటినీ తీరుస్తుంది.